专利名称：射频匹配器的控制电路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种射频匹配器的控制电路。
背景技术：
射频匹配器的应用广泛，主要的具体领域为半导体生产领域、等离子刻蚀、 真空镀膜、PECVD、等离子清洗、物理气象沉积(PVD)、化学气象沉积(CVD)、射频溅 射等等。目前市场上的射频匹配器多为手动射频匹配器，使用起来十分不便，在系统设 备启动后要不断地手动调整匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，无法实现应用系统 的全自动控制，同时调节匹配的时间长、工作效率低、设备使用费用高。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于射频匹配器的控制电路，该控制电路可 以实现输出信号功能，为射频匹配器实现自动门匹配提供基础。为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案射频匹配器的控制电路，包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号 进行放大后输出；还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器 为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。所述放大电路包括第一放大器，与该第一放大器连接的第二放大器，以及该第 二增益放大器连接的功率放大电路。所述第一放大器和第二放大器均为增益放大器。所述功率放大电路第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管以及第四晶体管构 成，第二晶体管的基极连接第一晶体管的基极，第二晶体管的发射极连接第一晶体管的 发射极，第二晶体管的集电极连接第三晶体管的集电极，第三晶体管的发射极连接第四 晶体管的发射极，第三晶体管的基极连接第四晶体管的基极。第一晶体管和第四晶体管均为NPN型的晶体管，第二晶体管和第三晶体管均为 PNP型的晶体管。所述保护模块包括可调电位器，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情 况，并将该调整情况转换为电压信号输出； 以及与可调电位器连接的比较器，该比较器将来自于可调电位器的电压信号与 该比较器设定的电压进行比较后输出一个控制信号；以及与比较器连接的控制开关，该控制开关接收比较器输出的控制信号后使所 述放大电路失去放大作用。所述比较器包括用于阻抗匹配器的最大值比较器，以及用于阻抗匹配器的最小 值比较器。所述的射频匹配器的控制电路，还包括显示阻抗匹配器容量的容量显示器，该 容量显示器与连接在可调电位器的输出端。[0015]上述方案中信号经一级放大器初级放大，再由二级放大器再次放大以驱动三级 放大器对信号进行第三次放大后驱动直流电机转动。直流电动机可带动真空电容和可调 电位器进行转动。当可调电位器转动时，会反馈一个电压信号给比较器，当可调电位器 的反馈电压信号达到极限时，则输出一个低电平到控制开关，这时，二级放大器失去放 大作用，功率放大电路得不到足够的驱动信号，直流电机停止转动，此时真空电容达到 最大容量值，上述可调电位器的反馈电压信号可通过容量显示器显示出来。通过直流电 机的转动，可以带动真空电容转动，以实现容量值的改变，从而达到调节阻抗的目的， 快速、可靠、高效、准确、节省人力和时间。
图1为本实用新型的原理图图2为本实用新型的电路图1为第一放大器，2为第二放大器，3为功率放大电路，31为第一晶体管，32为 第二晶体管，33为第三晶体管，34为第四晶体管，4为可调电位器，5为比较器，51为最 大值比较器，52为最小值比较器，61为第一控制开关，62为第二控制开关，7为容量显 示器，8为直流电机。
具体实施方式
参考附图1至2所示，射频匹配器的控制电路，包括放大电路，该放大电路将接 收到的直流驱动信号进行放大后输出；还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模 块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。所述放大电路包括第一放大器1，与该第一放大器连接的第二放大器2，以及该 第二增益放大器连接的功率放大电路3，第一放大器1和第二放大器2均为增益放大器， 功率放大电路第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33以及第四晶体34管构成， 第二晶体管32的基极连接第一晶体管31的基极，第二晶体管32的发射极连接第一晶体 管31的发射极，第二晶体管32的集电极连接第三晶体管33的集电极，第三晶体管33的 发射极连接第四晶体管34的发射极，第三晶体管33的基极连接第四晶体管34的基极， 第一晶体管31和第四晶体管34均为NPN型的晶体管，第二晶体管32和第三晶体管33 均为PNP型的晶体管。