专利名称：音圈电机伺服系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及特种エ业电机领域，特别涉及音圈电机伺服系统。
背景技术：
近年来，随着半导体产业的高速发展，国外越来越多的高端半导体设备开始采用音圈电机，如焊线机机，贴片机、植晶机等。相比传统的气动电机方案，音圈电机在精度，速度，力度方面的控制都有巨大的改善，且噪音小，维护容易。随着音圈伺服技术的发展，音圈电机目前已成为高精度短行程直线运动的首选方案。但是我国音圈电机产业仍处于初级阶段，国内几家主要做音圈电机的公司，仅仅 是电机的生产商，而并没有自主的驱动技术，只能使用国产或进ロ的万用驱动器(指通过感应电机种类而自行选择驱动方式的驱动器)，这种驱动方案的成本高、体积大，而且由于驱动器并非专为音圈定制，在很多エ业的高端用途上，存在着响应及带宽等方面的不足，无法很好的发挥音圈电机的性能。现有市场上美国SMAC的音圈伺服系统，因其价格昂贵，很多顾客只能望而却步，因此ー种专为音圈电机定制，能很好地发挥音圈电机性能的音圈电机伺服系统成为种急切的需求。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点与不足，提供种高精度、高响应，体积小巧且性能稳定，安装维护方便的音圈电机伺服系统。本实用新型的目的通过下述技术方案实现一种音圈电机伺服系统，该系统包括音圈电机、运动平台、反馈装置、音圈电机伺服驱动器和机架，所述音圈电机设置于运动平台上，音圈电机套设于机架上，运动平台与机架连接；所述反馈装置与音圈电机伺服驱动器连接，反馈装置固定连接于运动平台上。所述音圈电机的定子通过螺钉与机架连接，音圈电机的动子通过螺钉与运动平台连接；所述反馈装置通过螺钉与运动平台固定连接；所述音圈电机经有限元分析，优化了结构，缩短了设计开发时间；所述音圈电机伺服驱动器能很好地发挥音圈电机高响应、高精度的性能特点。所述反馈装置为编码器，编码器为光电编码器或者磁编码器。所述音圈电机伺服驱动器为驱动电路。为了使音圈电机伺服系统能适用于各种恶劣的环境，所述音圈电机伺服系统还连接有密封板和保护壳，起到防尘防水的保护作用，密封板和保护壳分别通过螺钉与机架连接。所述密封板包括第一密封板和第二密封板,第一密封板和第二密封板通过螺钉连接，第一密封板和第二密封板之间设置有密封调整垫板。所述保护壳为硬质性保护壳，具有抗压的作用。所述运动平台与机架之间连接有光轴，光轴通过直线轴承与运动平台连接，光轴的大端与机架过渡配合，光轴的小端与机架过盈配合，光轴的数量为两个，使得运动平台在运动的时候能平稳地上下移动，保证了音圈电机的运动稳定性。所述运动平台为L型运动平台，L型运动平台的长臂通过光轴与机架连接，短臂通过螺钉与密封板连接。所述机架为C型机架，使得音圈电机和运动平台能有效地与C型机架形状整合在一起，縮小了系统体积，节省了空间；C型机架采用エ业铝型材的剪切件，规格和长度可根据需求调整,有利于降低生产成本。所述音圈电机为ION 100N的音圈电机，ION 100N的音圈电机为常用电机规格，便于安装规格标准化，有利于系统的推广使用。本实用新型相对于现有技术具有如下的优点及效果 本实用新型音圈电机伺服系统由音圈电机、运动平台、反馈装置、音圈电机伺服驱动器和机架组成，音圈电机经有限元分析，优化了结构，缩短了设计开发时间；音圈电机伺服驱动器能很好地发挥音圈电机高响应、高精度的性能特点；音圈电机、运动平台、反馈装置和音圈电机伺服驱动器通过机架行效地整装起来，縮小了系统体积，节省了空间，降低了安装成本；此外，机架还连接有密封板和保护壳，可有效的保护音圈电机机体，起到防尘防水的作用，适用于各种恶劣的环境。
图I是本实用新型音圈电机伺服系统的爆炸图；图2是本实用新型音圈电机伺服系统的剖视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本实用新型作进ー步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例一如图I、图2所不,一种音圈电机伺服系统,该系统包括音圈电机I、L型运动平台
