防止工艺腔体排气管路逆流的系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种防止工艺腔体排气管路逆流的系统，包括工艺腔和将工艺腔内的气体排出的排气管路，排气管路具有逆止阀，气体从工艺腔向外排出时，逆止阀呈开启状态，气体从排气管路向工艺腔逆流时，逆止阀关闭。本发明避免了排气管路中含有杂质颗粒的废气回流进入工艺腔中，造成工艺腔内晶圆的污染，避免了晶圆的报废，提高了工艺稳定性。
【专利说明】
防止工艺腔体排气管路逆流的系统
技术领域
[0001]本发明涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种防止工艺腔体排气管路逆流的系统。
【背景技术】
[0002]在半导体制造工艺中，通常将晶圆置于工艺腔中进行处理，例如进行成膜、刻蚀、清洗等。工艺腔连接有进气管路和排气管路，进气管路用于将工艺腔中通入气体，排气管路用于将工艺腔中的废气排出；在排气管路上安装有隔离阀和节流阀，并且在排气管路的末端连接有抽气栗，抽气栗用于形成低气压使工艺腔中的废弃被抽进排气管路中进而排出；隔离阀用于控制排气管路的导通或关断，节流阀用于控制排气管路中的气流流量和气体压力。在实际工艺中，为了实现工艺腔中的压力在设定范围内，在向工艺腔中通入气体的同时，开启抽气栗，并且调节节流阀的开度，从而实现工艺腔内的压力的动态平衡。
[0003]然而，抽气栗在发生故障时会导致整个工艺过程停止，此时节流阀关闭需要一定的反应时间，隔离阀的密封效果并不是很强，排气管路中的气体压力可能高于工艺腔中的压力，导致排气管路的废气逆流进入工艺腔中；并且，排气管路的任何部件发生故障，都会导致抽气栗自动停止工作，例如节流阀门，此时排气管路中的废气也会逆流进入工艺腔中；此外，工艺腔中在进行工艺作业时，工艺腔中发生任何异常例如晶圆发生移位等，都会导致整个工艺停止工艺，抽气栗自动关闭，此时排气管路中的废气会逆流进入工艺腔中；由此看来，工艺腔和排气管路发生任何异常，都会造成抽气栗自动关闭，使排气管中的废气逆流进入工艺腔中；此外，也存在其它一些因素导致排气管路的压力大于工艺腔中的压力，使排气管路中的废气逆流进入工艺腔中；由于排气管路中所排出的废弃含有大量杂质颗粒，这些杂质颗粒逆流进入工艺腔会造成工艺腔中晶圆的污染甚至报废。
【发明内容】
[0004]为了克服以上问题，本发明旨在提供一种防止工艺腔体排气管路逆流的系统，通过在排气管路上安装逆止阀，来避免排气管路的废气产生逆流现象。
[0005]为了达到上述目的，本发明提供了一种防止工艺腔体排气管路逆流的系统，包括工艺腔和将工艺腔内的气体排出的排气管路，排气管路具有逆止阀，气体从工艺腔向外排出时，逆止阀呈开启状态，气体从排气管路向工艺腔逆流时，逆止阀关闭。
[0006]优选地，所述逆止阀包括压力监测模块、比较模块和报警模块，压力监测模块来监测逆止阀两端的气压，并发送信号给比较模块，比较模块比较逆止阀两端的气压的大小，当逆止阀靠近工艺腔的一端的气压大于或等于逆止阀另一端的气压时，比较模块发送正常信号给控制模块；当逆止阀靠近工艺腔的一端的气压小于逆止阀另一端的气压时，比较模块发送异常信号给报警模块;报警模块发出警报。
[0007]优选地，所述排气管路沿着从工艺腔向外的方向还依次具有隔离阀、节流阀以及位于排气管路末端的抽气栗。
[0008]优选地，所述逆止阀设置于所述节流阀和所述抽气栗之间。
[0009]优选地，所述逆止阀与所述排气管路之间采用螺纹连接。
[0010]优选地，所述逆止阀包括出口阀体和进口阀体，出口阀体和进口阀体之间采用螺纹连接。
[0011]优选地，所述出口阀体和所述进口阀体之间具有连通排气管路的通道，所述出口阀体和所述进口阀体之间具有弹性部件和可移动挡块，所述可移动挡块与所述弹性部件之间相连接，通过弹性部件的移动来实现所述可移动挡块的移动，从而使可移动挡块堵住或打开所述通道。
[0012]优选地，所述出口阀体的一端具有O型圈和支撑环，所述可移动挡块打开所述通道的方式为:所述可移动挡块压缩弹性部件；当排气管中出现逆流时，弹簧推动可移动挡块挤压在进口阀体上将所述通道堵住。
[0013]优选地，所述可移动挡块的形状与所述支撑环的形状相同。
[0014]本发明的系统，在排气管路上设置了逆止阀，当排气管路出现逆向气流时，逆止阀关闭，避免了排气管路中含有杂质颗粒的废气回流进入工艺腔中，造成工艺腔内晶圆的污染，避免了晶圆的报废，提高了工艺稳定性。
【附图说明】
[0015]图1为本发明的一个较佳实施例的防止工艺腔体排气管路逆流的系统的方块图
[0016]图2为本发明的一个较佳实施例的逆止阀的各部件的拆分关系示意图
【具体实施方式】
[0017]为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
[0018]以下结合附图1-2和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。
