载荷测定方法及回收方法与流程

本发明涉及测定在吸嘴的吸管与筒相对移动时产生的载荷的载荷测定方法及对基于测定出的载荷而判定为不正常的吸嘴进行回收的回收方法。

背景技术：

吸嘴是在电子元件向电路基板装配的装配作业时对电子元件进行吸附保持的结构。吸嘴由吸管和筒构成，该吸管和筒为了减小在吸嘴的前端部与电子元件接触时、将吸附保持的电子元件向电路基板装配时等作用于电子元件的载荷而能够相对移动。然而，在吸管与筒相对移动时产生的载荷(以下，有时记载为“吸嘴载荷”)因吸管的劣化等而变得过大时，可能无法执行适当的装配作业。因此，吸嘴载荷的测定定期地被执行，将测定出的载荷大于预定载荷的吸嘴向回收箱等进行回收。下述专利文献记载了用于使用负载传感器等载荷传感器来测定吸嘴载荷的载荷测定方法的一例。

专利文献1：日本特开2006-108384号公报

技术实现要素：

如上述专利文献记载那样，通过使用负载传感器等载荷传感器能够适当地测定吸嘴载荷。然而，由于吸嘴载荷比较小，因此负载传感器等载荷传感器采用高灵敏度的结构，在由于杂质的混入等而筒与吸管无法相对移动的情况下，载荷传感器可能会破损。本发明鉴于这样的实际情况而作出，本发明的课题在于不使载荷传感器破损而适当地测定吸嘴载荷。

另外，基于测定出的吸嘴载荷来判定吸嘴是否正常，并将判定为不正常的吸嘴向回收箱等投入。并且，从回收箱回收吸嘴而进行修补等。然而，若吸嘴被杂乱地投入到回收箱，则由于向回收箱的投入而吸嘴可能会成为无法修补的状态。本发明鉴于这样的实际情况而作出，本发明的课题在于适当地回收基于测定出的吸嘴载荷而判定为不正常的吸嘴。

为了解决上述课题，本申请记载的载荷测定方法测定吸嘴的吸管与筒在相对移动时产生的载荷，上述吸嘴具备：上述吸管，用于通过空气的吸引来吸附保持元件；及所述筒，在使上述吸管的前端部突出的状态下在内部保持上述吸管，上述吸管与上述筒能够相对移动预定量，上述载荷测定方法的特征在于，上述载荷测定方法包括以下工序：移动工序，在使上述吸管的前端部与刚体接触的状态下，以预先设定的设定载荷使上述吸嘴与上述刚体向接近的方向移动；及载荷测定工序，以在上述移动工序中上述吸管与上述筒相对移动了上述预定量为条件，在使上述吸管的前端部与载荷传感器相向的状态下，在使上述吸嘴与上述载荷传感器向接近的方向移动的情况下，通过上述载荷传感器测定在上述吸管的前端部与上述载荷传感器相接触时的上述吸管与上述筒相对移动时产生的载荷。

另外，为了解决上述课题，本申请记载的回收方法回收基于通过上述载荷测定方法测定的载荷而判定为不正常的上述吸嘴，上述回收方法的特征在于，上述回收方法包括以下工序：保持工序，通过保持件保持上述第一载荷提取工序或上述第二载荷提取工序中提取的载荷超过了预先设定的容许载荷的上述吸嘴；移动工序，通过移动装置使在上述保持工序中保持有上述吸嘴的上述保持件移动到回收箱的倾斜面的上方，上述回收箱具有由所述倾斜面和与上述倾斜面的下方侧的端部连续且无倾斜的平面构成的底面；及脱离工序，在上述移动工序中上述保持件移动到上述倾斜面的上方之后，上述保持件使上述吸嘴脱离。

发明效果

在本申请记载的载荷测定方法中，在通过载荷传感器测定吸嘴载荷之前，将刚体压靠于吸管的前端部，通过刚体的压靠，来判定吸管与筒是否相对移动了设定量。并且，通过刚体的压靠，对吸管与筒相对移动了设定量的吸嘴进行使用了载荷传感器的吸嘴载荷的测定。由此，能够仅对确认了吸管与筒的相对移动的吸嘴进行使用了载荷传感器的吸嘴载荷的测定，不使载荷传感器破损而能够适当地测定吸嘴载荷。而且，通过刚体向使筒与吸管进行了相对移动的方向施加比较大的载荷，因此即使由于杂质等而筒与吸管固着，通过载荷的负载有时也能去除杂质。即，筒与吸管几乎不相对移动的吸嘴通过载荷的负载能够相对移动，有时能被修复。

另外，在本申请记载的回收方法中，回收箱的底面由倾斜面和与该倾斜面的下方侧的端部连续且无倾斜的平面构成。并且，基于通过上述载荷测定方法测定的载荷而判定为不正常的吸嘴由保持件保持，所保持的吸嘴在回收箱的底面的倾斜面的上方脱离。由此，吸嘴向倾斜面落下，滚落至平面而留在平面。因此，由于吸嘴在倾斜面的上方脱离，因此即使在吸嘴依次被投入到回收箱内的情况下，也能够防止落下的吸嘴猛力地碰撞回收箱内的吸嘴。由此，能够适当地防止由吸嘴彼此的碰撞引起的吸嘴的破损，能够适当地回收吸嘴。

