硒化氢混合气体的供给方法及供给装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及砸化氨混合气体的供给方法及供给装置。
[0002] 本申请基于2012年10月22日在日本申请的特愿2012-232832号要求优先权，并 且在此援引其内容。
【背景技术】
[0003] 近年来，由于环境污染、地球变暖、化石燃料枯竭该些问题，太阳能电池作为石油 替代能源而受到关注。当前太阳能电池的主流为如下的化合物太阳能电池；其包含铜、铜、 嫁和砸，并且使用通过使用砸化氨（HsSe)而形成的黄铜矿型光吸收层。需要向该化合物太 阳能电池的制造装置供给已调整为规定浓度的砸化氨混合气体。
[0004] 然而，为了实现化合物太阳能电池的大量生产，需要将大量的砸化氨混合气体供 给到太阳能电池制造装置。因此，当使用填充有已调整为规定浓度的混合气体的储气瓶时， 具有因储气瓶的更换频率多而无法确保足够的气体供给量的问题。
[0005] 为了解决上述问题，W往使用如图4所示的砸化氨混合气体的供给装置（W下，仅 称为"供给装置"）201。在供给装置201中设置有基本气体供给路径L101和原料气体供给 路径L102。惰性气体和浓度100%的砸化氨气体（W后，仅称为"砸化氨气体"）能够分别 在各个路径内流通。另外，在基本气体供给路径L101和原料气体供给路径L102上，分别设 置有基本气体流量控制单元106和原料气体流量控制单元111。而且，在基本气体供给路 径L101和原料气体供给路径L102的下游侧，设置有用于储存将惰性气体与砸化氨气体混 合后的砸化氨混合气体的缓冲罐118。
[0006] 在使用供给装置201的砸化氨混合气体的供给方法（W下，仅称为"供给方法"） 中，利用基本气体流量控制单元106和原料气体流量控制单元111分别控制惰性气体和砸 化氨气体的流量，使得砸化氨混合气体的砸化氨浓度为规定值。之后，用混合器117混合流 量控制后的惰性气体与砸化氨气体，其后，将得到的砸化氨混合气体储存在缓冲罐118中。 储存在缓冲罐118中的规定砸化氨浓度的砸化氨混合气体被连续向太阳能电池的制造装 置供给。
[0007] 但是，在供给装置201中，具有如下的问题。目P，具有因砸化氨的自分解引起的砸 (Se)结晶析出到砸化氨气体流动通过的原料气体供给流路L102、开闭阀109、113和原料气 体流量控制单元111等中的问题。尤其，存在如下的问题；由于砸结晶析出到原料气体流量 控制单元111中，从而原料气体流量控制单元111的流量测量精度及流量控制精度降低，其 结果，预先设定的砸化氨混合气体的浓度设定值与实际由供给装置201调整的砸化氨混合 气体的浓度实测值之差较大（将其称为偏移现象）。
[000引作为抑制该种偏移现象的技术，例如在专利文献1中公开了能够稳定地供给浓度 设定值的砸化氨混合气体的供给方法及供给装置。如图5所示，专利文献1的供给装置202 在图4所示的供给装置201的结构基础上，具备将基本气体供给流路L101与原料气体供给 流路L102连通的旁通流路L105。而且，专利文献1中公开了如下的供给方法；在不使用旁 通流路L105的状态下制造混合气体并储存到缓冲罐118之后，将规定量的砸化氨气体从原 料气体供给流路L102导出到缓冲罐118,进一步之后，经由旁通流路L105将规定量的惰性 气体从原料气体供给流路L102导出，由此配制出规定砸化氨浓度的砸化氨混合气体，并且 使原料气体供给流路L102中残留的砸化氨的体积浓度为10%W下。
[0009] 专利文献1 ;国际公开第2011/045983A1号
[0010] 然而，在专利文献1记载的供给方法中具有如下问题；当经由旁通流路L105,用惰 性气体导出原料气体供给流路L102内的砸化氨气体时，例如要求如W0. 1秒单位实施阀动 作的鎮密的仪器操作。另外此时，从原料气体供给流路L102流出的气体的砸化氨浓度从 100%较大地变动到接近0%。因此，具有如果想要抑制缓冲罐内的砸化氨浓度的变动，则需 要大容量的缓冲罐的问题。
[0011] 进一步，在文献1的方法中，仅当没有向原料气体供给流路L102供给砸化氨混合 气体时，可使原料气体供给流路L102中残留的砸化氨的体积浓度为10%W下，当供给砸化 氨混合气体时，无法完全防止砸结晶在原料气体供给流路L102中的析出。因此，具有如果 使供给装置202长期工作则出现偏移现象的问题。
【发明内容】
[0012] 因此，本发明的目的在于提供一种砸化氨混合气体的供给方法及供给装置，其不 需要鎮密的仪器操作及大容量的缓冲罐，能够长期抑制偏移现象，W供给稳定的砸化氨浓 度的砸化氨混合气体。
[0013] 为了解决上述问题，作为本发明的第一方式，提供下面的方法。
[0014]目P，（1)提供一种砸化氨混合气体的供给方法，具有；将从基本气体供给流路供给 的惰性气体与从原料气体供给流路供给的砸化氨气体混合，来制造配制成规定浓度的砸化 氨混合气体的工序；和供给所述混合气体的工序，所述砸化氨混合气体的供给方法的特征 在于，进一步包括在停止制造砸化氨混合气体的工序期间，修正原料气体的流量设定值的 工序，所述修正工序包括：使同一流量的校正用气体流过设置于所述原料气体供给流路W 控制所述砸化氨气体的流量的流量控制单元和校正用的流量控制单元的工序；获得由所述 流量控制单元和所述流量测量单元分别测量出的所述校正用气体的流量值的差异的工序； 和根据所述差异，修正所述流量控制单元流出的所述砸化氨气体的流量值的工序。