所述保护模块包括可调电位器4，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情 况，并将该调整情况转换为电压信号输出；以及与可调电位器连接的比较器5，该比较 器5将来自于可调电位器4的电压信号与该比较器5设定的电压进行比较后输出一个控制 信号；以及与比较器5连接的控制开关6，该控制开关6接收比较器5输出的控制信号后 使所述放大电路3失去放大作用，比较器包括用于阻抗匹配器的最大值比较器51，以及 用于阻抗匹配器的最小值比较器52。所述的射频匹配器的控制电路，还包括显示阻抗匹 配器容量的容量显示器7，该容量显示器7与连接在可调电位器4的输出端。信号经一级放大器1初级放大，再由二级放大器2再次放大，以驱动功率放大 电路3，第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33以及第四晶体管34对信号进行放 大后可驱动直流电机8。可调电位器4转动时，会反馈一个电压信号给三级放大器，当可调电位器4的反馈电压信号为达到最大值比较器51极限时，会输出一个低电平到第一控 制开关61，这时二级放大器2失去放大作用，第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体 管33和第四晶体管34得不到足够的驱动信号，则直流电机8停止转动，此时真空电容达 到最大容量值，并在容量显示器7上显示出来，同样，当可调电位器4的反馈电压信号为 达到最小值比较器52极限时，会输出一个低电平到第一控制开关62，这时二级放大器2 失去放大作用，第一晶体管31、第二晶体管32、第三晶体管33和第四晶体管34得不到 足够的驱动信号，则直流电机8停止转动，此时真空电容达到最大容量值，并在容量显 示器7上显示出来。
权利要求1.射频匹配器的控制电路，其特征在于包括放大电路，该放大电路将接收到的直 流驱动信号进行放大后输出；还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到 阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用。
2.根据权利要求1所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于所述放大电路包括 第一放大器，与该第一放大器连接的第二放大器，以及该第二放大器连接的功率放大电 路。
3.根据权利要求2所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于所述第一放大器和 第二放大器均为增益放大器。
4.根据权利要求2所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于所述功率放大电路 由第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管以及第四晶体管构成，第二晶体管的基极连接 第一晶体管的基极，第二晶体管的发射极连接第一晶体管的发射极，第二晶体管的集电 极连接第三晶体管的集电极，第三晶体管的发射极连接第四晶体管的发射极，第三晶体 管的基极连接第四晶体管的基极。
5.根据权利要求4所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于第一晶体管和第四 晶体管均为NPN型的晶体管，第二晶体管和第三晶体管均为PNP型的晶体管。
6.根据权利要求1所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于所述保护模块包括 可调电位器，该可调电位器用于获知阻抗匹配器的调整情况，并将该调整情况转换为电 压信号输出；以及与可调电位器连接的比较器，该比较器将来自于可调电位器的电压信号与该比 较器设定的电压进行比较后输出一个控制信号；以及与比较器连接的控制开关，该控制开关接收比较器输出的控制信号后使所述放 大电路失去放大作用。
7.根据权利要求6所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于所述比较器包括用 于阻抗匹配器的最大值比较器，以及用于阻抗匹配器的最小值比较器。
8.根据权利要求6所述的射频匹配器的控制电路，其特征在于还包括显示阻抗匹 配器容量的容量显示器，该容量显示器与连接在可调电位器的输出端。
专利摘要本实用新型公开了一种射频匹配器的控制电路，其特征在于包括放大电路，该放大电路将接收到的直流驱动信号进行放大后输出；所述的控制模块还包括用于阻抗匹配器的保护模块，当该保护模块检测到阻抗匹配器为最大值或最小值时控制所述的放大电路失去放大作用，本实用新型具有快速、可靠、高效、准确、节省人力和时间等优点。
文档编号H03F1/56GK201797485SQ20102021727
公开日2011年4月13日 申请日期2010年6月1日 优先权日2010年6月1日
发明者杨友明 申请人:常州瑞思杰尔电子科技有限公司