附图说明

图1是表示电子元件装配装置的立体图。

图2是表示电子元件装配装置具备的装配头的立体图。

图3是表示吸嘴的立体图。

图4是表示局部露出状态的吸嘴托盘的俯视图。

图5是表示全露出状态的吸嘴托盘的俯视图。

图6是图4所示的吸嘴托盘的剖视图。

图7是收纳有吸嘴的状态下的吸嘴托盘的剖视图。

图8是表示吸嘴管理装置的立体图。

图9是以从右前方观察的视点表示吸嘴管理装置的内部结构的立体图。

图10是以从左前方观察的视点表示吸嘴管理装置的内部结构的立体图。

图11是表示局部露出状态的吸嘴货盘的俯视图。

图12是表示全露出状态的吸嘴货盘的俯视图。

图13是收纳有大吸嘴的吸嘴货盘的剖视图。

图14是收纳有小吸嘴的吸嘴货盘的剖视图。

图15是表示吸嘴管理装置具备的吸嘴移载装置的立体图。

图16是表示废弃箱的剖视图。

图17是表示吹风装置的剖视图。

图18是表示吸嘴管理装置具备的第一吸嘴检查装置的立体图。

图19是表示吸嘴管理装置具备的第二吸嘴检查装置的立体图。

图20是表示吸嘴管理装置具备的吸嘴清洗装置的立体图。

图21是表示去除了壳体的状态下的吸嘴清洗装置的立体图。

图22是概略性地表示吸嘴清洗装置的图。

图23是表示使弹簧内置吸嘴的吸附管向主体筒内后退时的载荷的时间性变化的图。

图24是表示使无弹簧吸嘴的吸附管向主体筒内后退时的载荷的时间性变化的图。

图25是表示以往的吸嘴清洗装置清洗吸嘴时的吸附管的前端部的放大图。

图26是表示安装有套筒的状态下的吸嘴货盘的剖视图。

图27是表示本发明的吸嘴清洗装置清洗吸嘴时的吸附管的前端部的放大图。

图28是以从套筒的下方观察的视点表示利用套筒对吸嘴进行清洗时的高压水的接触部位的图。

图29是以从套筒的下方观察的视点表示利用套筒对吸嘴进行清洗时的高压水的接触部位的图。

图30是以从套筒的下方观察的视点表示利用套筒对吸嘴进行清洗时的高压水的接触部位的图。

图31是以从套筒的下方观察的视点表示利用套筒对吸嘴进行清洗时的高压水的接触部位的图。

图32是表示变形例的用于进行吸管的后退力检查的检查头的图。

具体实施方式

以下，作为用于实施本发明的方式，参照附图，详细说明本发明的实施例。

<电子元件装配装置的结构>

图1示出电子元件装配装置(以下，有时简称为“装配装置”)10。装配装置10具有1个系统基座12和在该系统基座12的上方相邻的2台电子元件装配机(以下，有时简称为“装配机”)14。另外，将装配机14的排列方向称为X轴方向，将与该方向垂直的水平方向称为Y轴方向。

各装配机14主要具备装配机主体20、搬运装置22、装配头移动装置(以下，有时简称为“移动装置”)24、装配头26、供给装置28及吸嘴台30。装配机主体20由框架部32和架设于该框架部32的梁部34构成。

搬运装置22具备2个输送装置40、42。这2个输送装置40、42以相互平行且沿X轴方向延伸的方式配置于框架部32。2个输送装置40、42分别通过电磁马达(图示省略)将支撑于各输送装置40、42的电路基板沿X轴方向进行搬运。而且，电路基板由基板保持装置(图示省略)固定地保持在预定位置。

移动装置24是XY机器人型的移动装置。移动装置24具备使滑动件50沿X轴方向滑动的电磁马达(图示省略)和使滑动件50沿Y轴方向滑动的电磁马达(图示省略)。在滑动件50安装有装配头26，该装配头26通过2个电磁马达52、54的工作而移动到框架部32上的任意位置。

装配头26是向电路基板装配电子元件的结构。如图2所示，装配头26具有多个棒状的装配单元60，在这多个装配单元60各自的下端部装配有吸嘴62。如图3所示，吸嘴62由主体筒64、凸缘部66、吸附管68及卡挂销70构成。主体筒64呈圆筒状，凸缘部66以向主体筒64的外周面伸出的方式被固定。吸附管68呈细管状，在从主体筒64的下端部朝着下方延伸出的状态下，以能够沿轴线方向移动的方式保持于主体筒64。另外，吸嘴62包括向吸附管68施加弹力的结构和不施加弹力的结构。

详细而言，向吸附管68施加弹力的吸嘴62中，在吸附管68与主体筒64之间以被压缩的状态配置弹簧(图示省略)，吸附管68被弹簧的弹力朝着从主体筒64的下端部向下方延伸的方向施力。即，向吸附管68的前端施加克服弹簧的弹力的力，由此，吸附管68朝着主体筒64的内部后退。另一方面，在不向吸附管68施加弹力的吸嘴62中，在吸附管68与主体筒64之间未配置弹簧。但是，在吸附管68与主体筒64之间未配置弹簧的吸嘴62装配在内置有弹簧(图示省略)的装配单元60的前端部。内置于装配单元60的弹簧向装配于装配单元60的吸嘴62的吸附管68施加弹力。由此，该吸附管68被装配单元60的弹簧的弹力朝着从主体筒64的下端部向下方延伸的方向施力。即，即使在吸附管68与主体筒64之间未配置弹簧的吸嘴62中，通过装配于内置有弹簧的装配单元60，也能向吸附管68的前端施加克服弹簧的弹力的力，由此吸附管68朝着主体筒64的内部后退。