[0019]请参阅图1，本实施例的防止工艺腔体排气管路逆流的系统，包括工艺腔、向工艺腔内通入气体的进气管路I和将工艺腔内的气体排出的排气管路2;工艺腔内具有晶圆支撑台，工艺腔顶部具有照明部件，照明部件连接有排热管路3，用于向外排出照明部件产生的热量;排气管路位于工艺腔底部，从工艺腔向外的方向依次设置有隔离阀、节流阀以及位于排气管路末端的抽气栗;排气管路还具有逆止阀。
[0020]较佳的，请参阅图1和图2，逆止阀设置于节流阀和抽气栗之间；逆止阀与排气管路之间采用螺纹连接;逆止阀包括出口阀体202和进口阀体201，出口阀体202和进口阀体201之间采用螺纹连接，出口阀体202和进口阀体201之间具有连通排气管路的通道，出口阀体202和进口阀体201之间具有弹性部件205(这里为弹簧)和可移动挡块，这里采用的可移动挡块包括圆形挡头203和与之相连接的圆环形挡块204，可移动挡块与弹性部件205之间相连接，通过弹性部件205的移动来实现可移动挡块的移动，从而使可移动挡块堵住或打开通道；出口阀体202的一端具有O型圈206和支撑环207，可移动挡块打开通道的方式为:可移动挡块压缩弹性部件205;当排气管2中出现逆流时，弹簧205推动可移动挡块挤压在进口阀体201上将通道堵住;可移动挡块的形状与支撑环207的形状相同均为环形，圆形挡块204与弹簧205相连接。
[0021]当气体从工艺腔向外排出时，逆止阀呈开启状态，气体从排气管路向工艺腔逆流时，逆止阀关闭；排气管路和排热管路之间还可以设置用于将二者连通的连接管路，连接管路与排气管路连接的位置在逆止阀靠近抽气栗一侧或者在隔离阀靠近工艺腔的一侧;在连接管路上设置有阀门，在排气管路和排热管路之间具有压力探测器，压力探测器监测一端与排气管路连接，另一端与排热管路连接;从而实现对排气管路和排热管路的压力监控，当排热管路的压力大于排气管路的压力时，压力探测器发送异常信号给连接管路上的阀门，阀门打开，排热管路中的气体流向排气管路中
[0022]本实施例中的逆止阀还包括压力监测模块、比较模块和报警模块，压力监测模块来监测逆止阀两端的气压，并发送信号给比较模块，比较模块比较逆止阀两端的气压的大小，当逆止阀靠近工艺腔的一端的气压大于或等于逆止阀另一端的气压时，比较模块发送正常信号给控制模块；当逆止阀靠近工艺腔的一端的气压小于逆止阀另一端的气压时，比较模块发送异常信号给报警模块;报警模块发出警报。
[0023]虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。
【主权项】
1.一种防止工艺腔体排气管路逆流的系统，包括工艺腔和将工艺腔内的气体排出的排气管路，其特征在于，排气管路具有逆止阀，气体从工艺腔向外排出时，逆止阀呈开启状态，气体从排气管路向工艺腔逆流时，逆止阀关闭。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述逆止阀包括压力监测模块、比较模块和报警模块，压力监测模块来监测逆止阀两端的气压，并发送信号给比较模块，比较模块比较逆止阀两端的气压的大小，当逆止阀靠近工艺腔的一端的气压大于或等于逆止阀另一端的气压时，比较模块发送正常信号给控制模块；当逆止阀靠近工艺腔的一端的气压小于逆止阀另一端的气压时，比较模块发送异常信号给报警模块;报警模块发出警报。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述排气管路沿着从工艺腔向外的方向还依次具有隔离阀、节流阀以及位于排气管路末端的抽气栗。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述逆止阀设置于所述节流阀和所述抽气栗之间。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述逆止阀与所述排气管路之间采用螺纹连接。6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述逆止阀包括出口阀体和进口阀体，出口阀体和进口阀体之间采用螺纹连接。7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述出口阀体和所述进口阀体之间具有连通排气管路的通道，所述出口阀体和所述进口阀体之间具有弹性部件和可移动挡块，所述可移动挡块与所述弹性部件之间相连接，通过弹性部件的移动来实现所述可移动挡块的移动，从而使可移动挡块堵住或打开所述通道。8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述出口阀体的一端具有O型圈和支撑环，所述可移动挡块打开所述通道的方式为:所述可移动挡块压缩弹性部件；当排气管中出现逆流时，弹簧推动可移动挡块挤压在进口阀体上将所述通道堵住。9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述可移动挡块的形状与所述支撑环的形状相同。
【文档编号】H01L21/67GK106024677SQ201610370165
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月30日
【发明人】顾海龙, 裴雷洪, 严骏
【申请人】上海华力微电子有限公司