2、编码器3、驱动电路4和C型机架5，所述音圈电机I设置于L型运动平台2上，音圈电机I的动子13通过螺钉与L型运动平台2连接，音圈电机I套设于C型机架5上，音圈电机I的定子12通过螺钉与C型机架5连接；L型运动平台2与C型机架5连接；所述编码器3与驱动电路4连接，所述编码器3通过螺钉与L型运动平台2固定连接。所述音圈电机I经有限元分析，优化了结构，缩短了设计开发时间；所述驱动电路4能很好地发挥音圈电机I高响应、高精度的性能特点。所述C型机架5使得音圈电机I和L型运动平台2能有效地整装在一起，縮小了系统体积，节省了空间；C型机架5采用エ业铝型材的剪切件，规格和长度可根据需求调整，有利于降低生产成本。所述编码器3为光电编码器。为了使音圈电机伺服系统能适用于各种恶劣的环境，所述音圈电机伺服系统还连接有密封板和保护壳8，起到防尘防水的保护作用，密封板和保护壳8分别通过螺钉与C型机架5连接。[0027]所述密封板包括第一密封板6和第二密封板7,第一密封板6和第二密封板7通过螺钉连接，第一密封板6和第二密封板7之间设置有密封调整垫板9。所述保护壳8为硬质性保护壳，具有抗压的作用。所述L型运动平台2与C型机架5之间连接有光轴10，光轴10通过直线轴承11与L型运动平台2连接，光轴11的大端与C型机架5过渡配合，光轴11的小端与C型机架5过盈配合，光轴11的数量为两个，使得L型运动平台2在运动的时候能平稳地上下移动，保证了音圈电机I的运动稳定性。所述L型运动平台2的长臂通过光轴11与C型机架5连接，短臂通过螺钉与第一 密封板6和第二密封板7连接。所述音圈电机I为ION的音圈电机,为常用电机规格,便于安装规格标准化,有利于系统的推广使用。实施例ニ本实施例除下述特征外同实施例一所述音圈电机为100N的音圈电机；所述编码器为磁编码器。上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置換方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.音圈电机伺服系统，其特征在于该系统包括音圈电机、运动平台、反馈装置、音圈电机伺服驱动器和机架，所述音圈电机设置于运动平台上，音圈电机套设于机架上，运动平台与机架连接；所述反馈装置与音圈电机伺服驱动器连接，反馈装置固定连接于运动平台上。
2.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述反馈装置为编码器。
3.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述音圈电机伺服驱动器为驱动电路。
4.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述音圈电机伺服系统还连接有密封板和保护壳。
5.根据权利要求4所述的音圈电机伺服系统,其特征在于所述密封板包括第一密封板和第二密封板，第一密封板和第二密封板之间设置有密封调整垫板。
6.根据权利要求4所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述保护壳为硬质性保护壳。
7.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述运动平台与机架之间连接有光轴。
8.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于；所述运动平台为L型运动平台。
9.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述机架为C型机架。
10.根据权利要求I所述的音圈电机伺服系统，其特征在于所述音圈电机为ION 100N的音圈电机。
专利摘要本实用新型音圈电机伺服系统包括音圈电机、运动平台、反馈装置、音圈电机伺服驱动器和机架，所述音圈电机设置于运动平台上，音圈电机套设于机架上，运动平台与机架连接；所述反馈装置与音圈电机伺服驱动器连接，反馈装置固定连接于运动平台上。本实用新型的音圈电机经有限元分析，优化了结构，缩短了设计开发时间；音圈电机伺服驱动器能很好地发挥音圈电机高响应、高精度的性能特点滴；音圈电机、运动平台、反馈装置和音圈电机伺服驱动器通过机架有效地整装起来，缩小了系统体积，节省了空间，降低了安装成本；此外，机架还连接有密封板和保护壳，可有效的保护音圈电机机体，起到防尘防水的作用，适用于各种恶劣的环境。
文档编号H02P25/02GK202495908SQ20122014613
公开日2012年10月17日 申请日期2012年4月7日 优先权日2012年4月7日
发明者张祚, 梁坤, 陈启沛 申请人:广州翔天智能科技有限公司