专利名称：防止气体逆流的转接器及方法
技术领域：
本发明有关一种转接器，特别是有关一种防止气体逆流的转接器及方法。
(2)背景技术半导体制作工艺中，化学气相沉积机台常为了移除未完全反应的气体或为了符合工艺参数上的需要，而必须通过泵对机台抽真空以使化学气相沉积机台能正常运作。以沉积用进行上下金属层间连接的钨插塞(Tungsten Plug)为例，低压化学气相沉积机台(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD)中是通入氟化钨(WF6)、六氟化二碳(C2F6)、硅甲烷(Silane，SiH4)等反应性气体，通过泵对该低压化学气相沉积机台(Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD)抽真空以控制于一压力，这些反应性气体、尚未完全反应的反应性气体或其相互间所产生的副产物是通过排气管路(Exhaust Pipe)而输送至局部刷除机(Local Scrubber)做进一步处理。虽然泵对该低压化学气相沉积机台已经抽真空，然而局部刷除机内的水气或其他化学物质仍容易沿着排气管路逆流，致使水气与反应性气体、尚未完全反应的反应性气体或副产物产生化学反应而于排气管路管壁内形成沉积物。因此，可知现有技术的缺失在于1.因为水气的逆流，产生化学反应所形成的沉积物造成排气管路阻塞，使得泵抽真空的效率降低，机台难以维持正常运作。
2.排气管路的沉积物难以清洗，即使清洗，亦得停止机台运作，使得产能降低。
(3)发明内容本发明的目的在于提供一种防止气体逆流的转接器和方法，可使机台正常运作并提升制作生产能力。
为实现上述目的，本发明一方面提供一种防止气体逆流的转接器，其特点是具有一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。
依据上述构想，其中该进气口是用以注入一惰性气体。
依据上述构想，其中该惰性气体为一氮气。
依据上述构想，其中该惰性气体为一钝气。
依据上述构想，其中该环状内凹是用以使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间。
依据上述构想，其中该外管与该内管为漏斗形状。
依据上述构想，其中该外管与该内管的间隙是小于0.2mm。
依据上述构想，其中该内管还包含有一中心环。
依据上述构想，其中该中心环是与该内管的本体一体成形。
依据上述构想，其中该该中心环是通过电焊方式与该内管的本体相连接。
依据上述构想，其中该中心环与该内管的该本体是为不锈钢材质。
为实现上述目的，本发明另一方面提供一种防止一气体逆流的装置，其特点是，包括一第一管路，其一端连接至一机台；一第二管路，其一端连接至一泵；以及一转接器，它配置于该第一管路与该第二管路之间，其中，该转接器具有一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管的内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。
依据上述构想，其中该第一管路为该机台的排气管路。
依据上述构想，其中该进气口是用以注入一惰性气体。
依据上述构想，其中该惰性气体是为一氮气。
依据上述构想，其中该惰性气体是为一钝气。
依据上述构想，其中该环状内凹是用以使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间。
依据上述构想，其中该外管与该内管是为漏斗形状。
依据上述构想，其中该内管还包含有一中心环。
依据上述构想，其中该中心环是与该内管的本体一体成形。
依据上述构想，其中该中心环是通过电焊方式与该内管的本体相连接。
依据上述构想，其中该转接器是通过一O形环与该第一管路及该第二管路密封的。
依据上述构想，其中该转接器是通过一夹钳(Clamp)与该第一管路及该第二管路固定的。
为实现上述目的，本发明又一方面提供一种防止气体逆流的方法，应用于具有一外管与一内管的一转接器上，其特点是，该方法包括以下步骤(a)提供一惰性气体，并注入于该外管的一进气口内；(b)该氮气通过该内管的一环状内凹使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间；以及(c)该惰性气体于该转接器的一端形成一气瀑，以防止该气体逆流。
依据上述构想，其中该惰性气体为一氮气。
依据上述构想，其中该惰性气体为一钝气。
依据上述构想，其中该外管与该内管为漏斗形状。
依据上述构想，其中该间隙是小于0.2mm。
依据上述构想，其中该内管还包含有一中心环。
依据上述构想，其中该中心环是与该内管的本体一体成形。
依据上述构想，其中该该中心环是通过电焊方式与该内管的本体相连接。
为进一步说明本发明的目的、结构特点和效果，以下将结合附图对本发明进行详细的描述。
(4)
图1(a)是本发明转接器的外管结构侧视图；图1(b)是本发明转接器的内管结构侧视图；图2是本发明转接器的外管与内管组装后的示意图；以及图3是本发明转接器与管路连接后的结构示意图。
(5)具体实施方式
如前所述，根据现有技术，局部刷除机内的水气会沿着排气管路逆流而与反应性气体、尚未完全反应的反应性气体或副产物产生化学反应，并且于排气管路管壁内形成沉积物。因此，本发明提供一种防止气体逆流的转接器它包含有一外管与一内管。
请参阅图1(a)，它为本发明转接器的外管11结构侧视图。本发明的防止气体逆流的转接器的外管11是呈一漏斗形状，上开口111与下开口112是用以分别与第一管路17及第二管路18(请见图3)连接，上开口111与下开口112的口径分别与第一管路17及第二管路18的管径相符合，以达到不同管径大小转接的目的。外管12于侧壁上还包含有一进气口12，氮气或其他惰性气体可由此注入。
请参阅图1(b)，其是为本发明转接器的内管13结构侧视图。该内管13亦呈一漏斗形状，唯其尺寸比外管11小，于组装时，内管13套入于外管11的内部。该内管13于侧壁的相对于外管进气口12的位置形成有一环状内凹15。该内管13还包含有一中心环(Center Ring)14，它与内管的本体131一体成形，或者通过电焊方式使中心环14与本体131相连接。较佳者，该中心环14与本体131是为不锈钢材质。