另外，吸嘴62的卡挂销70以沿主体筒64的径向延伸的方式设置在主体筒64的上端部。吸嘴62利用卡挂销70，以通过单触式能够拆装的方式安装于装配单元60的下端部。利用了卡挂销70的吸嘴62向装配单元60的安装为公知的手法，因此省略说明。而且，在凸缘部66的外缘形成有切口部72，在凸缘部66的上表面设有二维码74。

吸嘴62的吸附管68经由负压空气、正压空气通路而与正负压供给装置(图示省略)连通。因此，吸嘴62的吸附管68在前端部，通过负压来吸附保持电子元件，通过正压使所保持的电子元件脱离。如图2所示，棒状的装配单元60以等角度间距在单元保持体76的外周部保持为轴向垂直的状态。并且，各吸嘴62从单元保持体76的下表面朝着下方延伸。

另外，单元保持体76通过保持体旋转装置78，每次间歇旋转与装配单元60的配置角度间距相等的角度。由此，多个装配单元60依次停止于作为装配单元60的1个停止位置的升降台。停止于升降台的装配单元60通过单元升降装置80进行升降。而且，停止于升降台的装配单元60通过单元自转装置82而自转。

供给装置28是供料器型的供给装置，如图1所示，配置在框架部32的前方侧的端部。供给装置28具有带式供料器86。带式供料器86将带化元件以卷绕的状态进行收容。带化元件是将电子元件进行带化而得到的结构。并且，带式供料器86通过送出装置(图示省略)送出带化元件。由此，供料器型的供给装置28通过带化元件的送出而在供给位置供给电子元件。

吸嘴台30是收容多个吸嘴62的结构，具有吸嘴托盘88。如图4所示，吸嘴托盘88具有底板90和罩板92，罩板92以能够滑动的方式配置在底板90上。另外，底板90与罩板92为大致相同尺寸，在罩板92相对于底板90进行了滑动的状态下，设于底板90的端部的二维码94露出。另一方面，如图5所示，在底板90与罩板92整体重叠的状态下，二维码94由罩板92覆盖。

如图4及作为吸嘴托盘88的剖视图的图6所示，在底板90形成有多个载置孔96。载置孔96是阶梯形状的贯通孔，能够载置吸嘴62。详细而言，阶梯形状的载置孔96的阶梯面98的内径比吸嘴62的凸缘部66的外径稍大，如图7所示，在该阶梯面98载置吸嘴62的凸缘部66。而且，在阶梯面98竖立设置销(参照图5)100，凸缘部66的切口部72与该销100卡合。由此，禁止载置于载置孔96的吸嘴62绕轴旋转。另外，载置孔96包括小直径的载置孔96a和大直径的载置孔96b，在小直径的载置孔96a载置小尺寸的吸嘴62，在大直径的载置孔96b载置大尺寸的吸嘴62。

另外，对应于底板90的多个载置孔96而在罩板92也形成有冲孔102。冲孔102由圆孔部104和插槽部106构成。圆孔部104呈圆形，内径比对应的载置孔96的阶梯面98稍大。而且，插槽部106是在圆孔部104的缘部形成切口的部分，是比吸嘴62的主体筒64的外径稍大的切口部。

在上述结构的吸嘴托盘88中，使罩板92相对于底板90滑动，由此能够切换为如图4所示载置孔96的局部经由冲孔102而露出的状态(以下，有时称为“局部露出状态”)与如图5所示载置孔96的整体经由冲孔102露出的状态(以下，有时称为“全露出状态”)。

详细而言，在全露出状态下，如图5所示，载置孔96的中心与冲孔102的圆孔部104的中心一致，载置孔96的阶梯面98完全露出。因此，在全露出状态下，能够在载置孔96载置吸嘴62或者从载置孔96取出吸嘴62。即，在全露出状态下，能够向吸嘴托盘88收容吸嘴62或者从吸嘴托盘88取出吸嘴62。

另一方面，在局部露出状态下，如图4所示，载置孔96的中心与冲孔102的圆孔部104的中心不一致，载置孔96的阶梯面98的局部由罩板92覆盖。因此，在局部露出状态下，无法在载置孔96载置吸嘴62或者从载置孔96取出吸嘴62。即，在局部露出状态下，无法在吸嘴托盘88收容吸嘴62或者从吸嘴托盘88取出吸嘴62。但是，在局部露出状态下，载置孔96的中心与冲孔102的插槽部106的中心一致，如图7所示，载置于载置孔96的吸嘴62的主体筒64从插槽部106向罩板92的上方延伸。

另外，罩板92相对于底板90，能够在全露出状态与局部露出状态之间滑动，且被弹簧(图示省略)向成为局部露出状态的方向施力。即，通常禁止吸嘴62向吸嘴托盘88的收容或者吸嘴62从吸嘴托盘88的取出。但是，吸嘴台30具有使罩板92克服弹簧的弹力而向成为全露出状态的方向滑动的板移动机构(图示省略)，通过该板移动机构的工作而使罩板92滑动，由此能够进行吸嘴62向吸嘴托盘88的收容或者吸嘴62从吸嘴托盘88的取出。另外，吸嘴托盘88能够相对于吸嘴台30进行拆装，在装配机14的外部能够进行收容于吸嘴台30的吸嘴62的回收、吸嘴62向吸嘴台30的补给等。

