遵守设计规则的层标记的制作方法
【技术领域】
[0001]本揭露涉及半导体晶圆层标记。本揭露尤其适用于用于识别半导体层是否已印刷的文字标记、或适用于识别目前正在分析的层。
【背景技术】
[0002]每一个待印刷于半导体晶圆上的设计皆包括层标记，举例而言，该等层标记用于识别各层是否已确实印刷、或用于识别目前正在分析的层。然而，层标记通常包括人类可读文字，诸如图1中所示者，其可能违反设计规则。更具体来说，设计规则需要特定几何限制条件，例如但不局限于:非45°角、非交会或重迭形状、以及非面积为零的形状，因为这些条件会使缺陷数增加。由于并非所有设计都可维持这些限制条件，所以设计手册中针对文字标记的一组特定限制条件已预先定义豁免(waiver)。
[0003]使文字遵守设计规则的常见方法含括变更文字的字型。然而，经修改的文字设计接着可能无法让晶圆技术人员读取或仍未遵守设计规则。另外，文字非机器可读。
[0004]因此，需要能形成包括文字的层标记的方法及器具，该等层标记既遵守设计规则又为人类可读。
【发明内容】
[0005]本揭露的一态样是一种将人类可读文字变换成印刷在半导体晶圆上的机器可读码的方法。
[0006]本揭露的另一态样是一种将人类可读文字的机器可读表示变换回人类可读文字的方法。
[0007]本揭露的另一态样是一种将人类可读文字的机器可读表示变换成遵守设计规则的机器可读码的方法。
[0008]本揭露的另一态样是一种在观察者与半导体晶圆间包括解码装置的器具，该半导体晶圆包括人类可读文字的机器可读表示，其中，解码装置将机器可读表示转换回人类可读文字。
[0009]本揭露的附加态样及其它特征将在以下说明中提出，而且所属技术领域的技术人员在审查下文后将部分清楚了解该些态样及特征，或可经由实践本揭露学习到该些态样及特征。可如随附权利要求书中具体指出者实现并获得本揭露的优点。
[0010]根据本揭露，某些技术功效可藉由一种方法而部分达成，该方法包括:接收包括层标记的半导体设计，层标记包括人类可读文字；将人类可读文字变换成二进制表示；将二进制表示变换成机器可读二维条码；以及在半导体晶圆上印刷二维条码。
[0011]本揭露的态样包括二维条码，该二维条码包含点与线的二维组织。进一步态样包括线的数目超过点的数目，并且半导体设计包括金属层设计。其它态样包括点的数目超过线的数目，并且半导体设计包括接触层设计。另一态样包括在该二维条码中包括冗余。一附加态样包括该人类可读文字包括45°角。进一步态样包括透过显微镜检视该印刷的二维条码，该显微镜在该二维条码与该观察者之间包括用于将该二维条码变换回人类可读文字的解码装置。
[0012]本揭露的另一态样是一种方法，该方法包括在显微镜底下置放包括层标记的半导体晶圆，该层标记包含机器可读二维条码，该条码代表人类可读文字；透过该显微镜中的解码器具检视该半导体晶圆；以及将该二维条码读取成该人类可读文字。
[0013]本揭露的另一态样是一种器具，该器具包括:光源；晶圆保持器；放大透镜；解码装置，其中，该解码装置将人类可读文字的机器可读二维条码表示转换成该人类可读文字。
[0014]经由以下实施方式，本揭露的附加态样及技术功效对于所属技术领域的技术人员将变得容易明白，其中，本揭露的具体实施例系藉由所思及的最佳模式举例简单描述而用以实行本揭露。应了解到，本揭露能够有其它及不同的具体实施例，而且其数项细节能够用各种明显观点作修改，但全都不会脱离本揭露。图式及说明内容在本质上应被视为例示性，而非视为限制性。
【附图说明】
[0015]本揭露以附图举实施例来说明而非作为限制，且其中相同的元件符号指类似元件，并且其中:
[0016]图1概要说明具有可能违反设计规则的文字的层标记；
[0017]图2A根据一例示性具体实施例，说明用于将人类可读文字转换成待印刷的机器可读文字的程序流程；
[0018]图2B根据一例示性具体实施例，说明待印刷于半导体晶圆上的二维条码；
[0019]图3根据一例示性具体实施例，说明用于将印刷条码读取成人类可读文字的程序流程；以及
[0020]图4根据一例示性具体实施例，概要说明用于将印刷条码检视成人类可读文字的显微镜。
[0021]符号说明
[0022]201步骤
[0023]203步骤
[0024]205步骤
[0025]207步骤
[0026]301步骤
[0027]303步骤
[0028]305步骤
[0029]307步骤
[0030]401晶圆保持器
[0031]403光源
[0032]405反射
[0033]407光焦点
[0034]409放大透镜
[0035]411准直仪
[0036]413 解码装置
[0037]415使用者。
【具体实施方式】
[0038]在以下叙述中，为了说明，提出许多特定细节以便完整了解例示性具体实施例。然而，应该清楚明白未用到这些特定细节或利用均等配置也可实践例示性具体实施例。在其它实例中，为了避免非必要性混淆例示性具体实施例，众所周知的结构及装置是以方块图的形式来展示。另外，除非另有所指，表达本说明书及权利要求书中所使用的量、比率、以及成分、反应条件等等数值特性的所有数字在所有实例中都要理解为是以用语「约」来修饰。
[0039]本揭露处理并解决目前半导体层标记因形成具有文数文字的层标记而违反设计规则或人类无法读取的问题。根据本揭露的具体实施例，文字是在半导体晶圆上印刷层标记前先经编码而为遵守设计规则(design rule clear)。
[0040]根据本揭露的具体实施例的方法包括接收包括层标记的半导体设计，该层标记包括人类可读文字。将人类可读文字变换成二进制表示，并接着将二进制表示变换成机器可读二维条