一种机械扫描装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体器件制造控制系统，即注入机，特别地，涉及一种用于离子注入机机械扫描装置。
【背景技术】
[0002]随着半导体工艺的发展，机械扫描能否稳定对于离子注入系统愈发重要，对注入产品的质量和离子注入机的产业化有着很大的影响。如果离子注入机引出束流能量很低时，特别是大束流、传输路径长的场合，由于空间电荷效应的影响，离子束发散严重，其传输效率极低，使得最后到达注入晶片的束流小，束品质差，不能满足注入工艺要求；机械扫描装置对于超低能大束流离子束的传输有着特殊的意义。
[0003]机械扫描装置的精准度是最终得到高品质产品的基础，已然成为离子注入机向前发展的必要因素。
【发明内容】
[0004]本发明公开了一种机械扫描装置，可用于离子注入机系统；其运动稳定，对束流扫描精准，良好的控制上下运动，从而使靶台接到的束流质量最为良好。
[0005]本发明通过以下技术方案实现:
[0006]1.一种束流检测及分析装置，包括:转驱动装置(I)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其特征在于:旋转驱动装置带动气浮轴上下运动从而实现机械扫描束流。
[0007]2.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，旋转驱动装置(I)包括一个伺服电机及一个谐波减速组件，一个角度限制块，保证电极平稳的运行，旋转角度不会超过极限位置。
[0008]3.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，侧向调节连杆机构(2)通过电机运动带动气浮轴运动。
[0009]4.如权利要求1所述的一种机械扫描装置,气浮垫模块(3)由一气浮垫及其安装结构组成，其特征在于可保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。
[0010]5.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，气浮轴模块(4)由气浮轴承及其气浮轴套，其特征在于:气浮轴套通过冲气保证其本身在轴承上平稳运动。
[0011]本发明具有如下显著优点:
[0012]1.噪音小，干净无污染。
[0013]2.功能可靠，稳定性好。
[0014]3.易于控制，不需经常维护和更换。
【附图说明】
[0015]图1机械扫描装置总结构图
[0016]图2气浮垫模块结构图
[0017]图3旋转驱动机构结构图
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图1、附图2和附图3对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
[0019]参见图1、图2和图3，一种机械扫描装置分四部分，旋转驱动装置(I)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)。其中旋转驱动装置(I)带动侧向调节连杆机构(2)运动，从而使气浮轴模块(4)上下稳定运动，而气浮垫模块(3)保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。
[0020]在该实施方式中，旋转驱动装置(I)由一个伺服电机和一个谐波减速器主要部件构成，电机为驱动部件，来驱动侧向调节连杆机构(2)进行运动，采用谐波减速器是为了更好地保障侧向调节连杆机构(2)的平稳运动。
[0021]在该实施方式中，气浮垫模块(3)由一气浮垫及其安装结构组成，其特征在于可保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。
[0022]在该实施方式中，气浮轴模块(4)由气浮轴承及其气浮轴套，其特征在于:气浮轴套通过冲气保证其本身在轴承上平稳运动。
[0023]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.一种机械扫描装置，包括:旋转驱动装置(I)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其特征在于:旋转驱动装置带动气浮轴上下运动从而实现机械扫描束流。2.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，旋转驱动装置(I)包括一个伺服电机及一个谐波减速组件，一个角度限制块，保证电极平稳的运行，旋转角度不会超过极限位置。3.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，侧向调节连杆机构(2)通过电机运动带动气浮轴运动。4.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，气浮垫模块(3)由一气浮垫及其安装结构组成，其特征在于可保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。5.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，气浮轴模块(4)由气浮轴承及其气浮轴套，其特征在于:气浮轴套通过冲气保证其本身在轴承上平稳运动。
【专利摘要】本发明公开了一种机械扫描装置，包括：旋转驱动装置(1)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其中旋转驱动装置(1)驱动侧向调节连杆机构(2)带动气浮轴模块(4)上下运动，其中气浮垫模块(3)在其中起导向作用。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
【IPC分类】H01J37/317, H01J37/20
【公开号】CN105097395
【申请号】CN201410209360
【发明人】梁旭
【申请人】北京中科信电子装备有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年5月19日