<装配机的装配作业>

在装配机14中，通过上述的结构，能够利用装配头26对保持于搬运装置22的电路基板进行装配作业。具体而言，按照装配机14的控制装置(图示省略)的指令，将电路基板搬运至作业位置，在该位置处，由基板保持装置固定地保持。而且，带式供料器86按照控制装置的指令，送出带化元件，将电子元件供给到供给位置。并且，装配头26向电子元件的供给位置的上方移动，通过吸嘴62来吸附保持电子元件。接下来，装配头26向电路基板的上方移动，将所保持的电子元件装配在电路基板上。

<吸嘴台上的吸嘴的更换>

在装配机14中，如上所述，通过吸嘴62吸附保持由带式供料器86供给的电子元件，并将该电子元件装配到电路基板上。在这样构成的装配机14中，根据电子元件的大小、种类等来变更吸嘴62。即，例如在吸附保持大电子元件时，使用直径大的吸嘴62，在吸附保持小电子元件时，使用直径小的吸嘴62。因此，需要根据所制造的电路基板的种类而使用各种吸嘴62，在吸嘴台30，根据所制造的电路基板的种类而收容有各种吸嘴62。并且，根据需要进行在装配头26的装配单元60安装的吸嘴62与吸嘴台30所收容的吸嘴62的互换等。另外，在装配单元60安装的吸嘴62与吸嘴台30所收容的吸嘴62的互换等为公知的手法，因此省略说明。

如上所述，在吸嘴台30根据所制造的电路基板的种类而收容有各种吸嘴62。因此，例如在制造对象的电路基板的种类变更的情况下，从吸嘴台30拆卸吸嘴托盘88，使用吸嘴管理装置，更换吸嘴托盘88所收容的吸嘴62。以下，对吸嘴管理装置进行详细说明。

<吸嘴管理装置的结构>

如图8所示，吸嘴管理装置110大致呈长方体形状，在正面设有抽屉118，该抽屉118用于将吸嘴托盘88收纳在吸嘴管理装置110内或者从吸嘴管理装置110取出吸嘴托盘88。在该抽屉118的上方配置有显示各种信息的面板120、用于进行信息等的输入的操作开关122等。

如图9及图10所示，各吸嘴管理装置110具有货盘收容装置130、托盘收容装置132、吸嘴移载装置134、第一吸嘴检查装置136、第二吸嘴检查装置138及吸嘴清洗装置140。另外，图9是表示从吸嘴管理装置110的右前方观察的视点下的吸嘴管理装置110的内部结构的立体图，图10是表示从吸嘴管理装置110的左前方观察的视点下的吸嘴管理装置110的内部结构的立体图。

(a)货盘收容装置

货盘收容装置130是收容图11所示的吸嘴货盘152的结构。吸嘴货盘152与吸嘴托盘88同样具有底板154和罩板156，罩板156以能够滑动的方式配置在底板154上。底板154与罩板156为大致相同尺寸，在罩板156相对于底板154进行了滑动的状态下，设于底板154的端部的二维码157露出。另一方面，如图12所示，在底板154与罩板156整体重叠的状态下，二维码157由罩板156覆盖。

另外，在底板154的角部配置有基准吸嘴172和基准管174。基准吸嘴172和基准管174贯通底板154，基准吸嘴172和基准管174的下端部向底板154的下方延伸。另外，在罩板156的角部形成有切口部176，即使在底板154与罩板156整体重叠的状态下，基准吸嘴172和基准管174也露出。

在底板154形成有多个载置孔158，这多个载置孔158包括小直径的载置孔158a和大直径的载置孔158b。小直径的载置孔158a与吸嘴托盘88的小直径的载置孔96a为相同形状，载置有能够载置于载置孔96a的吸嘴62。另一方面，大直径的载置孔158b与吸嘴托盘88的大直径的载置孔96b为大致相同形状，但是如图11及作为吸嘴货盘152的剖视图的图13所示，是具有2个阶梯面160、162的阶梯形状的孔。第一阶梯面160的内径与吸嘴托盘88的大直径的载置孔96b的内径相同，如图13所示，载置有能够载置于载置孔96b的吸嘴62。第二阶梯面162的内径比第一阶梯面160的内径小，如图14所示，载置有尺寸比能够载置于第一阶梯面160的吸嘴62小的吸嘴62。另外，在各阶梯面160、162也竖立设置有销(参照图12)164，且与吸嘴62的凸缘部66的切口部72卡合。

另外，对应于底板154的多个载置孔158而在罩板156也形成有冲孔166。冲孔166与吸嘴托盘88的冲孔102为相同形状，由圆孔部168和插槽部170构成。因此，在吸嘴货盘152中，也与吸嘴托盘88同样地能够切换为局部露出状态与全露出状态。

详细而言，在全露出状态下，如图12所示，载置孔158的阶梯面160等完全露出，能够向载置孔158载置吸嘴62或者从载置孔158取出吸嘴62。另一方面，在局部露出状态下，如图11所示，载置孔158的阶梯面160等的局部由罩板156覆盖，无法向载置孔158载置吸嘴62或者从载置孔158取出吸嘴62。但是，在局部露出状态下，如图13及图14所示，载置于载置孔158的吸嘴62的主体筒64从插槽部170向罩板156的上方延伸。

另外，罩板156相对于底板154能够在全露出状态与局部露出状态之间滑动，被弹簧(图示省略)向成为局部露出状态的方向施力。因此，通常禁止吸嘴62向吸嘴货盘152的收容或者吸嘴62从吸嘴货盘152的取出。但是，与吸嘴托盘88同样，使罩板156克服弹簧的弹力向成为全露出状态的方向滑动，由此能够进行吸嘴62向吸嘴货盘152的收容或者吸嘴62从吸嘴货盘152的取出。

