低功耗指纹锁器件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种低功耗指纹锁器件，属于半导体封装技术领域。
【背景技术】
[0002]随着移动通信技术的不断发展，智能手机已集合了各个领域的功能。例如，可通过智能手机收发电子邮件、播放视频及音频文件、记录会议纪要甚至是开视频会议等。此外，个人所用的手机内通常会保存大量的资料。若手机遗失或被盗则很可能造成更大损失。现有的手机通常采用数字密码或图形密码进行保护，该种密码保存麻烦且容易被破解。因此，时下流行使用指纹密码作为手机的密码保护，确保了手机的安全和隐私性。
[0003]在指纹芯片的先进封装工艺方面，在美国苹果公司的iPhone5S及其配套的TouchID指纹识别技术发布后，其公布了一种全新的指纹识别技术发布后，其公布了一种全新的指纹识别芯片，其采用了先使用晶圆级封装技术在每颗芯片的侧边进行挖槽，并重做焊垫，后期使用公知的低弧高(low loop height)焊线技术完成模组封装，以减少模组高度，是混合了晶圆级封装和传统封装的过渡性技术。苹果公司专利文本公布的Touch ID封装结构，采用焊线方式实现，只是在芯片表面上进行了挖槽，以降低焊线后模组高度，因此在先进指纹芯片的封装技术上，目前市场上还未看到真正采用晶圆级TSV封装技术的指纹识别芯片封装形式和专利。
[0004]如何将现有影像传感器芯片的晶圆级封装技术，重新针对指纹识别芯片封装的具体规格要求，开发全新的成套封装工艺，为指纹识别芯片封装应用拓展了新的技术方向，成为本领域普通技术人员努力的方向。
【发明内容】
[0005]本实用新型目的是提供一种低功耗指纹锁器件，该低功耗指纹锁器件将晶圆级芯片封装和硅通孔技术整合后形成一套新的工艺流程，直接省去传统封装打线步骤，减少了hoIder和FPC等厚度，使产品总厚度大大降低，该技术的使用使得0.5_的封装体内可以有
0.4mm的实心体，有利于满足工业设计造型并实现足够的产品强度，最终大幅度提高了产品可靠性。
[0006]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种低功耗指纹锁器件，包括指纹识别芯片，所述指纹识别芯片上表面分布有若干个盲孔，所述指纹识别芯片的盲孔内具有铝焊盘，此铝焊盘从盲孔底部延伸至盲孔中部，盲孔内铝焊垫表面依次覆盖有镍金属层、金钯合金层，此镍金属层从盲孔中部延伸至指纹识别芯片上表面并形成凸起，形成焊盘增厚部，所述金钯合金层位于焊盘增厚部的表面；
[0007]所述指纹识别芯片下表面并与盲孔相背区域由外向内依次具有第一锥形盲孔、第二锥形盲孔，第二锥形盲孔位于第一锥形盲孔的底部，所述第一锥形盲孔、第二锥形盲孔的截面为锥形，第二锥形盲孔的开口小于第一锥形盲孔的开口，此第二锥形盲孔底部为指纹识别芯片的招焊盘；
[0008]所述指纹识别芯片下表面、第一锥形盲孔、第二锥形盲孔表面具有绝缘层，所述第二锥形盲孔底部开设有若干个第三锥形盲孔，位于指纹识别芯片、第一锥形盲孔、第二锥形盲孔和第三锥形盲孔上方依次具有钛金属导电图形层、铜金属导电图形层，此钛金属导电图形层、铜金属导电图形层位于绝缘层与指纹识别芯片相背的表面，一防焊层位于铜金属导电图形层与钛金属导电图形层相背的表面，此防焊层上开有若干个通孔，一焊球通过所述通孔与铜金属导电图形层电连接；
