示第一实施例的真空排气结构的图。在配置有电子源4的真空室6连接有真空配管40。真空室6经过真空配管40而与主真空栗20结合。辅助真空栗23设置在真空配管40的主真空栗20与真空室6之间的位置。S卩，辅助真空栗23相比主真空栗20配置于真空室6侦U。
[0040]粗排气口(粗排气孔)41连接于真空配管40的辅助真空栗23与真空室6之间的位置。即，粗排气口 41相比辅助真空栗23配置于真空室6侦U。
[0041]粗排气口 41具备粗排气阀27。另外，粗排气口 41分岔成两个，在分岔的一方的部分结合粗排气用栗43，在分岔的另一方的部分设置漏泄阀42。另外，在粗排气口 41与真空配管40的结合部分设置有空气导入引导件44。空气导入引导件44的导入口 44a朝向真空室6侧。
[0042]作为从高真空到大气的基本的泄露工序，在将粗排气阀27开口后，将漏泄阀42开口，放置到成为大气压为止。
[0043]在上述泄露工序中进行大气开放的情况下的微粒子的飞散实验，从而对本实施例的效果进行评价。评价实验对两个情况实施。其一为，本实施例的结构，如图3所示，在真空室6与辅助真空栗23之间设置粗排气口 41的结构。另一个是比较例，如图4所示，将粗排气口 41相比辅助真空栗23配置于主真空栗20侧的结构。在图3以及图4中，表示微粒子50、大气开放时的微粒子50的行迹51、大气开放时的空气的流动52。
[0044]图3中，大气开放时的空气的流动52因空气导入引导件44而朝向真空室6的方向。空气流经真空室6内后，流向主真空栗20。因此，大气开放时的微粒子50的行迹51成为朝向主真空栗20侧的移动。因此，能够防止微粒子50向设置有电子源4的真空室6的飞散。飞散至主真空栗20侧的微粒子50在大气开放后的真空室6的真空排气过程中飞散至主真空栗20侧，被主真空栗20捕捉。被主真空栗20暂时捕捉的微粒子50在大气开放后的真空排气时向真空室6的方向再次飞散的可能性较小。
[0045]图4中，大气开放时的空气的流动52成为真空室6侧和主真空栗20侧双方向。图4中，粗排气口 41设置在辅助真空栗23与主真空栗20之间，因此微粒子50向真空室6和主真空栗20双方向飞散，能够防止微粒子50向真空室6的飞散。
[0046]根据本实施例，能够提供具备同时使用辅助真空栗23 (非蒸发吸气栗)和主真空栗20的电子枪室的带电粒子线装置。辅助真空栗23设置在真空配管40的主真空栗20与真空室6之间的位置，S卩，相比主真空栗20设置于真空室6侧。另外，粗排气口(粗排气孔)41连接于真空配管40的辅助真空栗23与真空室6之间的位置，即，相比辅助真空栗23配置于真空室6侧。根据该结构，防止真空室内的实行排气速度的降低，并且在进行大气开放时能够防止辅助真空栗23 (非蒸发吸气栗)的微粒子50的飞散。
[0047]另外，根据本实施例，在粗排气口 41与真空配管40的结合部分，设置有空气导入引导件44，空气导入引导件44的导入口 44a朝向真空室6侧。根据该结构，能够使大气开放时的空气更有效地朝向真空室6的方向，朝向真空室6的空气的流动也稳定。另外，空气的流动变得平稳，因此能够在短时间内进行大气开放。
[0048]此外，本实施例中，在粗排气口 41与真空配管40的结合部分，设置有空气导入引导件44，但并不限定于此，也可以是没有设置空气导入引导件44的结构。
[0049][第二实施例]
[0050]图5 ，第二实施例的真空排气结构。在本实施例，粗排气口 41不经过真空配管40而直接与真空室6连接。例如，粗排气口 41连接于在真空室6中与真空配管40对置的位置。
[0051]根据本实施例，大气开放时的空气的流动52成为从真空室6向主真空栗20的方向。因此，微粒子50的行迹51成为向主真空栗20方向移动的行迹，因此能够防止微粒子50向设置有电子源4的真空室6的飞散。另外，粗排气口 41是直接连接于真空室6的结构，因此空气将直接流至真空室6，从而能够短时间地进行大气开放。
[0052][第三实施例]
[0053]图6是表示第三实施例的真空排气结构的图。本实施例中，粗排气口41在真空配管40中设置于辅助真空栗23与主真空栗20之间。另外，在粗排气口 41与真空配管40的结合部分，设置有空气导入引导件44。空气导入引导件44的导入口 44a朝向真空室6侦U。另外，空气导入引导件44的导入口 44a相比辅助真空栗23延伸至真空室6侧的位置。
[0054]根据本实施例，大气开放时的空气的流动52成为从真空室6向主真空栗20的方向。空气在流经真空室6内后，流向主真空栗20。空气导入引导件44的导入口 44a相比辅助真空栗23延伸至真空室6侧的位置，因此朝向真空室6的空气的流动中不会混入微粒子50。如图6所示，例如，落在空气导入引导件44上的微粒子50的行迹51成为向主真空栗20方向移动的行迹。由此，能够防止微粒子50向设置有电子源4的真空室6的飞散。
