样品观测设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种样品观测设备。更确切地说，本发明涉及一种能够在大气压状态下观测并分析样品的包含扫描电子显微镜的样品观测设备。
【背景技术】
[0002]随着近来对显示器衬底、太阳能电池衬底、半导体晶片的需求及显示器衬底、太阳能电池衬底、半导体晶片的大小日趋增加，在其生产中投入很多精力以增加稳定性。为了生产此类大型衬底，检查并分析大型衬底的缺陷为必需工艺。为了分析在此类衬底中产生的粒子的大小、形态及成分以及其类似者，通常使用扫描电子显微镜。在第10-2008-0071793号韩国专利公开案等中揭示了将扫描电子显微镜用于半导体生产的相关技术。
[0003]图1为说明根据相关技术的扫描电子显微镜I的示意图。
[0004]参考图1，相关技术SEM I可包含SEM镜筒10及SEM腔室20。SEM镜筒10包含发出电子束的振荡单兀11 ;控制自振荡单兀11发出的电子的量以及电子束大小的包含聚光透镜及孔隙的光学单元12 ;调整图像的焦点的物镜；以及照射已穿过光学单元12的电子束到样品21的处理单元13，且SEM腔室包含样品装设于上面的平台22、用于检测图像的检测器23，以及用于自SEM I的内部移除气体分子的真空泵24。
[0005]在SEM I中，由于样品21应安置于处于真空状态的SEM I内部，因此存在如下限制:难以观测在真空状态下保持原始状态有困难的样品(例如，在真空状态下保持其形态有困难的液体)。
[0006]并且，由于样品应装载于SEM腔室20内部，因此存在如下限制:SEM腔室20的大小应增加以便观测大型样品，或者将大型样品切割或分成小型样品以安置于SEM腔室20内部。
[0007]另外，当样品为绝缘体样品时，发生充电效应(其中电子在真空状态下归因于电子束而积聚于样品的表面上以产生充电)，且因此充电使电子的轨道扭曲或偏转，使得无法观测到正常图像。为了解决此限制，需要涂布例如铂、金、碳或类似者的导体的膜的预处理工艺。然而，由于预处理工艺需要额外设备且包含几个工艺，因此花费大量时间来观测样品O
【发明内容】
[0008]本发明提供一种样品观测设备，其可并非在真空状态而是在大气压状态下观测并分析样品。
[0009]本发明还提供一种样品观测设备，其可在不切割或划分样品的情况下观测并分析处于原始状态的样品。
[0010]本发明还提供一种样品观测设备，其可通过省略涂布例如铂或类似者的导体的膜的预处理工艺来节省处理时间及成本。
[0011]根据示范性实施例，样品观测设备包含:工作台；平台，其定位于所述工作台上且在大气压状态下样品装设于所述平台上；第一轴移动单元及第二轴移动单元，其定位于工作台上且可与平台一起在第一轴方向及与第一轴方向交叉的第二轴方向上相对移动；以及电子显微镜镜筒，其连接至所述第一移动单元及所述第二轴移动单元以观测样品，且具有保持于真空状态的内部。
[0012]平台可在第一轴方向及第二轴方向上移动，或第一轴移动单元及第二轴移动单元可在第一轴方向及第二轴方向上移动，且平台可在上/下方向上移动，或第一轴移动单元及第二轴移动单元可在上/下方向上移动。
[0013]第一轴移动单元和第二轴移动单元可包含可在第一轴方向上移动的第一轴移动单元，及可在第二轴方向上移动的第二轴移动单元，且电子显微镜镜筒可安装于第二轴移动单元中。
[0014]电子显微镜镜筒可在第一轴方向及第二轴方向上移动，以便在工作台的大小范围内安置于平台的整个区域的任何位置处。
[0015]电子显微镜镜筒可包含:发出电子束并使电子束照射到样品的照射单元，及检测自样品发出的电子束、电子、能量及X射线中的任一个的信号的检测器。
[0016]电子显微镜镜筒可连接至真空泵，从而使其内部维持于真空状态。
[0017]电子显微镜镜筒可通过移动平台以及第一轴移动单元和第二轴移动单元中的任一个而定位于样品上的预定位置处，且在大气压状态下观测样品。
[0018]以上样品观测设备可更包含光学显微镜镜筒，其连接至第一轴移动单元和第二轴移动单元而以低于电子显微镜镜筒的放大率的放大率观测样品。
[0019]以上样品观测设备可更包含安置于工作台下以防止工作台振动的隔离器。
[0020]以上样品观测设备可更包含销升/降单元，其提升多个支撑销以装载所述样品，降低多个支撑销以将所述样品装设于所述平台内。
【附图说明】
[0021]可从结合附图所作的以下描述中更详细地理解示范性实施例，其中:
[0022]图1为说明根据相关技术的扫描电子显微镜的示意图。
[0023]图2为根据示范性实施例的样品观测设备的立体图。
[0024]图3为根据示范性实施例的样品观测设备的正视图。
[0025]图4为根据示范性实施例的样品观测设备中的升/降单元的立体图。
[0026]图5为说明根据示范性实施例的样品观测设备的扫描电子显微镜镜筒及光学显微镜镜筒的放大立体图。
[0027]图6为说明根据本发明的示范性实施例的样品观测设备的扫描电子显微镜镜筒及光学显微镜镜筒的放大后向立体图。
[0028]元件符号说明
[0029]1:扫描电子显微镜
[0030]10: SEM 镜筒
[0031]11:振荡单元
[0032]12:光学单元
[0033]13:处理单元
[0034]20: SEM 腔室
[0035]21:样品
[0036]22:平台
[0037]23:检测器
[0038]24:真空泵
[0039]50:样品
[0040]100:样品观测设备
[0041]110:工作台
[0042]120:平台
[0043]130:第一轴移动单元
[0044]131:第一导轨
[0045]132:第一可移动轨
[0046]140:第二轴移动单元
[0047]141:第二导轨
[0048]142:第二可移动轨
[0049]150:销升/降单元
[0050]151:支撑销
[0051]160:夹具
[0052]200: SEM 镜筒
[0053]201:支撑托架
[0054]220:真空泵
[0055]250: SEM 控制单元
[0056]300:光学显微镜镜筒
[0057]301:支撑托架
[0058]400:隔离器
【具体实施方式】
[0059]在以下【具体实施方式】中，参考以实例说明的方式显示可实践本发明的具体实施例的附图。这些实施例描述得足够详细以使得本领域的技术人员能够实践本发明。应理解，尽管不同，但各种实施例不必相互排斥。举例来说，本文中所描述的特定形状、结构及特征可以不同形式具体化而不偏离本发明的精神和范围。此外，应理解，每一所揭示实施例内个别元件的位置或布置可经修改而不偏离所主张标的物的精神和范围。因此，以下详细描述并非限制性的，而是仅受权利要求(包含权利要求的那些等效物)限制，只要恰当地描述了本发明的范围。在诸图中类似参考数字指示在各个方面相同或类似的功能，且元件的长度、面积、厚度及形状为了描述方便起见可予以夸示。
[0060]下