中基座的俯视图；
[0023]图4A为本发明实施例提供的反应腔室的结构示意图；
[0024]图4B为图4A中I区域的放大剖视图；
[0025]图4C为本发明实施例所采用的滑动套的剖视图；
[0026]图4D为本发明实施例所采用的调平装置的剖视图；
[0027]图5为本发明实施例所采用的上法兰的俯视图；以及
[0028]图6为本发明实施例所述采用的下法兰的仰视图。
【具体实施方式】
[0029]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的反应腔室进行详细描述。
[0030]图3A为本发明实施例提供的反应腔室的内部结构示意图。图3B为图3A中基座的俯视图。请一并参阅图3A和图3B，反应腔室20包括基座21和旋转机构。其中，基座21设置在反应腔室20内，用以承载被加工工件；旋转机构(图中未示出)通过旋转轴22与基座21连接，用以驱动该基座21围绕旋转轴22旋转。
[0031]图4A为本发明实施例提供的反应腔室的结构示意图。请参阅图4A，反应腔室20还包括用于支撑旋转机构的上法兰25和下法兰26，二者采用螺纹连接的方式对接，且可相对于反应腔室20作升降运动，进一步说，下法兰26通过连杆29与升降驱动机构(图中未示出)连接，在升降驱动机构的驱动下，连杆29带动上法兰25和下法兰26上升或下降，从而实现由二者支撑的旋转机构及基座21同步上升或下降。
[0032]而且，反应腔室20还包括波纹管24,该波纹管24套设在旋转轴22上,并且波纹管24的上端与反应腔室20的底部密封连接，例如采用焊接的方式密封；波纹管24的下端与上法兰25连接，且与旋转机构采用泛塞密封圈实现二者之间的密封，该密封方式将在下文作详细描述。借助波纹管24，可以实现对反应腔室20的密封，以保证其处于真空环境。容易理解，上述波纹管24在竖直方向上是可伸缩的，在旋转轴22作升降运动时，波纹管24的上端相对于反应腔室20固定不同，而波纹管24的下端相对于反应腔室20与旋转轴22同步作升降运动，即，波纹管24在旋转轴22上升时被压缩，在旋转轴22下降时被伸长。
[0033]下面对旋转机构的结构和功能进行详细描述。具体地，该旋转机构包括端面跳动检测装置23和调平装置。其中，端面跳动检测装置23设置在基座21上方，用于检测其分别与在基座21上端面的同一圆周上的各个检测点之间的高度差值，如图3A所示。具体来说，在旋转机构的驱动下，基座21围绕旋转轴22旋转；此时端面跳动检测装置23朝向基座21的上端面211发送检测信号，该检测信号到达该上端面211上的位置即为检测点，由于基座21处于旋转状态，因而各个检测点在上端面211的同一圆周上形成连续轨迹231，如图3B所示；同时，端面跳动检测装置23接收来自上端面211上的各个检测点的反馈信号，并根据该反馈信号计算端面跳动检测装置23与各个检测点之间的高度差值。容易理解，若各个高度差值之间存在差异，则表面基座21存在端面跳动公差，且该端面跳动公差为所有高度差值中的最大值与最小值的差值。上述端面跳动检测装置23例如可以为距离传感器。
[0034]调平装置用于调节基座21上端面211在调节位置处的高度，直至各个高度差值一致，从而可以消除基座21的端面跳动公差，从而可以提高基座21上端面211的水平度，以使其满足机械手成功取放片的要求。所谓调节位置，是指基座21上端面211上与所有的高度差值中的最大值或者最小值相对应的位置。
[0035]下面结合图4B-4D对上述调平装置的具体结构进行详细描述。具体地，旋转驱动机构还包括环形中心轴30，该环形中心轴30的上部分套设在旋转轴22上，环形中心轴30的下部分自旋转轴22的下端伸出，如图4B所示，环形中心轴30的下部分在旋转轴22的底部环绕形成一空间，调平装置36位于该空间内，S卩，位于环形中心轴30的内侧，且与旋转轴22可围绕其旋转的连接。
[0036]在本实施例中，如图4D所示，在环形中心轴30下部分的内周壁上环绕设置有环形的水平凸缘301，该水平凸缘301的上端面和下端面均与旋转轴22的径向相互平行。调平装置36包括调平本体、中心螺钉38和三个调节螺钉39，其中，调平本体的上端面与水平凸缘301的下端面相接触，且在调平本体的上端面上设置有中心通孔361和均匀分布在其周围的三个调节通孔362 ;中心螺钉38穿过中心通孔361并与旋转轴22连接；各个调节螺钉39 一一对应地穿过各个调节通孔362，且与该调节通孔362螺纹连接；并且，每个调节螺钉39的前端呈圆锥状，且在每个调节通孔362的孔壁上还设置有可径向移动的球体40，该球体40的一部分位于调节通孔362的孔壁内侧，球体40的另一部分位于调平本体的外周壁外侧，并与环形中心轴30的内周壁相接触。
[0037]而且，调平装置36与旋转轴22可围绕其旋转的连接的方式具体为:如图4B和图4C所示，在旋转轴22的下端设置有连接孔221，该连接孔221的轴线与旋转轴22的轴线相重合；在旋转轴22的下端面与水平凸缘301的上端面之间还设置有滑动套34，在该滑动套34的上端面341设置有连接轴342，该连接轴342位于连接孔221内，且二者相互配合；在滑动套34的下端面344设置有螺纹孔343，中心螺钉38竖直向上穿过中心通孔361并与该螺纹孔343螺纹配合。
[0038]当基座21存在端面跳动公差时，将中心螺钉38旋松，此时调平本体可相对于滑动套34围绕中心螺钉38旋转，从而可以改变各个调节螺钉39在其圆周上的位置，以使得三个调节螺钉39中的任意一个调节螺钉所在的位置旋转至上述调节位置，S卩，由端面跳动检测装置23检测获得的、基座21上端面211上与所有的高度差值中的最大值或者最小值相对应的位置。
[0039]若上述调节位置是与基座21上端面211上与所有的高度差值中的最大值相对应的位置，在这种情况下，旋转位于调节位置的调节螺钉39，以使其相对于调节通孔362竖直向上移动，如图4D中左侧的调节螺钉39 ;该调节螺钉39的圆锥状的前端会将球体40挤出调节通孔362，即，球体40在调节通孔362的径向上相对于调节本体朝外(朝图4D中的左侦Π移动，同时朝环形中心轴30下部分的内周壁(朝图4D中的左侧)施加推力，以推动该环形中心轴30相对于其轴线倾斜一定的角度，从而可以升高基座21上端面211在上述调节位置处的高度，即，减小该调节位置处的高度差值，直至各个高度差值一致。
[0040]若上述调节位置是与基座21上端面211上与所有的高度差值中的最小值相对应的位置，在这种情况下，旋转位于调节位置的调节螺钉39，以使其相对于调节通孔362竖直向下移动，此时球体40在调节通孔362的径向上相对于调节本体朝外(朝图4D中的右侧)移动，从而可以降低基座21上端面211在上述调节位置处的高度，S卩，增加该调节位置处的高度差值，直至各个高度差值一致。当完成高度调节之后，旋紧中心螺钉38，从而使调节本体固定不动。
[0041]由上可知，上述调平装置36通过调节环形中心轴60在调节位置处的高度，来间接调节旋转轴22的倾斜角度，从而实现调整基座21上端面211在调节位置处的高度，直至各个高度差值一致，进而可以消除基座的端面跳动