货盘收容装置130是收容上述结构的吸嘴货盘152的装置。如图9及图10所示，货盘收容装置130具有多个货盘载体180和载体循环机构182。货盘载体180为通道形状，即截面呈形的形状，以通道形状的开口朝着下方的状态配置。在货盘载体180的内侧的侧面形成有轨道183，通过该轨道183保持吸嘴货盘152。另外，吸嘴货盘152通过从货盘载体180的前方插入而保持于货盘载体180，通过将吸嘴货盘152向前方拉出而从货盘载体180取出。

载体循环机构182具有1对带齿卷盘轴184，1对带齿卷盘轴184以沿前后方向延伸的状态上下配置。在各带齿卷盘轴184的两端安装有带齿卷盘186。1对带齿卷盘轴184的前端的带齿卷盘186彼此由链条188连结，1对带齿卷盘轴184的后端的带齿卷盘186彼此由链条190连结。

在链条188、190安装有多个托架192，各托架192以与链条188、190垂直的状态朝着外侧延伸。安装于链条188的托架192和安装于链条190的托架192在各自的前端部将货盘载体180支撑为能够摆动。并且，通过电磁马达(图示省略)的驱动，使带齿卷盘轴184以能够控制的方式旋转。通过这样的结构，多个货盘载体180、即保持于货盘载体180的吸嘴货盘152通过载体循环机构182，在吸嘴管理装置110的内部沿上下方向循环。另外，货盘载体180在循环时始终维持通道形状的开口朝着下方的状态，因此保持于货盘载体180的吸嘴货盘152始终以水平的状态循环。

(b)托盘收容装置

托盘收容装置132是收容吸嘴托盘88的装置，配置在货盘收容装置130的前方。托盘收容装置132具有多个托盘载体200和载体循环机构202。与货盘载体180同样，托盘载体200呈通道形状，以通道形状的开口朝着下方的状态配置。而且，托盘载体200通过形成在内侧的侧面上的轨道204来保持吸嘴托盘88。另外，吸嘴托盘88通过从托盘载体200的前方插入而保持于托盘载体200，通过将吸嘴托盘88向前方拉出而从托盘载体200取出。

载体循环机构202与载体循环机构182同样地具有带齿卷盘轴、带齿卷盘、链条、托架(附图标记省略)等，且与载体循环机构182同样地工作。因此，多个托盘载体200、即保持于托盘载体200的吸嘴托盘88通过载体循环机构202，在吸嘴管理装置110的内部沿上下方向循环。另外，托盘载体200在循环时始终维持通道形状的开口朝着下方的状态，因此保持于托盘载体200的吸嘴托盘88始终以水平的状态循环。

(c)吸嘴移载装置

吸嘴移载装置134是用于在吸嘴托盘88与吸嘴货盘152之间移载吸嘴62的装置，如图15所示，配置在抽屉118内的桌台205上。吸嘴移载装置134具有移载头206和头移动装置207。在移载头206的下端面安装有朝着下方的状态的相机208和用于保持吸嘴62的保持卡盘(参照图9、图10)209。而且，头移动装置207是使移载头206在桌台205上沿前后方向、左右方向、上下方向移动的XYZ型的移动装置。此外，头移动装置207具备用于使保持卡盘209绕其轴线自转的自转机构(图示省略)，能够使由保持卡盘209保持的吸嘴62自转。

另外，在抽屉118内的桌台205上设有用于安设吸嘴托盘88的固定台210及可动台212。固定台210固定于桌台205。另一方面，可动台212通过台移动机构214而沿前后方向滑动。台移动机构214具有以沿前后方向延伸的方式配置于桌台205的轨道216，使可动台212沿着轨道216以能够控制的方式滑动。轨道216的后端部与通过载体循环机构202循环到预定位置的托盘载体200的轨道204连结。因此，通过可动台212的滑动，能够将安设于可动台212的吸嘴托盘88向托盘载体200收纳及将托盘载体200所收容的吸嘴托盘88安设于可动台212上。

另外，在固定台210及可动台212上设有用于使罩板92相对于安设的吸嘴托盘88向成为全露出状态的方向移动的板移动机构(图示省略)。另外，在图中图示出安设于固定台210的吸嘴托盘88。

另外，在抽屉118内的桌台205配置有第一货盘移动机构218，该第一货盘移动机构218使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与吸嘴移载装置134能够移载吸嘴62的位置(以下，有时简称为“吸嘴移载位置”)之间移动。第一货盘移动机构218具有以沿前后方向延伸的方式配置于桌台205的轨道219，使吸嘴货盘152沿着轨道219以能够控制的方式滑动。轨道219的后端部与通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180的轨道183连结。因此，能够使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与吸嘴移载位置之间移动。另外，在图中图示出移动到吸嘴移载位置的吸嘴货盘152。

在移动到吸嘴移载位置的吸嘴货盘152的前方侧配置有载置板220。在载置板220形成有与在吸嘴货盘152的底板154上形成的载置孔158相同形状的多个载置孔221。与载置孔158同样，多个载置孔221具有大直径的载置孔221和小直径的载置孔221，能够载置各种尺寸的吸嘴62。

