一种二极管功率模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及的是一种二极管功率模块，属于半导体功率器件封装技术领域。
【背景技术】
[0002]传统功率器件封装工艺中，一般使用引线键合(Wire bonding)或铜带键合(ClipBonding或称为Copper Strap Attachment )技术，但是为了进一步减小功率器件的封装尺寸以及获得更低的导通电阻，有些公司开始尝试在功率器件封装工艺中使用铝带键合技术，特别是在小封装尺寸的功率器件中，例如S0-8、PQFN等。
[0003]功率模块是在功率电子电路上使用的半导体封装体，比如，封装了绝缘栅双极晶体管(IGBT)芯片，或金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)芯片的模块。一些模块也封装有半导体二极管(D1DE)芯片以提供过压保护。以上功率半导体芯片具有一系列电压和电流等级，以适应不同的场合或行业应用。
[0004]由于功率半导体芯片的热膨胀系数和键合线的热膨胀系数相差较大，功率模块在长期使用过程中最容易产生的失效是键合点与芯片表面脱离；同时半导体功率芯片电流密度的不断增加，传统的铝线已经不能满足电气连接的要求。
[0005]超声键合是实现集成电路封装中芯片互连的关键技术之一。现在集成电路(IC)封装中有三种方法可以实现芯片的电气互连:倒装芯片、载带自动焊及引线键合。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种结构简单，封装质量好，能保障封装与工艺和要求，大大提高了可靠性和过电流能力的二极管功率模块。
[0007]本发明的目的是通过如下技术方案来完成的，一种二极管功率模块，它主要包括:半导体芯片，金属化陶瓷衬底，铝带，散热基板和外壳，所述的二极管芯片通过焊料焊接到金属化陶瓷衬底的阳极上；使用超声波键合将金属化陶瓷衬底的阳极铜层通过铝带和二极管芯片的阳极相连；所述金属化陶瓷衬底的背面铜层通过焊料焊接到散热基板上。
[0008]所述的金属化陶瓷衬底由第一铜表面、中间陶瓷层和第二铜表面通过金属化陶瓷工艺制成，所述的铝带为用连续铸轧工艺或其它合适工艺制成的软态铝带；散热基板通过密封胶与外壳粘合。
[0009]所述的软态铝带使用超声波键合方法焊接在半导体芯片的表面。
[0010]随着半导体封装尺寸的日益变小，普遍应用于大功率器件上的粗铝线键合技术不再是唯一的选择。铝带键合突破了封装尺寸的限制，实现了小功率器件封装中键合工艺的强度和性能优势。铝带键合提供了一个近乎完美的技术替代，且比现有技术更具吸引力。在键合质量、工艺能力以及设计要求等方面，键合铝带均优于传统键合铝线。
[0011]由于使用了超声波焊接技术及键合铝带，大大提高了可靠性和过电流能力；一个宽长比为10:1的铝条带可以代替12根与它厚度相当线径的铝线或8根铜线。
[0012]本发明为一种基于铝带超声波键合的二极管功率模块，具有结构简单，封装质量好，能保障封装与工艺和要求，大大提高了可靠性和过电流能力等特点。
【附图说明】
[0013]图1是本发明所述模块的俯视结构示意图。
[0014]图2是本发明所述模块的剖视结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图对本发明作详细的介绍:涂1、2所示，本发明所述的一种二极管功率模块，它主要包括:半导体芯片2，金属化陶瓷衬底，铝带1，散热基板5和外壳9，所述的二极管芯片2通过焊料4焊接到金属化陶瓷衬底的阳极3上；使用超声波键合将金属化陶瓷衬底的阳极铜层6通过铝带I和二极管芯片2的阳极相连；所述金属化陶瓷衬底的背面铜层10通过焊料)焊接到散热基板5上。
[0016]本发明所述的金属化陶瓷衬底由第一铜表面、中间陶瓷层和第二铜表面通过金属化陶瓷工艺制成，所述的铝带I为用连续铸轧工艺或其它合适工艺制成的软态铝带；散热基板5通过密封胶7与外壳9粘合。
[0017]所述的软态铝带使用超声波键合方法焊接在半导体芯片的表面。
[0018]实施例:本发明所述的二极管芯片2通过焊料4焊接到DBC的阳极3上，使用超声波键合将DBC的阳极铜层6通过铝带I和二极管芯片阳极相连。DBC的背面铜层10通过焊料8焊接到散热基板5上。塑料外壳9与散热基板5通过密封胶7粘合。所述的DBC为用直接键合铜工艺制成的覆铜陶瓷基板。
【主权项】
1.一种二极管功率模块，它主要包括:半导体芯片，金属化陶瓷衬底，铝带，散热基板和外壳，其特征在于所述的二极管芯片(2)通过焊料(4)焊接到金属化陶瓷衬底的阳极(3)上；使用超声波键合将金属化陶瓷衬底的阳极铜层(6)通过铝带(I)和二极管芯片的阳极相连；所述金属化陶瓷衬底的背面铜层(10)通过焊料(8)焊接到散热基板(5)上。
2.根据权利要求1所述的二极管功率模块，其特征在于所述的金属化陶瓷衬底由第一铜表面、中间陶瓷层和第二铜表面通过金属化陶瓷工艺制成，所述的铝带为用连续铸轧工艺或其它合适工艺制成的软态铝带；散热基板(5)通过密封胶(7)与外壳(9)粘合。
3.根据权利要求2所述的二极管功率模块，其特征在于所述的软态铝带使用超声波键合方法焊接在半导体芯片的表面。
【专利摘要】一种二极管功率模块，它主要包括：半导体芯片，金属化陶瓷衬底，铝带，散热基板和外壳，所述的二极管芯片通过焊料焊接到金属化陶瓷衬底的阳极上；使用超声波键合将金属化陶瓷衬底的阳极铜层通过铝带和二极管芯片的阳极相连；所述金属化陶瓷衬底的背面铜层通过焊料焊接到散热基板上；所述的金属化陶瓷衬底由第一铜表面、中间陶瓷层和第二铜表面通过金属化陶瓷工艺制成，所述的铝带为用连续铸轧工艺或其它合适工艺制成的软态铝带；散热基板通过密封胶与外壳粘合；所述的软态铝带使用超声波键合方法焊接在半导体芯片的表面；它具有结构简单，封装质量好，能保障封装与工艺和要求，大大提高了可靠性和过电流能力等特点。
【IPC分类】H01L21-60, H01L23-488
【公开号】CN104867897
【申请号】CN201510225934
【发明人】季霖夏
【申请人】嘉兴斯达微电子有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年5月6日