[0055]此外，本发明并不限定于上述的实施例，包含多种变形例。例如，上述的实施例是为了使本发明易于理解地说明而进行的详细地说明，并不限定于必须具有说明的全部结构。另外，可以将某一实施例的结构的一部分置换为其它实施例的结构，另外，还能够在某一实施例的结构追加其它实施例的结构。另外，对各实施例的结构的一部分能够进行其它结构的追加、削除、置换。
[0056]符号的说明
[0057]I一镜体，2 —电子射线，3一试样，4一电子源，5—妈丝，6—真空室，I一第一中间室，8—第二中间室，9一试样室，11 一引出电极，12一加速电极，13一物镜，15 —电流检测部，16—溢流电源，17一控制器，18一显不器，19一操作器，20—主真空栗，21、22—尚子栗，23—辅助真空栗，24—加热部，25—涡轮分子栗，26—试样台，27、28、29—粗排气阀，30 —电子枪加热部，31—缝隙电极，32—发射电子检测部，33—高压电源，40—真空配管，41 一粗排气口，42—漏泄阀，43—粗排气用栗，44一空气导入引导件，44a—导入口。
【主权项】
1.一种带电粒子线装置，具备将从带电粒子源发射的带电粒子线入射至试样上的带电粒子光学系统、用于对上述带电粒子光学系统进行排气的真空排气结构，上述带电粒子线装置的特征在于， 上述真空排气结构具备: 设置有上述带电粒子源的真空室； 与上述真空室连接的真空配管； 经由上述真空配管而连接，并对上述真空室内进行排气的主真空栗； 设置于上述真空配管的上述真空室与上述主真空栗之间的位置的非蒸发吸气栗；以及连接于上述真空配管的上述真空室与上述非蒸发吸气栗之间的位置的粗排气口，该粗排气口具备打开关闭上述粗排气口的粗排气用阀和用于将上述真空室进行大气开放的漏泄阀。2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 还具备设置于上述粗排气口与上述真空配管的连接位置的空气导入引导件，上述空气导入引导件的导入口朝向上述真空室侧。3.一种带电粒子线装置，具备将从带电粒子源发射的带电粒子线入射至试样上的带电粒子光学系统、用于对上述带电粒子光学系统进行排气的真空排气结构，上述带电粒子线装置的特征在于， 上述真空排气结构具备: 设置有上述带电粒子源的真空室； 与上述真空室连接的真空配管； 经由上述真空配管而连接，并对上述真空室内进行排气的主真空栗； 设置于上述真空配管的上述真空室与上述主真空栗之间的位置的非蒸发吸气栗；以及连接于上述真空室的粗排气口，该粗排气口具备打开关闭上述粗排气口的粗排气用阀和用于将上述真空室进行大气开放的漏泄阀。4.根据权利要求3所述的带电粒子线装置，其特征在于， 上述粗排气口连接于上述真空室中与上述真空配管对置的位置。5.一种带电粒子线装置，具备将从带电粒子源发射的带电粒子线入射至试样上的带电粒子光学系统、用于对上述带电粒子光学系统进行排气的真空排气结构，上述带电粒子线装置的特征在于， 上述真空排气结构具备: 设置有上述带电粒子源的真空室； 与上述真空室连接的真空配管； 经由上述真空配管而连接，并对上述真空室内进行排气的主真空栗； 设置于上述真空配管的上述真空室与上述主真空栗之间的位置的非蒸发吸气栗； 连接于上述真空配管的上述主真空栗与上述非蒸发吸气栗之间的位置的粗排气口，该粗排气口具备打开关闭上述粗排气口的粗排气用阀和用于将上述真空室进行大气开放的漏泄阀；以及 设置于上述粗排气口与上述真空配管的连接位置的空气导入引导件， 上述空气导入引导件的导入口相比上述非蒸发吸气栗延伸至上述真空室侧。
【专利摘要】本发明提供带电粒子线装置的真空排气结构具备：设置有带电粒子源的真空室；与真空室连接的真空配管；经由真空配管而连接，并对真空室内进行排气的主真空泵；设置于真空配管的真空室与主真空泵之间的位置的非蒸发吸气泵；以及连接于真空配管的真空室与非蒸发吸气泵之间的位置连接的粗排气口。粗排气口具备用于打开关闭粗排气口的粗排气用阀和用于将真空室进行大气开放的漏泄阀。
【IPC分类】H01J37/18
【公开号】CN105190824
【申请号】CN201480023861
【发明人】高鉾良浩, 小林大佑, 木村政司, 笹岛正弘
【申请人】株式会社日立高新技术
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2014年4月23日
【公告号】DE112014001777T5, US9349567, US20160086766, WO2014181685A1