的表面收集的第二量的光。
[0115]在框705中，基于第一及第二量的经收集光产生输出值。
[0116]图21说明对最小化多个照明光束之间的干涉有用的另一示范性方法800的流程图。在一个非限制性实例中，参考图17描述的检验系统500经配置以实施方法800。然而，一般来说，方法800的实施可由所描述的子系统及系统中的任何者实施，且此外不受本文中所描述的特定实施例限制。
[0117]在框801中，由照明源产生照明光束。
[0118]在框802中，将照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中由两个或两个以上的次级照明光束中的每一者照明的样本的表面中的每一区域是空间分离的。
[0119]在框803中，(例如)由检测器接收从由两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的样本的表面收集的第一量的光。
[0120]在框804中，(例如)由检测器接收从由两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的样本的表面收集的第二量的光。
[0121]在框805中，基于第一及第二量的经收集光的时间延迟积分产生输出值。
[0122]对于可用于检验样本的检验系统或工具在本文中描述各种实施例。在本文中使用术“样本”是指所属领域中已知的晶片、光罩或可针对缺陷、特征或其它信息(例如，大量雾或膜性质)而检验的任何其它样本。
[0123]如本文中使用，术语“晶片”大体上是指由半导体或非半导体材料形成的衬底。实例包含(但不限于)单晶硅、砷化镓、氮化镓及磷化铟。此类衬底通常可在半导体制造设施中找到及/或处理。在一些情况中，晶片可仅包含衬底(即，裸晶片)。或者，晶片可包含形成于衬底上的一或多个不同材料层。形成于晶片上的一或多个层可“被图案化”或“未被图案化”。举例来说，晶片可包含具有可重复图案特征的多个裸片。
[0124]“光罩”可为在光罩制造工艺的任何阶段的光罩，或可或不一定经释放以用于半导体制造设施中的完整光罩。光罩或“掩模”大体上被定义为具有形成于其上且被配置成图案的基本上不透明区域的基本上透明衬底。衬底可包含(例如)玻璃材料，例如石英。光罩可在光刻工艺的曝光步骤期间安置于覆盖抗蚀剂的晶片上，使得光罩上的图案可转移到抗蚀剂。
[0125]在一或多个示范性实施例中，可在硬件、软件、固件或其任何组合中实施所描述的功能。如果在软件中实施，那么功能可作为一或多个指令或程序代码存储于计算机可读媒体上或经由计算机可读媒体传输。计算机可读媒体包含计算机存储媒体及通信媒体(其包含促进计算机程序从一个地方传送到另一地方的任何媒体)两者。存储媒体可为可由通用或专用计算机存取的任何可用媒体。举例来说(且无限制)，此类计算机可读媒体可包括RAM、R0M、EEPR0M、CD_R0M或其它光盘存储装置、磁盘存储装置或其它磁性存储装置，或可用以载运或存储呈指令或数据结构形式的所要程序代码构件及可由通用或专用计算机或通用或专用处理器存取的任何其它媒体。此外，任何连接可适当地称为计算机可读媒体。举例来说，如果使用同轴电缆、光纤电缆、双绞线、数字用户线(DSL)或例如红外、无线电及微波的无线技术从网站、服务器或其它远程源传输软件，那么同轴电缆、光纤电缆、双绞线、DSL或例如红外、无线电及微波的无线技术包含于媒体的定义中。如本文中使用，磁盘及光盘包含压缩光盘(CD)、激光光盘、光盘、数字多功能光盘(DVD)、软盘及蓝光光盘，其中磁盘通常磁性地重现数据而光盘使用激光光学地重现数据。上述组合应也包含于计算机可读媒体的范围内。
[0126]尽管上文出于指导目的描述某些特定实施例，但本专利文件的教示具有一般适用性且不限于上文描述的特定实施例。因此，在不背离如权利要求书中陈述的本发明的范围的情况下，可实践所描述的实施例的各种特征的各种修改、调适及组合。
【主权项】
1.一种检验系统，其包括: 脉冲激光照明源，其经配置以产生照明光束； 光学子系统，其接收所述照明光束且将所述照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中所述光学子系统在所述两个或两个以上次级光束照明待检验的样本的表面时在所述两个或两个以上的次级照明光束之间引入时间延迟;及 检测器，其可操作以接收从由所述两个或两个以上的次级光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光及接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光。2.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检测器经配置以基于所述第一及第二量的经收集光产生输出值。3.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述时间延迟超过由所述脉冲激光照明源产生的所述照明光束的脉冲持续时间。4.根据权利要求3所述的检验系统，其中所述时间延迟小于由所述脉冲激光照明源产生的所述照明光的连续脉冲之间的周期。5.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成两个半光束的两个平行镜，其中一个半光束相对于另一者空间移位且在时间上延迟。6.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以从所述照明光束产生两个或两个以上的次级照明光束的至少一个分束器及一镜，其中所述次级照明光束中的每一者相对于所述次级照明光束中的任何其它者在时间上延迟。