适用于晶元检测的测试装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种适用于晶元检测的测试装置：包括晶元测试座，晶元测试座包括框架板、测试针支撑顶板、测试针支撑底板、弹簧测试针和密封圈，测试针支撑顶板设置在框架板的底部，框架板中设置有装配孔，测试针支撑顶板上设置有凸台，凸台插装在装配孔中，测试针支撑底板设置在测试针支撑顶板底部，凸台和测试支撑底板上相对应凸台的位置设置有若干测试针孔和感应孔，测试针孔内设置有弹簧测试针，框架板的顶面上围绕装配孔设置有至少两个上导流槽，测试针支撑顶板和测试针支撑底板的底面上设置有至少两个下导流槽，晶元测试座上设置有连接上导流槽和下导流槽的通气道，上导流槽外围设置有密封槽，密封圈卡装在密封槽内；本实用新型提供的一种适用于晶元检测的测试装置能够在保证测试压力的同时还能提高测试的便利性和可靠性。
【专利说明】
适用于晶元检测的测试装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种电子精密仪器测试装置，尤其涉及一种适用于晶元检测的测试装置。
【背景技术】
[0002]众所周知，现在越来越多的电子产品充斥于人类社会的各个角落，电子产品的各项功能离不开集成电路的发展，所以为了保证其最终的性能，集成电路在前期的测试就尤为重要，即晶元检测。由于晶片本身比较脆弱，因此在进行晶元检测时，对压力要求比较高，如果测试压力过大则会损伤晶元，压力过小则会影响测试效果；因此为了保证检测测试时的压力环境，有必要设计能够接近恒压检测的测试装置。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述技术问题，本实用新型目的在于提供一种适用于晶元检测的测试装置。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型提供了一种适用于晶元检测的测试装置，包括晶元测试座，所述晶元测试座包括框架板、测试针支撑顶板、测试针支撑底板、弹簧测试针和密封圈，所述测试针支撑顶板设置在所述框架板的底部，所述框架板中设置有装配孔，所述测试针支撑顶板上设置有凸台，所述凸台插装在所述装配孔中，所述测试针支撑底板设置在所述测试针支撑顶板底部，所述凸台和测试支撑底板上相对应所述凸台的位置设置有若干测试针孔和感应孔，所述测试针孔内设置有所述弹簧测试针，所述框架板的顶面上围绕所述装配孔设置有至少两个上导流槽，所述测试针支撑顶板和测试针支撑底板的底面上设置有至少两个下导流槽，所述晶元测试座上设置有连接所述上导流槽和下导流槽的通气道，所述上导流槽外围设置有密封槽，所述密封圈卡装在所述密封槽内。
[0005]进一步的，所述通气道包括第一通气孔、第二通气孔和第三通气孔，所述第一通气孔设置在所述上导流槽内，所述第二通气孔设置在对应所述第一通气孔位置的所述下导流槽内，所述第三通气孔分布在对应所述第一通气孔位置的所述测试针支撑顶板或测试针支撑底板的底面上且设置在所述下导流槽外。
[0006]进一步的，所述框架板和测试针支撑顶板上均分布若干相对应布置的所述第一固定孔，所述框架板、测试针支撑顶板和测试针支撑底板上均分布若干相对应布置的所述第二固定孔。
[0007]具体的，第一固定孔为第一螺栓孔，第二固定孔为第二螺栓孔。
[0008]进一步的，所述感应孔为两个且分别位于所述测试针孔的两侧。
[0009]进一步的，所述密封圈为硅橡胶圈或者乙丙橡胶圈。
[0010]进一步的，所述上导流槽为矩形凹槽。
[0011]借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点:在保证晶元测试压力均匀的同时，提高了测试的便利性和可靠性。
[0012]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
【附图说明】
[0013]图1示出了本实用新型的一种适用于晶元检测的测试装置的结构示意图；
[0014]图2示出了本实用新型的一种适用于晶元检测的测试装置的立体图；
