专利名称：表面声波器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及表面声波(SAWSurface Acoustic Wave)器件，更具体地说，是涉及数字CATV(电缆电视)用SAW滤波器。
作为SAW器件的一个例子，已知有横向型SAW滤波器。横向型SAW滤波器采用了各种加权的方法，使其具有这样的特征即易于得到所希望特性。
图6显示了过去的SAW滤波器1。如图6所示，SAW滤波器1具备压电基板2、在该压电基板上形成的输入IDT(Interdigital Transducer)3、输出IDT4、屏蔽电极5和吸着剂6。输入IDT43和输出IDT4由簾状电极构成。
簾状电极除了有易于发生表面声波的基本特性之外，还具有电容量的特性。这是由于使电极近距离对向自然产生的，要在表面声波激励时独立进行控制是不可能的。若将该自然发生的电容量值设为GT，则上述电极的输入阻抗中的虚数成分为1/(jω·CT)。该值在输入和输出大为不同的场合，在输入输出间发生阻抗的不平衡，会有使滤波器的特性倾斜的情况产生。
在数字放送用中频(IFIntermediate Frequency)时使用图6所示的SAW滤器1的场合，要求极严格的特性，因此不仅簾状电极的加权困难，而且要调整输入输出间微妙的阻抗不平衡也是困难的。
因此，发生输入输出间的阻抗不平衡，如图7所示那样频带域内的特性发生倾斜，使得插入损失和频带域内脉动劣化，这是因为，为了采用复杂的加权函数，不能使输入电极(IDT)和输出电极(IDT)分别具有的寄生阻抗的频率特性相互抵削。
本发明就是为了解决上述课题。本发明的目的在于，对输入电极和输出电极间的阻抗不平衡进行补正，以消除频带域内特性的倾斜，使插入损失和频带域内的脉动改善。
本发明的表面声波器件具备压电基板、在该压电基板上形成的输入电极(IDT)及输出电极(IDT)、和在压电基板上形成的，为补正输入电极和输出电极间的阻抗不平衡的感应器装置。
通过上述那样设置感应器装置，可以将所希望值的电感附加到输入电极或输出电极上，能够使输入阻抗值变化。具体说就是，例如通过将自身电感L的要素并联附加到一方的电极上，则使输入阻抗的虚数成份成为1/{jω·CT－j/(ωL)}，使输入阻抗值变化。因而，设置具有适当值的自身电感的感应器装置，就能将输入阻抗值调整成为所希望的值，可以补正输入电极和输出电极间的阻抗不平衡。
作为上述感应器装置的一例，可以举出金属图形。该金属图形优选为波形或螺旋形的长金属图形。长的金属图形有大的自身电感，因此能够扩大可补正输入电极和输出电极间的阻抗的范围。
优选将感应器装置与输出电极并联连接。由此可以如上述那样控制输入阻抗值，能够补正输入电极和输出电极间的阻抗不平衡。
输入电极和输出电极优选为簾状电极，在决定感应器装置的自身电感值时，要使输入电极和输出电极的输入阻抗值均衡。
由此，能够补正输入电极和输出电极间的阻抗不平衡。
将感应器装置的自身电感值取作10nH～100nH较佳。此外，本发明的表面声波器件在数字电视的中频段利用为佳。
由经验可知，在映像用中频段(数10MHz段)，电极的电容量为1pF左右。此时，输入阻抗的大小为数Ω级。为补正数Ω级的输入阻抗，必须并联附加同级或大一位级的阻抗。这是由于，在附加的阻抗过大时，几乎没有影响，而在附加的阻抗过小时，阻抗的符号反转，由容量性成为感应性。在中频段内以10nH～100nH，即能够实现由数Ω到数10Ω的阻抗。因而，通过将感应器装置自身的电感值限定在10nH～100nH，就能够在中频段使用的场合补正输入电极和输出电极间的阻抗的不平衡。
图1是本发明的数字CATV用SAW滤波器的概略构成图。
图2是图1中的输出IDT和图形感应器的放大图。
图3是显示图2所示图形感应器变型例的图。
图4是显示电感调整机构一例的图。
图5是显示本发明的数字CATV用SAW滤波器的概略构成的图。
图6是过去的数字CATV用SAW滤波器的概略构成图。
图7是显示过去的数字CATV用SAW滤波器的特性的图。
以下使用图1～图5对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明实施方式1的SAW滤波器1的平面图。
在本发明的SAW滤波器1中，将设置补正簾状的输入输出电极(输入输出IDT3，4)间的阻抗不平衡的感应器装置作为重要的特征。
具体说就是如图1所示，在输出IDT4侧，设置作为感应器装置一例的图形感应器7。此外的构成与图5所示的过去例同样，因此省略重复的说明。
