具有晶圆冷却的输送机台的制作方法

本技术是有关一种具有晶圆冷却的输送机台，涉及机台的装置配置并有效运用作业空间且改善作业效率的具有晶圆冷却的输送机台。

背景技术：

1、以往晶圆加工制成的作业中，由于晶圆的温度受到制成时的影响而偏高，为使加工作业后的晶圆的温度可降至默认温度，以往的方式，是另设置一个冷却装置在机台上的冷却区，因此，晶圆需先透过机械手臂将晶圆从待料区移载至加工区加工，然后再将温度偏高的晶圆透过机械手臂从加工区送置冷却区冷却装置进行降温，接下来再将冷却后的晶圆移载至待料区。

2、然而，对于机台而言，原有的加工作业装置已经占用了机台的必要空间，如果再设置冷却区，整体使用机台占用工厂面积也会因此增加，进而影响到整体空间上的运用，另方面，机械手臂在进行晶圆汲取作业时，还需从冷却区的位置汲取晶圆，则增加机械手臂的路径移动范围，导致作业效率受到影响。

3、因此，如何改善机台的各装置的配置，令机台的作业空间能被有效利用，且有效降低整体使用面积，还能更进一步的降低机械手臂的路径移动范围，以增加作业效率，这都会是本案所要着重的问题与焦点。

技术实现思路

1、本实用新型的一目的在于可令作业空间能被有效利用的一种具有晶圆冷却的输送机台。

2、本实用新型的另一目的在于有效降低整体使用面积的一种具有晶圆冷却的输送机台。

3、本实用新型的又一目的在于降低机械手臂的路径移动范围，以增加作业效率的一种具有晶圆冷却的输送机台。

4、本实用新型一种具有晶圆冷却的输送机台，设置有一置料区及一待料区，是供输送多个晶圆从所述待料区移动到至少一制成处理装置以进行晶圆制成作业，其中所述输送机台包括一移戴装置、至少一汲取装置及一冷却装置，其中所述移戴装置是对应所述置料区及所述待料区，并供所述晶圆在所述置料区及所述待料区之间移载；所述汲取装置是对应所述移戴装置设置，并供汲取所述移戴装置承接移载至所述待料区的所述晶圆至所述制成处理装置，以及汲取已进行制成作业的所述晶圆并移戴至所述待料区；所述冷却装置是对应所述待料区的正上方设置，当所述汲取装置移戴已进行制成作业的所述晶圆至所述待料区正上方的冷却装置时，所述冷却装置供冷却所述晶圆至一预定温度。

5、本案一种具有晶圆冷却的输送机台，是将冷却装置设置在输送机台的待料区正上方，并由移戴装置及汲取装置将晶圆移载至各制成处理装置，当已进行制成作业的晶圆被移载至待料区时，即可透过冷却装置进行降温，由于冷却装置是直接设置在输送机台的待料区正上方位置，因此无需另设置供冷却装置设置的冷却区域位置，令机台的作业空间能被有效利用，无需另增冷却装置的区域，令机台的使用面积范围大幅降低，更可减少汲取装置的路径移动范围，并增加作业效率，以达成上述所有之目的。

技术特征：

1.一种具有晶圆冷却的输送机台，设置有一置料区及一待料区，是供输送多个晶圆从所述置料区移动到至少一制成处理装置以进行晶圆制成作业，其中所述输送机台包括：

2.如权利要求1所述的输送机台，其特征在于，所述汲取装置是一机械手臂。

3.如权利要求1所述的输送机台，其特征在于，所述移戴装置是一旋转位移装置，具有一旋转驱动轴，其中所述旋转驱动轴是设置在所述置料区及所述待料区之间，所述旋转位移装置是受所述旋转驱动轴驱动呈水平旋转，并供汲取所述晶圆在所述置料区及所述待料区之间水平换位。

4.如权利要求3所述的输送机台，其特征在于，冷却装置是对应所述待料区并设置在所述旋转位移装置的一端。

5.如权利要求1所述的输送机台，其特征在于，所述冷却装置包括一水冷单元。

6.如权利要求1所述的输送机台，其特征在于，所述冷却装置是分段调降冷却所述晶圆至所述预定温度。

7.如权利要求1所述的输送机台，其特征在于，所述冷却装置是分段调降冷却所述晶圆至所述预定温度。

技术总结
本技术是一种具有晶圆冷却的输送机台，设置有一置料区及一待料区，是供输送多个晶圆从置料区移动到至少一制成处理装置以进行晶圆制成作业，其中输送机台包括一移戴装置、至少一汲取装置及一冷却装置，移戴装置是对应置料区及待料区，并供晶圆在置料区及待料区之间移载；汲取装置是对应移戴装置设置，并供汲取移戴装置承接移载的晶圆至制成处理装置，以及汲取已进行制成作业的晶圆并移戴至冷却装置；冷却装置是对应待料区的正上方设置，当汲取装置移戴已进行制成作业的晶圆至冷却区时，冷却装置供冷却晶圆至一预定温度。

技术研发人员：吴新建,吴贞霓,吴沛勲
受保护的技术使用者：瀚钧国际有限公司
技术研发日：20230330
技术公布日：2024/1/12