7.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成大约相等强度的四个半光束的平行光束板，其中所述四个半光束中的每一者相对于其它者中的至少一者在时间上延迟。8.根据权利要求7所述的检验系统，其中所述平行光束板进一步经配置以从所述平行光束板的第一表面发射所述四个半光束中的第一及第二者且从所述平行光束板的第二表面发射所述四个半光束中的第三及第四者。9.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述检测器是时间延迟积分TDI检测器。10.—种检验系统，其包括: 照明源，其经配置以产生照明光束； 光学子系统，其接收所述照明光束且将所述照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中所述光学子系统在所述两个或两个以上的次级光束照明待检验的样本的表面时在所述两个或两个以上的次级照明光束之间引入空间分离;及 时间延迟积分TDI检测器，其可操作以接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光及接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光。11.根据权利要求10所述的检验系统，其中所述TDI检测器经配置以基于所述第一及第二量的经收集光产生输出值。12.根据权利要求10所述的检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成两个半光束的两个平行镜，其中一个半光束相对于另一者空间移位。13.根据权利要求10所述的检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以从所述照明光束产生两个或两个以上的次级照明光束的至少一个分束器及一镜，其中所述次级照明光束中的每一者相对于所述次级照明光束中的任何其它者空间位移。14.根据权利要求10所述的检验系统，其中所述光学子系统包含经配置以将所述照明光束空间分割成大约相等强度的四个半光束的平行光束板，其中所述四个半光束中的每一者相对于其它光束中的至少一者空间移位。15.根据权利要求14所述的检验系统，其中所述平行光束板进一步经配置以从所述平行光束板的第一表面发射所述四个半光束中的第一及第二者且从所述平行光束板的第二表面发射所述四个半光束中的第三及第四者。16.一种方法，其包括: 产生脉冲照明光束； 将所述脉冲照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中在所述两个或两个以上的次级光束照明待检验的样本的表面时所述两个或两个以上的次级照明光束之间具有时间延迟； 接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光； 接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光;及 基于所述第一及第二量的经收集光产生输出值。17.根据权利要求16所述的方法，其中所述将所述脉冲照明光束分割成所述两个或两个以上的次级照明光束涉及将所述照明光束空间分割成两个半光束，其中一个半光束相对于另一者在时间上延迟。18.根据权利要求16所述的方法，其中所述时间延迟超过所述脉冲照明光束的脉冲持续时间。19.根据权利要求18所述的方法，其中所述时间延迟短于所述脉冲照明光束的连续脉冲之间的周期。20.—种方法，其包括: 产生照明光束； 将所述照明光束分割成两个或两个以上的次级照明光束，其中由所述两个或两个以上的次级照明光束中的每一者照明的样本的表面中的每一区域是空间分离的； 接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第一者照明的所述样本的所述表面收集的第一量的光； 接收从由所述两个或两个以上的次级照明光束中的第二者照明的所述样本的所述表面收集的第二量的光;及 基于所述第一及第二量的经收集光的时间延迟积分产生输出值。21.根据权利要求20所述的方法，其中所述将所述照明光束分割成所述两个或两个以上的次级照明光束涉及衍射光学元件。22.根据权利要求20所述的方法，其中所述照明光束是脉冲照明光束，且其中与所述时间延迟积分相关联的积分时间是连续脉冲之间的时间的至少五倍长。
【专利摘要】本发明呈现用于最小化从非均匀照明源产生的多个照明光束之间的干涉以在检验系统的视域上提供有效均匀照明分布的方法及系统。在一些实例中，将脉冲光束分割成多个照明光束，使得所述光束中的每一者在待检验的样本的表面处在时间上分离。在一些实例中，将从非均匀照明源产生的多个照明光束投射到所述样本的所述表面上的空间分离的区域上。将由每一区域照明的所关注的点目标成像到时间延迟积分TDI检测器的表面上。对所述图像求积分使得所述照明区域沿着所关注的所述点目标的运动方向的相对位置不影响在所述视域上的照明效率分布。
【IPC分类】H01L21/66
【公开号】CN105612611
【申请号】CN201480053644
【发明人】勇-霍·亚历克斯·庄, 陆晓旭, 约翰·费尔登, 伊万·马列夫
【申请人】科磊股份有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2014年8月8日
【公告号】US20150041666, WO2015021411A1