[0015] 上述（1)的方式优选具有下面的特征。
[0016] (2)使所述校正用气体按不同顺序连续流过所述流量控制单元和所述流量测量单 yn〇
[0017] (3)对所述流量控制单元和所述流量测量单元使用同一规格的流量测量方法。
[0018] (4)在上述（1)至（3)中的任一方式中，使用所述惰性气体作为所述校正用气体。
[0019] (5)在上述（1)至（4)中的任一方式中，当制造所述砸化氨混合气体时，不使所述 砸化氨气体流过校正用的所述流量测量单元。
[0020] (6)作为本发明的第二方式，提供下面的装置。
[0021] 目P，一种砸化氨混合气体的供给装置，将从基本气体供给流路供给的惰性气体与 从原料气体供给流路供给的砸化氨气体混合，来制造配制成规定浓度的砸化氨混合气体， 之后供给该砸化氨混合气体，
[0022] 所述砸化氨混合气体的供给装置的特征在于，具备；流量控制单元，设置于所述原 料气体供给流路W控制所述砸化氨气体的流量；校正用气体供给流路，当停止制造所述砸 化氨混合气体时，将校正用气体向所述原料气体供给流路的所述流量控制单元的初级侧供 给；校正用的流量测量单元，设置于当停止制造所述砸化氨混合气体时所述校正用气体流 过并且当制造所述砸化氨混合气体时所述砸化氨气体不流过的流路上；和控制单元，当使 同一流量的所述校正用气体流过所述流量控制单元和所述流量测量单元时，根据分别测量 出的校正用气体的流量值的差异，修正流量控制单元流出的所述砸化氨气体的流量值。
[0023] (7)在上述化）中，在所述校正用气体供给流路上设置有第一开闭阀，所述第一开 闭阀当制造所述砸化氨混合气体时为关闭状态，当将所述校正用气体从所述校正用气体供 给流路向所述原料气体供给流路供给时为打开状态，在所述校正用气体供给流路的所述第 一开闭阀的初级侧设置有所述流量测量单元。
[0024] (8)在上述化）中，所述校正用气体供给流路为将所述基本气体供给流路与所述 原料气体供给流路的所述流量控制单元的初级侧连接的旁通流路。
[0025] (9)在上述巧）中，在所述旁通流路上设置有第一开闭阀，所述第一开闭阀当制造 所述砸化氨混合气体时为关闭状态，当将所述惰性气体作为校正用气体从所述基本气体供 给流路向所述原料气体供给流路供给时为打开状态，在所述旁通流路的所述第一开闭阀的 初级侧设置有所述流量测量单元。
[0026] (10)在上述（6)或巧）中，在所述原料气体供给流路的所述流量控制单元的次级 侧设置有分支流路，在所述分支流路上设置有第二开闭阀，所述第二开闭阀当制造所述砸 化氨混合气体时为关闭状态，当将所述惰性气体作为校正用气体从所述基本气体供给流路 向所述原料气体供给流路供给时为打开状态，在所述分支流路的所述第二开闭阀的次级侧 设置有所述流量测量单元。
[0027] (11)在上述（6)至（10)中的任一方式中，所述流量控制单元和所述流量测量单元 为同一规格的流量测量方法。
[002引根据本发明的砸化氨混合气体的供给方法，使同一流量的校正用气体流过设置于 作为原料气体的砸化氨气体供给流路W控制砸化氨气体的流量的流量控制单元和校正用 的流量测量单元。而且，为根据由流量控制单元及流量测量单元分别测量出的校正用气体 的流量值的差异，修正流量控制单元流出的砸化氨气体的流量值的构成。根据该构成，能够 利用校正用气体，将原料气体供给流路内滞留的砸化氨气体从所述原料气体供给流路内导 出。因此，能够降低由砸化氨的自分解引起的砸结晶的析出。另外，能够基于由校正用的 流量测量单元测量出的校正用气体的流量值，修正流量控制单元流出的砸化氨气体的流量 值。因此，能够极大降低原料气体供给流路上的流量测量误差及流量控制误差，从而抑制偏 移现象。因此，不需要鎮密的仪器操作及大容积的缓冲罐，能够长期地将稳定的砸化氨浓度 的砸化氨混合气体供给到位于太阳能电池制造装置等的次级侧的消费设备中。
[0029] 另外，本发明的砸化氨混合气体的供给装置具有下面的结构。目P，具备；流量控制 单元，设置于原料气体供给流路W控制砸化氨气体的流量；旁通流路，当停止制造砸化氨混 合气体时，将惰性气体作为校正用气体从基本气体供给流路向原料气体供给流路的流量控 制单元的初级侧供给；校正用的流量测量单元，设置于当停止制造砸化氨混合气体时校正 用气体流过，当制造砸化氨混合气体时砸化氨气体不流过的流路上；和控制单元，当使同一 流量的校正用气体流过流量控制单元和流量测量单元时，根据分别测量出的校正用气体的 流量值的差异，修正流量控制单元流出的砸化氨气体的流量的设定值。能够通过具备所述 结构的供给装置实施上述的供给方法。
【附图说明】
[0030] 图1是表示作为本发明的一实施方式的砸化氨混合气体的供给装置101的示意 图。
[0031] 图2是表示实施例中的砸化氨混合气体的供给时间与砸化氨浓度的关系的图。
[0032] 图3是表示实施例中的砸化氨混合气体的供给时间与流量误差A的关系的图