1.一种基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，所述样品台的顶面或顶面上包括不在同一直线上的第一调节位点、第二调节位点和第三调节位点；所述样品台的底面设置有与每一调节位点对应的高度调节件，以调节每一调节位点的高度；所述样品台的调平方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，所述第一扫描位点位于所述第一调节位点的中心处；所述第二扫描位点位于所述第二调节位点的中心处；所述第三扫描位点位于所述第三调节位点的中心处。
3.根据权利要求2所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，控制样品台平移，使电子束流分别朝向所述样品台的第一扫描位点、第二扫描位点和第三扫描位点之前，还包括：确定第一调节位点的中心位置、第二调节位点的中心位置和第三调节位点的中心位置；
4.根据权利要求3所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，确定所述参考扫描位点相对于所述第一辅助调节位点的第一移动方向，包括：
5.根据权利要求3所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，确定所述参考扫描位点相对于所述第二辅助调节位点的第二移动方向，包括：
6.根据权利要求2所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，控制样品台平移，使电子束流朝向所述样品台的第一扫描位点，并调节第一调节位点、第二调节位点和第三调节位点中至少一个的高度，使所述扫描电镜获得所述第一扫描位点清晰度高于第一预设值的图像，包括：
7.根据权利要求6所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求7所述的基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，确定电子束的偏转半径r，包括：
9.一种基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，包括处理器和存储器，所述存储器存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行的情况下，实现权利要求1至8任一项所述的样品台调平方法的步骤。
10.一种扫描电镜系统，其特征在于，包括扫描电镜、样品台结构和权利要求9所述的样品台调平装置；