合【具体实施方式】对本发明做进一步说明。本发明保护范围不仅局限于以下 内容的表述。
[0053] 实施例1。
[0054] 1)选取纯度彡99. 9999%的铜锭，纯度彡99. 9999%的钯锭及纯度彡99. 9999%的银 锭，先用浓度10%氢氧化纳清洗，再用去离子水冲洗，放入烘箱烘干备用。
[0055] 2)制备铜钯银合金铸锭：按比例将纯度多99. 9999%的铜锭，纯度多99. 9999%的 钯锭及纯度彡99. 9999%的银锭，以及钙和稀土放入高纯石墨坩锅中，置于真空熔铸炉中， 进行中频感应加热，加热至1100 °C，在加热过程中，抽真空处理。待材料完全熔化，充入高纯 氮气保温30min。将液态铜钮银合金倒入高纯石墨槽中，得到宽度5cm，厚度lcm，含钮量8% 的铜钮银合金铸锭。
[0056] 3)制备铜钯银合金棒：将一定数量宽度5cm，厚度1cm的铜钯银合金铸锭放入高纯 石墨坩锅，置于真空下拉连铸炉中，抽真空加热铜钯银合金铸锭，加热至1l〇〇°C，待完全熔 化后，保温15min。充高纯氮气继续加热至1250°C，待温度稳定后，精炼30min。采用定向凝 固方法，下拉连铸得到直径为6mm或8mm的铜钮银合金棒。
[0057] 4)铜钯银合金棒均匀化退火：将制备后6_或8_的铜钯银合金棒置于热处理炉 中，温度750°C，保温时间8h，获取内部合金组织稳定性。
[0058] 5)粗拉伸：将6mm或8mm的铜钮银合金棒粗拉伸至直径1mm的合金线材。
[0059] 6)晶粒细化退火：将直径1mm铜钯银合金丝置于热处理炉中，温度600°C，保温时 间lh，进行合金晶粒细化热处理。
[0060] 7)中拉伸：将热处理后的直径1mm铜钯银合金线材中拉伸至直径0? 5mm的丝。
[0061] 8)细拉伸：将直径0? 5mm的铜钮银合金丝细拉伸至直径0? 08mm的丝。
[0062] 9)表面清洗：将直径0. 08mm的铜钯银合金丝先用浓度为5%硝酸及乙酸溶液清洗， 再用去离子水冲洗，烘干。
[0063] 10)表面镀钯：采用在线电镀设备，对清洗后的铜钯银合金丝表面在线镀钯；电镀 用钯的纯度彡99. 9999%，收线速度为5m/min，电流密度为6A/dm2,镀钯层厚度控制在lum。
[0064] 11)微细拉伸：将镀钯后的直径0. 08mm的铜钯银合金丝进行微细拉伸，拉伸至直 径0? 015mm的键合丝。
[0065] 12)热处理：将表面镀钯的铜钯银合金键合丝置于连续退火系统中，温度300°C， 速度40m/min进行连续退火处理，退火期间，采用高纯氮气保护气保护。
[0066] 13)复绕分装：将微细键合丝单卷定尺，控制张力0? 8g，单卷500m定尺。
[0067] 在上述实施例中，按照金属压延加工中体积不变定律，即在任意一个截面，镀钯 层面与芯材面积之比始终是相同的。经细拉伸及微细拉伸后，成品线径越小，镀层越薄，但 镀层与基体芯线的体积与重量比不变。直径为〇. 〇8mm~0. 10mm的铜钯银合金丝芯线，表面 镀韦巴层厚度控制在lum~2.Oum，经多个道次的微细拉伸后，拉伸直径0. 015mm~0. 05mm， 表面镀钯层厚度为〇? 2um~0? 6um〇
[0068] 按上述实施例1方式制造的带镀钮层的铜钮银合金键合丝，以18um、20um、23um、 25um为例，测试仪器为YG001强力仪，其测试结果与纯银镀金键合丝的性能对比如下。
【主权项】
1. 一种铜钯银合金键合引线，其特征在于所述铜钯银合金键合引线的表面设置有镀钯 层，所述铜钮银合金键合引线直径为〇· 015mm~0· 05mm，镀钮层厚度为0· 2um~0· 6um〇
2. 根据权利要求1所述一种铜钯银合金键合引线，其特征在于所述铜钯银合金键合引 线中还含有钙、稀土，所述铜钯银合金键合引线中的铜、钯和银的纯度均多99. 9999%，镀钯 层中的钯的纯度彡99. 9999%。
3. 根据权利要求2所述铜钯银合金键合引线，其特征在于表面设置有镀钯层的铜钯银 合金键合引线的各组分的重量份数为： 铜含量78-83份，银含量10-15份，钯含量1-10份， 稀土含量 0· 0001-0. 0008 份，钙含量 0· 0001-0. 0005 份。