另外，在抽屉118内的桌台205的前端部配置有废弃箱222。废弃箱222被分隔成4个空间，将判断为不正常的吸嘴62即不良吸嘴区分在这4个空间进行废弃。另外，如图16所示，在各废弃箱222的底面配置有缓冲片223。缓冲片223由缓冲材料成形，并覆盖废弃箱222的底面整体。缓冲片223由第一倾斜部224、平面部225及第二倾斜部226构成。如图15所示，第一倾斜部224是位于废弃箱222内的抽屉118的内侧的端部且朝着抽屉118的外侧下降的斜面。而且，如图16所示，第二倾斜部226是位于第一倾斜部224的相反侧的端部且朝着第一倾斜部224下降的斜面。并且，平面部225是与第一倾斜部224的下降侧的端部和第二倾斜部226的下降侧的端部连续的平面。

另外，如图15所示，在移动到吸嘴移载位置的吸嘴货盘152的附近配置有吹风装置227。吹风装置227是进行吸嘴62的干燥的结构，如图17所示，由筒状的主体部228、形成在主体部228的侧面上的喷气孔229及与喷气孔229连接的喷气装置(图示省略)构成。

(d)第一吸嘴检查装置

第一吸嘴检查装置136是执行吸嘴62的前端部即吸附管68的状态的检查(以下，有时简称为“前端部检查”)和为了使吸嘴62的前端部后退所需的力、即为了使吸附管68朝着主体筒64的内部后退所需的力的检查(以下，有时简称为“后退力检查”)的装置，配置在吸嘴移载装置134的下方。

如图18所示，第一吸嘴检查装置136具有检查单元230和单元移动装置232。检查单元230具有基台234、相机装置236及载荷测定装置238。相机装置236以朝着上方的状态配置在基台234上。载荷测定装置238具有负载传感器240及按压配件242，负载传感器240及按压配件242以露出的状态配置在基台234上。

单元移动装置232具有固定梁250、可动梁252、第一滑动件254及第二滑动件256。固定梁250以沿前后方向延伸的方式配置于吸嘴管理装置110的躯体。可动梁252以沿左右方向延伸的方式支撑于固定梁250，能够沿前后方向滑动。该可动梁252通过第一移动机构258的工作而移动到前后方向的任意位置。第一滑动件254以能够沿左右方向滑动的方式支撑于可动梁252，通过第二移动机构260的工作，移动到左右方向的任意位置。第二滑动件256以能够沿上下方向滑动的方式支撑于第一滑动件254，通过第三移动机构262的工作而移动到上下方向的任意位置。在该第二滑动件256的上端固定有检查单元230的基台234。由此，单元移动装置232作为使检查单元230向上下、左右、前后方向的任意位置移动的XYZ型移动装置发挥功能。

另外，在第一吸嘴检查装置136的上方配置有第二货盘移动机构266。第二货盘移动机构266是使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与第一吸嘴检查装置136能够进行前端部检查及后退力检查的位置(以下，有时简称为“第一检查位置”)之间移动的机构。详细而言，第二货盘移动机构266具有以沿前后方向延伸的方式配置的轨道268，使吸嘴货盘152沿着轨道268以能够控制的方式滑动。轨道268的后端部与通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180的轨道183连结。因此，能够使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与第一检查位置之间移动。另外，在图中图示出移动到第一检查位置的吸嘴货盘152。

(e)第二吸嘴检查装置

第二吸嘴检查装置138是执行在吸嘴62内流动的空气的流量的检查(以下，有时简称为“空气流量检查”)和设于吸嘴62的凸缘部66的二维码74的读取检查(以下，有时简称为“读码检查”)的装置，配置在第一吸嘴检查装置136的下方。

如图19所示，第二吸嘴检查装置138具有检查头270和头移动装置272。检查头270具有相机274和空气供给装置276。相机274以朝着下方的状态安装于检查头270的下端部。空气供给装置276具有空气接头278、空气压传感器280及接头升降机构282。空气接头278是在空气流量检查执行时与吸嘴62的主体筒64连接的结构，经由空气接头278，在空气流量检查执行时向吸嘴62供给空气。空气压传感器280设置在空气接头278的上端部，测定向吸嘴62供给的空气压。接头升降机构282使空气接头278与空气压传感器280一起升降。

头移动装置272具有可动梁284和滑动件286。可动梁284由上述的第一吸嘴检查装置136的固定梁250支撑为沿左右方向延伸，能够沿前后方向滑动。该可动梁284通过第一移动机构288的工作而移动到前后方向的任意位置。滑动件286以能够沿左右方向滑动的方式支撑于可动梁284，通过第二移动机构290的工作而移动到左右方向的任意位置。在该滑动件286的侧面固定有检查头270。由此，头移动装置272作为使检查头270移动到上下、左右方向的任意位置的XY型移动装置发挥功能。

另外，在第二吸嘴检查装置138的下方配置有第三货盘移动机构296。第三货盘移动机构296是使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与第二吸嘴检查装置138能够进行空气流量检查及读码检查的位置(以下，有时简称为“第二检查位置”)之间移动的机构。详细而言，第三货盘移动机构296具有以沿前后方向延伸的方式配置的轨道298，使吸嘴货盘152沿着轨道298以能够控制的方式滑动。轨道298的后端部与通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180的轨道183连结。因此，能够使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与第二检查位置之间移动。另外，在图中图示出移动到第二检查位置的吸嘴货盘152。

(f)吸嘴清洗装置

吸嘴清洗装置140是进行吸嘴62的清洗及干燥的装置，配置在第二吸嘴检查装置138的下方。如图20所示，吸嘴清洗装置140具有壳体300，在壳体300内进行吸嘴62的清洗及干燥。为了说明吸嘴清洗装置140的结构，在图21中示出去除了壳体300的吸嘴清洗装置140。

