一种薄氧化硅层的制作工艺的制作方法

本发明属于太阳能光伏，尤其涉及一种薄氧化硅层的制作工艺。

背景技术：

1、太阳能电池，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，又称为“太阳能芯片”或“光电池”，它只要被满足一定照度条件的光照度，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏，简称光伏；

2、为了提高太阳能光伏电池的性能，现有技术中研究方法包括表面钝化技术，通过例如等离子体法，特别是pecvd法(等离子体增强化学气相沉积)来沉积，但表面钝化技术存在问题，如低效率和高成本。

技术实现思路

1、本发明提供一种薄氧化硅层的制作工艺，旨在解决上述的问题。

2、本发明是这样实现的，一种薄氧化硅层的制作工艺，包括如下步骤：

3、1)将topcon太阳能电池放置于工作台上；

4、2)通过激光处理设备发射355nm纳秒紫外线激光，对topcon太阳能电池表面进行激光处理，在topcon太阳能电池表面生长出厚度为1-4nm的氧化硅层。

5、优选地，所述激光处理的扫描速度为400mm/s，激光功率≥3w。

6、优选地，所述激光处理设备包括：

7、机架，所述工作台水平设于机架上；

8、安装于机架上且位于工作台上方的激光发射单元，所述激光发射单元包括：

9、安装板；

10、安装于安装板下表面的两根纵向设置的安装条，所述安装条上沿其长度方向间隔安装有若干激光发射器；

11、用于带动安装板水平移动的进给机构；

12、用于带动两根安装条纵向往复运动的驱动机构。

13、优选地，所述进给机构包括：

14、水平转动安装于机架上的进给丝杆；

15、固定于机架上用于带动进给丝杆转动的第一步进电机；

16、螺纹连接于进给丝杆上的安装座，所述安装座水平活动设置，所述安装板安装于安装座上。

17、优选地，所述安装座上左右滑动安装有活动杆，所述安装板固定于活动杆底端，所述活动杆上位于安装板上方固定有水平的滑条，所述滑条与安装座滑动连接，所述安装座上设有用于带动活动杆左右往复移动的动力机构。

18、优选地，所述动力机构包括：

19、转动安装于安装座上的第一转轴，所述第一转轴上固定有转盘；

20、偏心固定于转盘上的销轴，所述活动杆上沿其长度方向开设有供销轴插入并活动的活动槽；

21、用于带动第一转轴转动的动力结构。

22、优选地，所述动力结构包括：

23、转动安装于安装座上的第二转轴，所述第二转轴上固定有第二齿轮，所述第一转轴上固定有与第二齿轮啮合的第四齿轮，所述第二齿轮大于第四齿轮；

24、固定于第二转轴上的第一齿轮，所述第一齿轮小于第二齿轮，所述第一齿轮上方设有与之啮合的第一齿条，所述第一齿条水平固定于机架上，所述安装座与第一齿条滑动连接。

25、优选地，所述驱动机构包括：

26、转动安装于安装板上且位于两根安装条中间的内螺旋套，所述内螺旋套底端固定有第三齿轮，两根安装条侧壁上固定有与第三齿轮啮合的第二齿条；

27、螺纹连接于内螺旋套内的外螺旋杆，所述外螺旋杆顶端延伸至活动杆上的活动槽内并固定有滑块，所述滑块与活动槽的槽壁滑动连接；

28、套装于外螺旋杆上的压缩弹簧，所述压缩弹簧位于滑块和活动槽的底部之间。

29、优选地，所述机架上安装有上下料组件，所述上下料组件包括：

30、水平安装于机架上的工作输送带，所述工作台位于工作输送带的上带体下侧，工作输送带的上带体水平时与工作台的上表面贴合，所述工作台的前后两端延伸至工作输送带外侧；

31、安装于工作输送带两侧的上料输送带和下料输送带，上料输送带用于向工作输送带输送待处理的topcon太阳能电池，下料输送带用于接收工作输送带输送的处理后的topcon太阳能电池。

32、优选地，所述工作台输送带两端的带轮转动安装于活动座上，所述活动座与机架水平滑动连接，所述工作台上水平转动安装有双向丝杆，所述机架上固定有用于带动双向丝杆转动的第二步进电机；

33、所述双向丝杆贯穿两个活动座，两个活动座分别与双向丝杆的两螺纹段螺纹连接，所述双向丝杆的两螺纹段上位于活动座内侧螺纹连接有调节板，所述调节板与机架滑动连接，所述调节板两端均铰接有弹性杆，所述弹性杆远离调节板的一端与工作台下表面铰接，初始状态下，弹性杆呈上凸的弧形，对工作台具有向上的作用力。

34、与现有技术相比，本申请实施例主要有以下有益效果：

35、本发明所提供的薄氧化硅层的制作工艺，通过激光诱导氧化技术形成的氧化硅层可以有效保护底部材料；

36、通过设计激光处理设备，能够使topcon太阳能电池表面充分形成均匀的氧化硅层，提高保护效果。

技术特征：

1.一种薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述激光处理的扫描速度为400mm/s，激光功率≥3w。

3.如权利要求1所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述激光处理设备包括：

4.如权利要求3所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述进给机构包括：

5.如权利要求4所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述安装座上左右滑动安装有活动杆，所述安装板固定于活动杆底端，所述活动杆上位于安装板上方固定有水平的滑条，所述滑条与安装座滑动连接，所述安装座上设有用于带动活动杆左右往复移动的动力机构。

6.如权利要求5所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述动力机构包括：

7.如权利要求6所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述动力结构包括：

8.如权利要求7所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述驱动机构包括：

9.如权利要求3所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述机架上安装有上下料组件，所述上下料组件包括：

10.如权利要求9所述的薄氧化硅层的制作工艺，其特征在于，所述工作台输送带两端的带轮转动安装于活动座上，所述活动座与机架水平滑动连接，所述工作台上水平转动安装有双向丝杆，所述机架上固定有用于带动双向丝杆转动的第二步进电机；

技术总结
本发明适用于太阳能光伏技术领域，提供了一种薄氧化硅层的制作工艺，包括如下步骤：1)将TOPCon太阳能电池放置于工作台上；2)通过激光处理设备发射355nm纳秒紫外线激光，对TOPCon太阳能电池表面进行激光处理，在TOPCon太阳能电池表面生长出厚度为1‑4nm的氧化硅层，本发明所提供的薄氧化硅层的制作工艺，通过激光诱导氧化技术形成的氧化硅层可以有效保护底部材料；通过设计激光处理设备，能够使TOPCon太阳能电池表面充分形成均匀的氧化硅层，提高保护效果。

技术研发人员：胡东
受保护的技术使用者：新加坡亿邦有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16