[0015]图3示出了本实用新型的一种适用于晶元检测的测试装置的后视图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0017]参见图1至3，包括晶元测试座，晶元测试座包括框架板1、测试针支撑顶板2、测试针支撑底板3、弹簧测试针4和密封圈5，测试针支撑顶板2设置在框架板I的底部，框架板I中设置有装配孔6，测试针支撑顶板2上设置有凸台7，凸台7插装在装配孔6中，测试针支撑底板3设置在测试针支撑顶板2底部，凸台7和测试支撑底板3上相对应凸台7的位置设置有若干测试针孔8和感应孔9，测试针孔8内设置有弹簧测试针4，框架板I的顶面上围绕装配孔6设置有至少两个上导流槽10，测试针支撑顶板2和测试针支撑底板3的底面上设置有至少两个下导流槽11，晶元测试座上设置有连接上导流槽10和下导流槽11的通气道，上导流槽10外围设置有密封槽17，密封圈5卡装在密封槽17内。
[0018]本实用新型提供的一种适用于晶元检测的测试装置工作原理如下:
[0019]适用于晶元检测的测试装置在对晶元进行测试的状态下，晶元测试座的底部通过定位件与PCB板相连，晶元测试座的顶部设置有密封圈5，因此既保证了晶元测试座与晶元之间的安全距离，又可以防止气流外露，在不损伤晶元的前提下，在一定的气流压力下进行晶元检测;在晶元测试座上分布有贯穿整个晶元测试座的通气道、测试针孔8和感应孔9，且为了保证气压均匀，晶元测试座的顶面和底面均设有与通气道、测试针孔8以及感应孔9相连通的上导流槽10和下导流槽11，框架板I的顶面上围绕通气道、测试针孔8和感应孔9，增加了密封圈5防止晶元检测过程中发生漏气。
[0020]为了增加通气孔的数量，通气道包括第一通气孔12、第二通气孔13和第三通气孔14，第一通气孔12设置在上导流槽10内，第二通气孔13设置在对应第一通气孔12位置的下导流槽11内，第三通气孔14分布在对应第一通气孔12位置的测试针支撑顶板2或测试针支撑底板3的底面上且设置在下导流槽11外；这样，压力气流平均分散到晶片的每一个晶元上，实现了压力的平均化。
[0021]为了固定晶元测试座各部件的位置，框架板I和测试针支撑顶板2上均分布若干相对应布置的第一固定孔15，框架板1、测试针支撑顶板2和测试针支撑底板3上均分布若干相对应布置的第二固定孔16，第一固定孔15是第一螺丝孔，第二固定孔16是第二螺丝孔。
[0022]为了准确检测测试探针4的测试压力，感应孔9为两个且分别位于测试针孔8的两侧;这样，不论测试传感器的敏感性如何，都能准确检测测试压力。
[0023]为了防止用于晶元检测的测试装置在对晶元检测的过程中发生泄漏，密封圈5为硅橡胶圈或者乙丙橡胶圈，上导流槽10为矩形凹槽。
[0024]以上仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种适用于晶元的测试装置，包括晶元测试座，所述晶元测试座包括框架板、测试针支撑顶板、测试针支撑底板、弹簧测试针和密封圈，所述测试针支撑顶板设置在所述框架板的底部，所述框架板中设置有装配孔，所述测试针支撑顶板上设置有凸台，所述凸台插装在所述装配孔中，所述测试针支撑底板设置在所述测试针支撑顶板底部，所述凸台和测试支撑底板上相对应所述凸台的位置设置有若干测试针孔和感应孔，所述测试针孔内设置有所述弹簧测试针，所述框架板的顶面上围绕所述装配孔设置有至少两个上导流槽，所述测试针支撑顶板和测试针支撑底板的底面上设置有至少两个下导流槽，所述晶元测试座上设置有连接所述上导流槽和下导流槽的通气道，所述上导流槽外围设置有密封槽，所述密封圈卡装在所述密封槽内。2.根据权利要求1所述的适用于晶元的测试装置，其特征在于:所述通气道包括第一通气孔、第二通气孔和第三通气孔，所述第一通气孔设置在所述上导流槽内，所述第二通气孔设置在对应所述第一通气孔位置的所述下导流槽内，所述第三通气孔分布在对应所述第一通气孔位置的所述测试针支撑顶板或测试针支撑底板的底面上且设置在所述下导流槽外。3.根据权利要求1所述的适用于晶元的测试装置，其特征在于:所述框架板和测试针支撑顶板上均分布若干相对应布置的所述第一固定孔，所述框架板、测试针支撑顶板和测试针支撑底板上均分布若干相对应布置的所述第二固定孔。4.根据权利要求3所述的适用于晶元的测试装置，其特征在于:所述第一固定孔为第一螺栓孔，所述第二固定孔为第二螺栓孔。5.根据权利要求1所述的适用于晶元的测试装置，其特征在于:所述感应孔为两个且分别位于所述测试针孔的两侧。6.根据权利要求1所述的适用于晶元的测试装置，其特征在于:所述密封圈为硅橡胶圈或者乙丙橡胶圈。7.根据权利要求1所述的适用于晶元的测试装置，其特征在于:所述上导流槽为矩形凹槽。
【文档编号】H01L21/66GK205488046SQ201620283678
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月7日
【发明人】车红娟
【申请人】苏州韬盛电子科技有限公司