一种自动矫正式晶圆料盒上料载具的制作方法

本发明涉及晶圆上料相关，具体为一种自动矫正式晶圆料盒上料载具。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在批量式生产过程中需要将排布的晶圆有序的输送至加工设备中，在此过程中需要防止外界粉尘、防止偏移损伤晶圆本体；

2、公开号cn219418975u公开了一种晶圆料盒自动装载平台装置，安装板上安装有开锁机构和真空吸盘，装载平台上设有呈三角形排布的三个定位柱，装载平台的中间设有安装槽，所述安装槽内转动安装有卡勾，实现对晶圆料盒的定位和固定，避免了送料过程中晶圆料盒的倾覆，提高送料的安全性；实现了对晶圆料盒的精准定位、自动检测、判断，自动开盖，保证了晶圆的取料准确度；

3、但是上述用于晶圆料盒的自动装载上料装置在实际使用过程中还存在以下问题：通过装载平台对晶圆料盒进行承载，并由开锁机构针对晶圆料盒进行定位，但是使用过程中仅通过装载平台上方的卡勾对晶圆料盒进行定位，该类定位结构无法保证晶圆料盒在安装以及开合过程中的稳定性，同时两点式的开锁机构一旦在晶圆料盒出现偏移之后就会无法工作，进而影响晶圆料盒供料的准确性与防尘效果。

4、所以我们提出了一种自动矫正式晶圆料盒上料载具，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种自动矫正式晶圆料盒上料载具，以解决上述背景技术提出的目前通过装载平台对晶圆料盒进行承载，并由开锁机构针对晶圆料盒进行定位，但是使用过程中仅通过装载平台上方的卡勾对晶圆料盒进行定位，该类定位结构无法保证晶圆料盒在安装以及开合过程中的稳定性，同时两点式的开锁机构一旦在晶圆料盒出现偏移之后就会无法工作，进而影响晶圆料盒供料的准确性与防尘效果。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种自动矫正式晶圆料盒上料载具，包括上料载具本体，以及滑动设置于上料载具本体的顶端内部中心位置处的上料托举平台，且上料托举平台的顶面固定安装有定位横板；

3、所述上料载具本体的后方固定设置有阻料防尘板，且阻料防尘板的上方内部开设有推送槽口，并且阻料防尘板的后方左右两侧均固定设置有导向框架；还包括：

4、所述上料载具本体的顶面左右两侧均通过轴承转动设置有双向螺纹杆，且左右两侧双向螺纹杆的前后两侧外壁均螺纹连接于纠偏导向板的底端；

5、其中，阻料防尘板内部的推送槽口中部滑动设置有防尘遮蔽板，且防尘遮蔽板的背面四角处均固定连接于防脱支架的内端并且防尘遮蔽板的后方中部固定设置有推送阀筒；

6、其中，对称设置的所述纠偏导向板的顶面中部均固定安装有驱动盒体，且对称设置的驱动盒体的内部中心位置处均通过轴承转动设置有驱动齿轮。

7、优选的，整体的所述上料载具本体呈立式的矩形结构分布设置，且上料载具本体与内部滑动设置的上料托举平台以及定位横板之间为竖向同轴分布设置，并且定位横板的后方顶面左右两侧均滑动连接于压力横板的底端。

8、优选的，所述定位横板的前方内部滑动贯穿连接于定位框架的中部，且定位框架的下端左右两侧与定位横板的底面外壁之间通过复位弹簧相互连接，并且定位框架的底端左右两侧均固定连接于牵引拉绳的底端，而且左右两侧牵引拉绳的顶端均固定连接于定位横板顶端左右两侧压力横板的底面外壁。

9、优选的，所述阻料防尘板后方左右两侧导向框架的内部均通过轴承转动设置有升降螺纹杆，且左右两侧升降螺纹杆的顶端通过主链轮机构相互啮合连接，并且左侧升降螺纹杆的底端固定连接于伺服电机的输出轴顶端。

10、优选的，所述防尘遮蔽板背面四角处防脱支架的外端均滑动卡合连接于导向牵引块的内端，且对称设置的导向牵引块的外端均螺纹贯穿连接于左右两侧升降螺纹杆的外壁，并且对称设置的防脱支架与导向牵引块为两个一组的安装方式关于阻料防尘板的竖向中心轴线对称分布设置。

