一种劈裂设备的晶圆载台的制作方法

本技术涉及晶圆劈裂加工设备，特别是涉及一种劈裂设备的晶圆载台。

背景技术：

1、晶圆劈裂机是利用劈刀通过冲击力将晶圆分为一个一个独立的小晶粒的设备，在进行劈裂工序前，需要通过蓝膜将晶圆固定在钢环上。劈裂晶圆时，将晶圆放置在受台上，钢环放置在可旋转的载台上，载台上的夹持机构固定钢环后进行劈裂运动。

2、现有技术中，放置晶圆的受台部分通常会高出固定钢环载台1-3mm，从而保证蓝膜处于张紧的状态。若在劈裂过程中蓝膜张紧程度过松会造成晶圆位置不准确，损坏芯片。由于不同厂家，不同批次的蓝膜性质存在微小的差异，导致受台和载台固定的高度差不能保证每次加工时的蓝膜张紧程度一致，进而会在劈裂晶圆时对劈裂结果造成不可控的影响。且现有的劈裂设备中固定晶圆的载台只能适应单一尺寸的晶圆，无法加工不同尺寸的晶圆。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种劈裂设备的晶圆载台。

2、本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

3、一种劈裂设备的晶圆载台，包括固定底板，所述固定底板顶部固定安装有多个钢环支撑板，所述钢环支撑板上滑动连接有导轨滑块，所述导轨滑块顶部固定连接有钢环压板，所述钢环压板底部固定连接有张紧杆压板，所述张紧杆压板靠近所述固定底板中心的一端转动连接有滚轮，所述钢环支撑板靠近所述固定底板中心一侧设置有张紧杆，所述滚轮压在所述张紧杆上，所述张紧杆底部与所述钢环支撑板之间安装有弹簧，所述钢环支撑板上安装有用于限制所述张紧杆移动距离的紧定螺钉，所述紧定螺钉上螺纹连接有螺母。

4、优选的，所述滚轮设置有两个。

5、优选的，所述张紧杆呈弧形，所述张紧杆中间开设有用于使所述张紧杆压板穿过的孔，所述张紧杆靠近所述固定底板中心的一侧固定连接有两个三角块，所述滚轮与所述三角块的斜面接触。

6、优选的，所述张紧杆插在所述钢环支撑板靠近所述固定底板中心一侧的孔中。

7、优选的，所述张紧杆压板上开设有用于容纳所述导轨滑块的矩形孔。

8、优选的，所述钢环支撑板设置有四个并呈圆周等距排列，所述导轨滑块通过滑轨滑动连接在所述钢环支撑板中间位置。

9、有益效果在于：相比于现有的劈裂设备中的晶圆载台，本实用新型能自动张紧晶圆蓝膜，且对于不同厂家，不同批次的蓝膜均可自动张紧，蓝膜自动张紧机构结构简单，张紧效果好，通过调节紧定螺钉可调整蓝膜的张紧程度，另外通过改变钢环支撑板和固定底板的连接位置可使载台适应不同尺寸的晶圆，结构简单，操作方便。

10、本实用新型的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本实用新型的具体实践可以了解到。

技术特征：

1.一种劈裂设备的晶圆载台，包括固定底板(1)，所述固定底板(1)顶部固定安装有多个钢环支撑板(2)，其特征在于：所述钢环支撑板(2)上滑动连接有导轨滑块(3)，所述导轨滑块(3)顶部固定连接有钢环压板(4)，所述钢环压板(4)底部固定连接有张紧杆压板(5)，所述张紧杆压板(5)靠近所述固定底板(1)中心的一端转动连接有滚轮(6)，所述钢环支撑板(2)靠近所述固定底板(1)中心一侧设置有张紧杆(7)，所述滚轮(6)压在所述张紧杆(7)上，所述张紧杆(7)底部与所述钢环支撑板(2)之间安装有弹簧(10)，所述钢环支撑板(2)上安装有用于限制所述张紧杆(7)移动距离的紧定螺钉(8)，所述紧定螺钉(8)上螺纹连接有螺母(9)。

2.根据权利要求1所述的一种劈裂设备的晶圆载台，其特征在于：所述滚轮(6)设置有两个。

3.根据权利要求1所述的一种劈裂设备的晶圆载台，其特征在于：所述张紧杆(7)呈弧形，所述张紧杆(7)中间开设有用于使所述张紧杆压板(5)穿过的孔，所述张紧杆(7)靠近所述固定底板(1)中心的一侧固定连接有两个三角块，所述滚轮(6)与所述三角块的斜面接触。

4.根据权利要求1所述的一种劈裂设备的晶圆载台，其特征在于：所述张紧杆(7)插在所述钢环支撑板(2)靠近所述固定底板(1)中心一侧的孔中。

5.根据权利要求1所述的一种劈裂设备的晶圆载台，其特征在于：所述张紧杆压板(5)上开设有用于容纳所述导轨滑块(3)的矩形孔。

6.根据权利要求1所述的一种劈裂设备的晶圆载台，其特征在于：所述钢环支撑板(2)设置有四个并呈圆周等距排列，所述导轨滑块(3)通过滑轨滑动连接在所述钢环支撑板(2)中间位置。

技术总结
本技术公开了一种劈裂设备的晶圆载台，属于晶圆劈裂加工设备技术领域，包括固定底板，所述固定底板顶部固定安装有多个钢环支撑板，所述钢环支撑板上滑动连接有导轨滑块，所述导轨滑块顶部固定连接有钢环压板，所述钢环压板底部固定连接有张紧杆压板，所述张紧杆压板靠近所述固定底板中心的一端转动连接有滚轮。有益效果在于：相比于现有的劈裂设备中的晶圆载台，本技术能自动张紧晶圆蓝膜，且对于不同厂家，不同批次的蓝膜均可自动张紧，蓝膜自动张紧机构结构简单，张紧效果好，通过调节紧定螺钉可调整蓝膜的张紧程度，另外通过改变钢环支撑板和固定底板的连接位置可使载台适应不同尺寸的晶圆，结构简单，操作方便。

技术研发人员：葛彦杰,田耕,兑志魁
受保护的技术使用者：郑州轨道交通信息技术研究院
技术研发日：20230724
技术公布日：2024/2/8