4. 根据权利要求3所述铜钯银合金键合引线，其特征在于所述铜钯银合金键合引线的 各组分的重量份数之和为100份，其中： 银含量12份，钯含量8份，钙含量0. 0004份，稀土含量0. 0006份，其余为铜，铜钯银合 金键合引线直径为Φ 〇. 0325mm，钯保护层厚度为0. 4um。
5. 权利要求1所述一种铜钯银合金键合引线的制备方法，其特征在于包括以下步骤： 1) 选取铜锭、钯锭及银锭，清洗，烘干备用： 先用氢氧化纳清洗，再用去离子水冲洗，放入烘箱烘干，其中氢氧化纳的摩尔浓度为 10% ~25% ; 2) 制备铜钯银合金铸锭： 将铜锭、钯锭、银锭、钙及稀土放入高纯石墨坩锅中，置于真空熔铸炉中，进行中频感应 加热，在加热过程中，抽真空处理，待材料完全熔化，充入高纯氮气保温，将液态铜钯银合 金倒入高纯石墨槽中，得到铜钯银合金铸锭，其中中频感应加热至l〇〇〇°C~1200°C，保温 30min~90min，得到宽度5cm~10cm、厚度I cm的铜钮银合金铸锭； 3) 制备铜钯银合金棒： 将铜钯银合金铸锭放入高纯石墨坩锅，置于真空下拉连铸炉中，抽真空加热铜钯银合 金铸锭，待完全熔化后保温，充高纯氮气继续加热，待温度稳定后精炼，采用定向凝固方法， 下拉连铸得到铜钯银合金棒，其中抽真空加热铜钯银合金铸锭，加热至1000 °C~1200 °C， 待完全熔化后保温15min~60min，充高纯氮气继续加热至IKKTC~1350°C，精炼30min~ 90min，得到直径为6mm或8mm的铜钮银合金棒； 4) 铜钯银合金棒均匀化退火： 将铜钯银合金棒置于热处理炉中，进行合金均匀化退火处理，其中热处理温度800°C~ 900°C，保温时间8h~20h ; 5) 粗拉伸： 将铜钮银合金棒粗拉伸得到合金线材，合金线材直径为1mm ; 6) 晶粒细化退火： 将合金线材置于热处理炉中，进行合金晶粒细化热处理，其中热处理温度500°C~ 650°C，保温时间Ih~8h ; 7) 中拉伸： 将晶粒细化退火处理的合金线材中拉伸得到中丝，中丝直径为0. 5mm ; 8) 细拉伸： 将中丝拉伸得到细丝，细丝直径为0. 08mm~0.1 Omm ; 9) 表面清洗： 将细丝先用酸液清洗，再用去离子水冲清洗，烘干，酸液采用硝酸及乙酸溶液，硝酸及 乙酸溶液摩尔浓度为5%~15% ; 10) 表面镀钯： 采用在线电镀设备，对清洗后的细丝表面在线镀钯，在线镀钯收线速度为5m/min~ 8m/min，电流密度为 6A/dm2~10A/dm2; 11) 细微拉伸： 将镀钯后的细丝进行微细拉伸得到微细丝，微细丝直径为0. 015mm~0. 05mm ; 12) 热处理： 将微细丝置于连续退火系统中，进行连续退火处理，退火期间采用高纯氮气保护气保 护，连续退火温度300 °C~450 °C，速度40m/min~80m/min ; 13) 复绕分装： 将微细丝单卷定尺，单卷定尺控制张力〇. 8g~8. Og，单卷500m定尺。
【专利摘要】本发明公开一种铜钯银合金键合引线及其制备方法，其特点是该铜钯银合金键合引线的表面设置有镀钯保护层，铜钯银合金键合引线直径为0.015mm～0.05mm，镀钯层厚度为0.2um～0.6um；其制备方法为：选取铜锭钯锭及银锭清洗烘干备用，制备铜钯银合金铸锭，制备铜钯银合金棒，铜钯银合金棒均匀化退火，粗拉伸，晶粒细化退火，中拉伸，细拉伸，表面清洗，表面镀钯，细微拉伸，热处理，复绕分装。本发明采用铜钯银合金键合引线取代纯银镀金键合引线，克服了纯银镀金键合引线的不足，其材料推拉力、抗氧化性能、键合性能均能达到纯银镀金键合引线的性能要求。
【IPC分类】C22C1-02, C22C9-00, C22F1-08, H01L21-48, H01L23-49
【公开号】CN104835797
【申请号】CN201510127432
【发明人】王东明, 李伟文, 张志富, 肖冲, 刘晓丹, 姜桂萍, 张莉
【申请人】辽宁凯立尔电子科技有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年3月23日