[0009]所述PCB板和数据处理芯片均电连接指纹识别芯片的焊球，所述第三锥形盲孔贯穿所述铝焊盘并延伸至镍金属层的中部，所述金钯合金层由78?85%钯、15-22%金组成。
[0010]上述技术方案中进一步改进的方案如下:
[0011]1.上述方案中，所述焊盘增厚部厚度为3~4微米。
[0012]2.上述方案中，所述第二锥形盲孔内具有至少三个第三锥形盲孔。
[0013]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点和效果:
[0014]1.本实用新型低功耗指纹锁器件，其将晶圆级芯片封装和硅通孔技术技术整合后形成一套新的工艺流程，直接省去传统封装打线步骤，减少了 holder和FPC等厚度，使产品总厚度大大降低，该技术的使用使得0.5mm的封装体内可以有0.4mm的实心体，有利于满足工业设计造型并实现足够的产品强度，最终大幅度提高了产品可靠性。
[0015]2.本实用新型低功耗指纹锁器件，其指纹识别芯片、陶瓷盖板、PCB板和数据处理芯片，所述指纹识别芯片的感应区与陶瓷盖板之间设置有高介电常数层，所述PCB板和数据处理芯片均电连接指纹识别芯片，将数据处理芯片直接贴装到指纹芯片上此种模组组装结构在制造工艺上更加简单，数据处理芯片直接与指纹芯片直接相连增强数据处理速度与电性稳定性能。
[0016]3.本实用新型低功耗指纹锁器件，其铝焊盘从盲孔底部延伸至盲孔中部，盲孔内铝焊垫表面依次覆盖有镍金属层、金钯合金层，此镍金属层从盲孔中部延伸至指纹识别芯片上表面并形成凸起，形成焊盘增厚部，所述第三锥形盲孔贯穿所述铝焊盘并延伸至镍金属层的中部，所述金钯合金层由78?85%钯、15-22%金组成，避免晶圆铝PAD直接暴露在空气中，增加互连导线接触面积提高导线连接稳定性与可靠性，采用WLCSP-TSV的先进技术，克服了传统的指纹识别芯片封装较厚的不足，实现了低功耗、小体积和高效率一体式指纹识别；采用三层结构铝焊盘、镍金属层、金钯合金层，防止镍金属氧化，并增加可靠性。
[0017]4.本实用新型低功耗指纹锁器件，其指纹识别芯片下表面、第一锥形盲孔、第二锥形盲孔表面具有绝缘层，所述第二锥形盲孔底部开设有若干个第三锥形盲孔，位于指纹识别芯片、第一锥形盲孔、第二锥形盲孔和第三锥形盲孔上方依次具有钛金属导电图形层、铜金属导电图形层，既增加了金属层与Si基片的粘附力，由防止了铜和硅之间的电子迀移。
【附图说明】
[0018]附图1为本实用新型低功耗指纹锁器件局部结构示意图一；
[0019]附图2为本实用新型低功耗指纹锁器件局部结构示意图二 ；
[0020]附图3为附图2中A处局部结构放大示意图；
[0021 ] 附图4为附图3的仰视结构示意图。
[0022]以上附图中:1、指纹识别芯片；2、盲孔；3、铝焊盘；4、镍金属层；5、焊盘增厚部；
6、第一锥形盲孔；7、第二锥形盲孔；8、绝缘层；9、第三锥形盲孔；10、钛金属导电图形层；
11、铜金属导电图形层；12、防焊层；13、通孔；14、焊球；15、金钯合金层。
【具体实施方式】
[0023]下面结合实施例对本实用新型作进一步描述:
[0024]实施例1:一种低功耗指纹锁器件，包括指纹识别芯片1，此指纹识别芯片I上表面分布有若干个盲孔2，所述指纹识别芯片I的盲孔2内具有铝焊盘3，此铝焊盘3从盲孔2底部延伸至盲孔2中部，盲孔2内铝焊垫3表面依次覆盖有镍金属层4、金钯合金层15，此镍金属层4从盲孔2中部延伸至指纹识别芯片I上表面并形成凸起，形