通过这样设置图形感应器7，能够将所希望值的电感附加到输出IDT4上，可使输入阻抗值变化。具体说就是，在图形感应器7的自身电感为L时，输入阻抗的虚数成份成为1/{jω·CT－j/(ωL)}，与不附加图形感应器7的场合相比较，输入阻抗值发生了变化。
因而，通过设置具有适当的自身电感的图形感应器7，能够适宜调整高速输入阻抗值。借此可使输入输出IDT3，4的阻抗值均衡，从而能够补正输入输出IDT3，4间的阻抗不平衡。
其次，用图4说明本发明的自身电感调整机构。如图4所示，用材料或线幅将耐电压性变化的波形图形7a、7b、7c与输出IDT并联连接，施加直流电压，顺次将其切断，以调整电感。
例如使用自身电感30nH的作为波形图形7a，使用自身电感60nH于直流电压10V下断线的作为波形图形7b，使用自身电感20nH于直流电压1V下断线的作为波形图形7c。
由此，可以在初期阶段将自身的电感作成10nH，通过施加1V直流电压切断波形图形7c而将自身电感作成20nH，通过施加10V直流电压切断波形图形7b和7c而将自身电感作成30nH。
这样，通过设置自身电感调整机构，就能够将所希望值的电感附加到输出IDT4。
图5示出了本发明的SAW滤波器1的特性。该图示出了该图形感应器7的自身电感量取为20nH时的特性。
如图5所示可知，频带域内特性没有倾斜。即通过设置上述的图形感应器7，能够补正输入输出IDT3、4间阻抗的不平衡，可看出能够改善插入损失和频带域内的脉动。
图形感应器7如图1所示，与输出IDT4并联连接，如果是在此情况下，则由金属薄膜图形构成，但也可象图3所示那样采用螺旋形的图形感应器8。总之，最好用长的金属薄膜图形形成图形感应器。
长的金属薄膜图形具有大的自身电感，因此，通过使用如上述那样的长的金属薄膜图形作为图形电感器，就能够扩大可补正的输入输出IDT3、4间的阻抗范围。另外，在采用螺旋形的图形感应器8的场合，必须有图3所示的跳线9。
在图5所示的例子中，将图形感应器7的自身电感量取为20nH，但图形电感器7的自身电感量只要是在10nH～100nH的范围内即可。
本发明的滤波器1典型地是在数字CATV的中频段(数10MHz段)利用，而由经验可知，在该频段中，簾状电极(IDT)的电容量为1pF左右。此时输入阻抗的大小为数Ω级。
为补正数Ω级的输入阻抗，必须并联附加同级或比其大一位级的阻抗。这是由于，在附加的阻抗过大时几乎没有影响，而在附加的阻抗过小时，则阻抗的符号反转，由容量性变成为感应性。
在数10MHz的频率中，以10nH～100nH即可实现数Ω到数10Ω的阻抗。因而，将图形感应器7的自身电感量取为10nH～100nH，就能够在中频段使用滤波器1的场合，补正输入输出IDT3、4间的阻抗不平衡。
权利要求
1.表面声波器件，具备压电基板，在上述压电基板上形成的输入电极和输出电极，和在上述压电基板上形成的、为补正上述输入电极和上述输出电极之间的阻抗不平衡的感应器装置。
2.权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于，上述感应器装置包括金属图形。
3.权利要求2所述的表面声波器件，其特征在于，上述金属图形是波形或螺旋形的金属图形。
4.权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于，将上述感应器装置与上述输出电极并联连接。
5.权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于，上述感应器装置包括与上述输出电极并联连接的多个金属图形。
6.权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于，上述输入电极和输出电极是簾状电极，以使上述输入电极和输出电极均衡的原则决定上述感应器装置自身的电感值。
7.权利要求6所述的表面声波器件，其特征在于，将上述感应器装置自身的电感值取为10nH～100nH。
8.权利要求1所述的表面声波器件，其特征在于，在数字电视的中频段利用。
全文摘要
SAW滤波器(1)具备输入输出IDT(3,4)、在输出IDT上并联连接的图形感应器(7)。图形感应器(7)例如由自身电感量20nH的波形金属薄膜图形构成。
文档编号H03H9/145GK1326265SQ01117320
公开日2001年12月12日 申请日期2001年3月21日 优先权日2000年3月21日
发明者小林泰三, 二木一也 申请人:三洋电机株式会社, 三洋电子部品株式会社