如图21所示，吸嘴清洗装置140具有吸嘴清洗机构302和吸嘴干燥机构304。吸嘴清洗机构302由上部清洗单元306和下部清洗单元308构成。上部清洗单元306与下部清洗单元308为大致相同的结构，在上下方向上，以彼此相向的方式配置。各单元306、308具有支撑框架310、喷嘴312及喷嘴移动机构314。

上部清洗单元306的支撑框架310a固定在壳体300的上表面，下部清洗单元308的支撑框架310b固定在壳体300内的下表面。上部清洗单元306的喷嘴312a以沿左右方向延伸的方式配置在壳体300内的上端部，通过支撑框架310a，经由壳体300的上表面，支撑为能够沿前后方向滑动。该喷嘴312a通过上部清洗单元306的喷嘴移动机构314a，沿前后方向以能够控制的方式滑动。下部清洗单元308的喷嘴312b以沿左右方向延伸的方式配置在壳体300内的下端部，通过支撑框架310b，经由壳体300的下表面，支撑为能够沿前后方向滑动。该喷嘴312b通过下部清洗单元308的喷嘴移动机构314b，沿前后方向以能够控制的方式滑动。另外，在喷嘴312a的下表面形成有多个喷射孔(图示省略)，在喷嘴312b的上表面形成有多个喷射孔316。

吸嘴干燥机构304配置在吸嘴清洗机构302的后方，且具有多个送风管320。多个送风管320在壳体300的上表面及下表面以沿左右方向延伸的方式配置。送风管320经由加热器(图示省略)而与送风装置(图示省略)连接，送风管320被吹入热风。而且，在送风管320的向壳体300安装的安装部形成有多个送风孔(图示省略)，对应于送风孔而在壳体300的上表面及下表面形成有贯通孔。由此，通过吸嘴干燥机构304向壳体300吹入热风。

另外，在壳体300内配置有第四货盘移动机构330。第四货盘移动机构330是使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与吸嘴清洗机构302能够进行吸嘴62的清洗的位置(以下，有时简称为“清洗位置”)之间移动的机构。详细而言，第四货盘移动机构330具有以沿前后方向延伸的方式配置在壳体300的内壁面上的轨道332，使吸嘴货盘152沿着轨道332以能够控制的方式滑动。轨道332的前端部位于上部清洗单元306与下部清洗单元308之间。另一方面，轨道332的后端部与通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180的轨道183连结。因此，能够使吸嘴货盘152在通过载体循环机构182循环到预定位置的货盘载体180与清洗位置之间移动。另外，在图中图示出移动到清洗位置的吸嘴货盘152。

此外，壳体300的底面作为储水罐发挥功能，储存于壳体300的底面的清洗水循环，向上部清洗单元306和下部清洗单元308的喷嘴312供给。详细而言，如图22所示，在壳体300的底面储存清洗水338，在该底面，排水路340的一端开口。排水路340朝着下方延伸设置，在排水路340配置有用于去除杂质的过滤器342。由此，储存于壳体300的底面的清洗水338向排水路340流入，由过滤器342去除杂质。此时，清洗水338通过重力而流动，因此无需设置用于使清洗水338从壳体300的底面流动的泵等。

去除了杂质的清洗水338向加压泵344送入，由加压泵344向供水路346送出。该供水路346与上部清洗单元306和下部清洗单元308的喷嘴312连接，从喷嘴312喷出清洗水338。而且，在下部清洗单元308与储存于壳体300的底面的清洗水338之间配置有隔板348。隔板348以倾斜的状态配置，在该隔板348的上表面固定有片状的海绵350。因此，从喷嘴312喷出的清洗水338落到隔板348上。此时，利用配置在隔板348上表面的海绵350，防止清洗水338的弹回。并且，清洗水338在以倾斜的状态配置的隔板348上流动，再次储存于壳体300的底面。这样，在吸嘴清洗装置140中，进行清洗水338的循环。另外，在下部清洗单元308的下方配置的隔板348延伸至吸嘴干燥机构304的下方。

<吸嘴管理装置对吸嘴的管理>

在上述结构的吸嘴管理装置110中，进行搭载于吸嘴托盘88的吸嘴62向吸嘴管理装置110收纳的收纳作业、第一吸嘴检查装置136对吸嘴62的检查作业、第二吸嘴检查装置138对吸嘴62的检查作业、吸嘴62的清洗·干燥作业、检查作业及清洗·干燥作业结束后的吸嘴62向吸嘴托盘88搭载的搭载作业、不良吸嘴的废弃作业。以下，说明各作业执行时的吸嘴管理装置110的工作形态。

(a)吸嘴向吸嘴管理装置的收纳作业

在吸嘴62向吸嘴管理装置110收纳的收纳作业时，如图15所示，作业者将搭载有吸嘴62的吸嘴托盘88安设在吸嘴管理装置110的抽屉118内的固定台210或可动台212上。另外，在向可动台212安设吸嘴托盘88时，作业者可以将吸嘴托盘88安设于可动台212，也可以将托盘载体200所收容的吸嘴托盘88通过台移动机构214安设于可动台212。而且，在吸嘴管理装置110中，通过载体循环机构182的工作，收容能够搭载吸嘴62的吸嘴货盘152的货盘载体180移动到与第一货盘移动机构218对应的位置。