11、优选的，所述防尘遮蔽板的背面中部滑动卡合于滑移平板的下端，且滑移平板的上端内部左右两侧均通过轴承转动设置有导向套筒，并且左右两侧的导向套筒之间通过副链轮机构相互啮合连接，而且左右两侧导向套筒的内部均螺纹贯穿连接于导向螺纹杆的中部，同时左右两侧导向螺纹杆前端均固定连接于防尘遮蔽板的背面。

12、优选的，对称设置的所述纠偏导向板顶面驱动盒体的内部均通过轴承转动设置连接于传动转轴的顶端，且传动转轴固定连接于驱动齿轮的转轴处，并且传动转轴的底端与双向螺纹杆的外壁之间通过锥形齿轮相互啮合连接，而且双向螺纹杆与锥形齿轮之间为滑动卡合的方式相互连接。

13、优选的，对称设置的所述纠偏导向板的顶面滑动卡合连接于纠偏平板的底端，且对称设置的纠偏平板的顶面均通过轴承转动设置有纠偏导轮，并且对称设置的纠偏平板的左侧上方与右侧下方均铰接连接于推送翻转杆的内端。

14、优选的，对称设置的所述纠偏导向板顶面驱动盒体的内部左右两侧均滑动设置有驱动齿条，且左右两侧的驱动齿条均啮合连接于驱动齿轮的外壁，并且左右两侧驱动齿条的外端均铰接连接于推送翻转杆的外端，而且滑动的驱动齿条通过铰接的推送翻转杆将纠偏平板向内侧推送。

15、优选的，所述滑移平板的正面中部固定连接于推送阀板的后端，且推送阀板的前端滑动设置于防尘遮蔽板后方推送阀筒的内部，并且向后滑动的防尘遮蔽板将推送阀筒内部前方的空气输送至晶圆料盒的内部减小工作阻力，而且向前复位的防尘遮蔽板将晶圆料盒内部的空气推送至推送阀筒内部保证密封效果。

16、与现有技术相比，本发明的有益效果是：该一种自动矫正式晶圆料盒上料载具，通过上料托举平台与定位横板对晶圆料盒进行定位，由对称设置的纠偏导向板与纠偏导轮防止晶圆料盒在供料时不会发生偏移，并通过防尘遮蔽板的后移与下降，进而便于晶圆料盒后续针对晶圆体的供料工作，其具体内容如下：

17、1.通过定位横板上方压力横板与定位框架的设置，使得晶圆料盒能够依据自身重量带动压力横板下降，并联动定位框架上升进而针对晶圆料盒的前端进行锁止定位，保证晶圆料盒在拆卸、工作上料的过程中不会根据自身的移动而发生水平方向的偏移，提升晶圆体输送过程中的准确性；

18、2.通过上料载具本体左右两侧双向螺纹杆的设置，能够在晶圆料盒处于上料载具本体时，由对称设置的纠偏导向板与顶部的纠偏导轮对晶圆料盒的外壁实现定位，而可转动的纠偏导轮能够在晶圆料盒工作工作过程中即不影响其滑动的操作，又能够针对晶圆料盒的侧向偏移进行纠正，从而提升晶圆料盒上料过程中的稳定性；

19、3.通过阻料防尘板后方的防尘遮蔽板与滑移平板，在需要开启晶圆料盒实现上料的过程中，由防尘遮蔽板向后的移动将推送阀筒内部的空气输送至晶圆料盒中，进而减小防尘遮蔽板后移过程中的阻力，同时又能够通过防尘遮蔽板针对开设的推送槽口进行开启，以保证开启状态以及封闭状态下晶圆料盒的防尘效果与上料效果；

20、4.通过阻料防尘板背面导向框架的设置，能够辅助防尘遮蔽板在后移运动之后的升降操作，区分防尘遮蔽板针对推送槽口的封闭情况与开启情况，使得防尘遮蔽板能够在复位过程中晶圆料盒内部的空气排送至中推送阀筒中，辅助晶圆料盒排出内部的空气而形成一定效果的负压，更有效提升防尘遮蔽板与晶圆料盒的连接效果。