一种晶圆存放框的制作方法

本发明属于半导体硅晶圆生产辅助器具，尤其涉及一种晶圆存放框。

背景技术：

1、晶圆生产过程中在腐蚀、清洗、涂覆玻璃粉等环节都需要利用存放架对晶圆进行间隔放置。如申请号为202020773634.1的实用新型专利公开了用于晶圆清洗的片架，其利用成对设置的至少一对放置槽对晶圆进行固定，从其说明书附图中可直接得出，该片架存放晶圆之后，所有的晶圆将处于相同高度位置，虽然放置槽之间具有间隔，但是为了一个片架能放置多片晶圆，其放置槽之间的间隔尺寸并不会太大，晶圆通常会呈现密集的放置状态，不便于晶圆取出。

技术实现思路

1、为解决现有技术不足，本发明提供一种晶圆存放框，不仅方便晶圆的装取，而且能有效防止晶圆掉落。

2、为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：

3、一种晶圆存放框，包括：一对相互平行的侧板，且侧板的内壁开设有成对设置的条形槽，两块侧板之间的下方设有支撑板。

4、支撑板的后端转动连接于两块侧板的一端，转动的轴线垂直于侧板，支撑板前端的两侧设有垂直于侧板的连接轴，支撑板两侧的连接轴上均滑动设有卡块，通过卡块抵接于侧板的内壁，以使支撑板固定。

5、进一步的，两块侧板均开设有弧形孔，支撑板两侧的连接轴分别穿设于对应侧的弧形孔内。

6、进一步的，连接轴均套设有弹簧，弹簧位于支撑板与卡块之间，用于向卡块提供向侧板的压力。

7、进一步的，卡块朝向支撑板的一侧均设有伸缩杆，伸缩杆的端部穿设于支撑板内，且两根伸缩杆的端部之间具有间隔，伸缩杆的端部均开设有矩形孔，矩形孔的延伸方向与支撑板的长度方向一致，支撑板的前端面穿设有锁块，且锁块沿支撑板的长度方向移动设置，锁块的前端呈v型结构，且v型结构两侧的实体部位分别穿设于两根伸缩杆的矩形孔内，v型结构内部的两个斜面分别与矩形孔的内壁滑动接触。

8、进一步的，侧板内壁对应卡块压紧的位置均具有排列设置的齿纹，齿纹的延伸方向平行于侧板的底面。

9、进一步的，两块侧板的底部连接于同一块底板，底板为镂空结构，两块侧板的两端各通过一把手相连。

10、进一步的，侧板的上方均设有压杆，压杆的两端均通过支杆转动连接于侧板的外端面，压杆朝向侧板的外侧设有摆杆，摆杆的端部通过球铰接结构连接于一拉杆的上端，拉杆的下端分别与支撑板两侧的连接轴相连。

11、进一步的，侧板的外壁沿拉杆的布置方向开设有限位槽，拉杆设于限位槽内，且拉杆与限位槽的三个内壁之间均有间隔。

12、进一步的，拉杆的下端具有连接孔，且连接孔的两端呈喇叭状，连接轴穿过连接孔。

13、本发明的有益效果在于：

14、1、通过转动支撑板，可使其相对于侧板的底面倾斜，以使不同条形槽内放置的晶圆呈阶梯状布置，从而方便晶圆的装入及取出。

15、2、利用压杆对条形槽内的晶圆压紧，可防止晶圆从存放框中掉落，并且通过支撑板与压杆的同时配合，可使晶圆整体呈现圆柱体的结构，其外壁为整齐结构状态，以方便压杆对所有晶圆进行压紧限位，防止部分晶圆在存放框内晃动。

技术特征：

1.一种晶圆存放框，包括：一对相互平行的侧板（1），且侧板（1）的内壁开设有成对设置的条形槽（11），两块侧板（1）之间的下方设有支撑板（2），其特征在于，支撑板（2）的后端转动连接于两块侧板（1）的一端，转动的轴线垂直于侧板（1），支撑板（2）前端的两侧设有垂直于侧板（1）的连接轴（21），支撑板（2）两侧的连接轴（21）上均滑动设有卡块（3），通过卡块（3）抵接于侧板（1）的内壁，以使支撑板（2）固定。

2.根据权利要求1所述的晶圆存放框，其特征在于，两块侧板（1）均开设有弧形孔（12），支撑板（2）两侧的连接轴（21）分别穿设于对应侧的弧形孔（12）内。

3.根据权利要求1所述的晶圆存放框，其特征在于，连接轴（21）均套设有弹簧（4），弹簧（4）位于支撑板（2）与卡块（3）之间，用于向卡块（3）提供向侧板（1）的压力。

4.根据权利要求3所述的晶圆存放框，其特征在于，卡块（3）朝向支撑板（2）的一侧均设有伸缩杆（31），伸缩杆（31）的端部穿设于支撑板（2）内，且两根伸缩杆（31）的端部之间具有间隔，伸缩杆（31）的端部均开设有矩形孔（311），矩形孔（311）的延伸方向与支撑板（2）的长度方向一致，支撑板（2）的前端面穿设有锁块（5），且锁块（5）沿支撑板（2）的长度方向移动设置，锁块（5）的前端呈v型结构，且v型结构两侧的实体部位分别穿设于两根伸缩杆（31）的矩形孔（311）内，v型结构内部的两个斜面分别与矩形孔（311）的内壁滑动接触。

5.根据权利要求1或4所述的晶圆存放框，其特征在于，侧板（1）内壁对应卡块（3）压紧的位置均具有排列设置的齿纹（13），齿纹（13）的延伸方向平行于侧板（1）的底面。

6.根据权利要求1所述的晶圆存放框，其特征在于，两块侧板（1）的底部连接于同一块底板（14），底板（14）为镂空结构，两块侧板（1）的两端各通过一把手（15）相连。

7.根据权利要求1或4所述的晶圆存放框，其特征在于，侧板（1）的上方均设有压杆（6），压杆（6）的两端均通过支杆（61）转动连接于侧板（1）的外端面，压杆（6）朝向侧板（1）的外侧设有摆杆（62），摆杆（62）的端部通过球铰接结构连接于一拉杆（7）的上端，拉杆（7）的下端分别与支撑板（2）两侧的连接轴（21）相连。

8.根据权利要求7所述的晶圆存放框，其特征在于，侧板（1）的外壁沿拉杆（7）的布置方向开设有限位槽（16），拉杆（7）设于限位槽（16）内，且拉杆（7）与限位槽（16）的三个内壁之间均有间隔。

9.根据权利要求8所述的晶圆存放框，其特征在于，拉杆（7）的下端具有连接孔（71），且连接孔（71）的两端呈喇叭状，连接轴（21）穿过连接孔（71）。

技术总结
本发明提供一种晶圆存放框，属于半导体硅晶圆生产辅助器具技术领域，晶圆存放框包括：一对相互平行的侧板，且侧板的内壁开设有成对设置的条形槽，两块侧板之间的下方设有支撑板。支撑板的后端转动连接于两块侧板的一端，转动的轴线垂直于侧板，支撑板前端的两侧设有垂直于侧板的连接轴，支撑板两侧的连接轴上均滑动设有卡块，通过卡块抵接于侧板的内壁，以使支撑板固定。存放框不仅方便晶圆的装取，而且能有效防止晶圆掉落。

技术研发人员：李健儿,冯永,胡仲波,敬春云,蒋红全
受保护的技术使用者：四川上特科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12