请参阅图2，它为本发明转接器的外管11与内管13组装后的示意图。内管13套入于该外管11的内部后，由外管进气口12注入氮气20时，氮气20可以沿内凹15曲面而使氮气得以均匀分散于内管与外管的间隙中，当内管13与外管11的间隙小于0.2mm时，氮气气流可以形成强而有力的气瀑30以防止局部刷除机(Local Scrubber)内的水气沿第二管路18逆流。
请参阅图3，它为本发明转接器21与管路连接后的结构示意图。通过中心环14及O形环19，转接器21可以与第一管路16(排气管路)及第二管路18密封，并以夹钳(Clamp)40固定。较佳者，该O形环19是为人造橡皮(Viton)材质。通过注入氮气20形成气瀑30，可以有效防止局部刷除机内的水气沿第二管路18逆流，因此，由机台17内排出的反应性气体、尚未完全反应的反应性气体或副产物可以顺利输送至局部刷除机进行处理，排气管路16管壁内不至于形成沉积物。当然，本发明除了可以应用在化学气相沉积机台，亦可应用在干蚀刻机台或其他具有排气管路的机台。
通过本发明的防止气体逆流的转接器的应用，可以避免沉积物的形成，亦可提升制作生产能力产能。另外，内管的中心环是与内管的本体一体成形，对于拆除清洗甚为方便。
当然，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明权利要求书的范围内。
权利要求
1.一种防止气体逆流的转接器，其特征在于，包括一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。
2.如权利要求1所述的转接器，其特征在于，该进气口是用以注入惰性气体。
3.如权利要求2所述的转接器，其特征在于，该惰性气体为氮气或钝气。
4.如权利要求1所述的转接器，其特征在于，该环状内凹是用以使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间。
5.如权利要求1所述的转接器，其特征在于，该外管与该内管为漏斗形状。
6.如权利要求5所述的转接器，其特征在于，该外管与该内管的间隙小于0.2mm。
7.如权利要求5所述的转接器，其特征在于，该内管还包含有一中心环，而该中心环是与该内管的一本体一体成形或通过电焊方式与该内管的本体相连接。
8.如权利要求7所述的转接器，其特征在于，该中心环与该内管的该本体为不锈钢材质。
9.一种防止气体逆流的装置，其特征在于，包括一第一管路，其一端连接至一机台；一第二管路，其一端连接至一泵；以及一转接器，它配置于该第一管路与该第二管路之间，该转接器具有一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管的内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。
10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，该第一管路为该机台的排气管路。
11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，该进气口是用以注入惰性气体，而该惰性气体为一氮气或一钝气。
12.如权利要求10所述的装置，其特征在于，该环状内凹是用以使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间。
13.如权利要求10所述的装置，其特征在于，该外管与该内管为漏斗形状。
14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，该内管还包含有一中心环。
15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述中心环是与该内管的一本体一体成形。
16.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述中心环是通过电焊方式与该内管的一本体相连接。
17.如权利要求10所述的装置，其特征在于，该转接器是通过一O形环与该第一管路及该第二管路密封，而该转接器是通过一夹钳与该第一管路及该第二管路固定。
18.一种防止气体逆流的方法，应用于具有一外管与一内管的一转接器上，其特征在于，包括下列步骤(a)提供一惰性气体，并注入于该外管的一进气口内；(b)该氮气通过该内管的环状内凹使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间；以及(c)该惰性气体于该转接器的一端形成气瀑，以防止该气体逆流。
19.如权利要求18所述的方法，其特征在于，该外管与该内管为漏斗形状。
20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，该间隙小于0.2mm。
21.如权利要求19所述的方法，其特征在于，该内管还包含有一中心环。
22.如权利要求21所述的方法，其特征在于，该中心环是与该内管的一本体一体成形。
23.如权利要求21所述的方法，其特征在于，该中心环是通过电焊方式与该内管的一本体相连接。
全文摘要
本发明有关一种防止气体逆流的转接器及其方法。该转接器具有一外管，其侧壁上形成有一进气口；以及一内管，它套入于该外管的内，其侧壁的相对于该外管进气口的位置形成有一环状内凹。该方法是应用于一具有一外管与一内管的转接器上，包括以下步骤(a)提供惰性气体，并注入于该外管的进气口内；(b)该氮气通过该内管的环状内凹使该惰性气体均匀分散于该内管与该外管的间隙之间；以及(c)该惰性气体于该转接器的一端形成气瀑，以防止该气体逆流。
文档编号H01L21/02GK1448990SQ0210600
公开日2003年10月15日 申请日期2002年4月3日 优先权日2002年4月3日
发明者温武彰 申请人:华邦电子股份有限公司