接下来，该货盘载体180所收容的吸嘴货盘152通过第一货盘移动机构218的工作而移动到吸嘴移载位置。接下来，移动到吸嘴移载位置的吸嘴货盘152及安设于固定台210或可动台212的吸嘴托盘88通过板移动机构而成为全露出状态。接下来，移载头206通过头移动装置207的工作而移动到吸嘴托盘88及吸嘴货盘152的上方，吸嘴托盘88、吸嘴货盘152各自的二维码94、157由相机208拍摄。由此，得到吸嘴托盘88及吸嘴货盘152的ID号等固有信息。

接下来，移载头206通过头移动装置207的工作，移动到吸嘴托盘88的上方，作为移载对象的吸嘴62的二维码74由相机208拍摄。由此，得到作为移载对象的吸嘴62的ID号等固有信息。并且，作为移载对象的吸嘴62由保持卡盘209保持。

当作为移载对象的吸嘴62由保持卡盘209保持时，移载头206通过头移动装置207的工作，移动到成为吸嘴62的移载目的地的吸嘴货盘152的上方，将所保持的吸嘴62载置于吸嘴货盘152的载置孔158。由此，吸嘴62从吸嘴托盘88向吸嘴货盘152移载。另外，在吸嘴62移载时，将移载目的地的吸嘴货盘152的ID号、所移载的吸嘴62的ID号、移载目的地的吸嘴货盘152的移载位置建立关联地存储。

另外，在移载吸嘴62时，在移载目的地的吸嘴货盘152的载置孔158没有空余的情况下，即，全部的载置孔158载置有吸嘴62的情况下，保持有吸嘴62的保持卡盘209通过头移动装置207的工作而移动到载置板220的上方，吸嘴62临时载置于载置板220的载置孔221。

并且，当吸嘴62向吸嘴货盘152的移载结束时，该吸嘴货盘152通过第一货盘移动机构218的工作而收容于货盘载体180。由此，吸嘴62向吸嘴管理装置110的收纳作业结束。

另外，通过吸嘴62向吸嘴货盘152的移载，变空的吸嘴托盘88由作业者从固定台210或可动台212回收。或者，在吸嘴托盘88安设于可动台212的情况下，通过吸嘴62向吸嘴货盘152的移载，也能够将变空的吸嘴托盘88通过台移动机构214的工作向托盘载体200收容。

(b)第一吸嘴检查装置对吸嘴的检查作业

在吸嘴62的检查作业中，在通过第一吸嘴检查装置136进行前端部检查时，通过载体循环机构182的工作，收容预定吸嘴货盘152的货盘载体180如图18所示移动到与第二货盘移动机构266对应的位置。在该预定吸嘴货盘152收容有作为检查对象的吸嘴62。

接下来，该货盘载体180所收容的吸嘴货盘152通过第二货盘移动机构266的工作而移动到第一检查位置。并且，检查单元230的相机装置236通过单元移动装置232移动到作为检查对象的吸嘴62的下方，作为检查对象的吸嘴62的吸附管68由相机装置236拍摄。由此，得到吸嘴62的吸附管68的拍摄数据，基于该拍摄数据，检查吸附管68的状态。通过基于拍摄数据的检查，在发现了吸附管68的弯曲、前端缺欠、前端变形等异常的情况下，进行第一吸嘴检查装置136的检验。

详细而言，在通过基于拍摄数据的检查而发现了吸附管68的异常的情况下，相机装置236通过单元移动装置232移动到吸嘴货盘152的基准管174的下方，基准管174由相机装置236拍摄。并且，基于该拍摄数据，检查基准管174的状态。在基准管174的下端部安装正常的吸附管68，若第一吸嘴检查装置136正常，则当然在基于基准管174的拍摄数据的检查中判断为基准管174的吸附管68正常。因此，在通过基于作为检查对象的吸嘴62的拍摄数据的检查而发现吸附管68的异常、而且通过基于基准管174的拍摄数据的检查而判断为吸附管68正常的情况下，确定为作为检查对象的吸嘴62的吸附管68发生异常，将作为检查对象的吸嘴62认定为不良吸嘴。另一方面，在通过基于作为检查对象的吸嘴62的拍摄数据的检查而发现吸附管68的异常、而且通过基于基准管174的拍摄数据的检查而判断为吸附管68异常的情况下，可看作第一吸嘴检查装置136无法进行正常的检查，不将作为检查对象的吸嘴62认定为不良吸嘴。

另外，在通过第一吸嘴检查装置136进行后退力检查时，使吸嘴62的吸附管68的前端部与负载传感器240接触，使负载传感器240移动，以使吸嘴62的吸附管68朝着主体筒64的内部后退。此时，由负载传感器240检测的载荷是在主体筒64与吸附管68相对移动时产生的载荷，是吸附管68朝向主体筒64内的后退力。该载荷比较小，因此负载传感器240采用高灵敏度的结构，但是在主体筒64与吸附管68不发生相对移动的情况下，负载传感器240可能会破损。

详细而言，例如，杂质等侵入到吸嘴62内，由于主体筒64与吸附管68的固着，存在主体筒64与吸附管68几乎无法相对移动的情况。这样的吸嘴62例如当被按压于测定范围为0～100gf的负载传感器240时，主体筒64与吸附管68几乎无法相对移动，因此在使负载传感器240移动的载荷为100gf以上的情况下，100gf以上的载荷作用于负载传感器240，负载传感器240可能会破损。因此，需要以比100gf小的载荷使负载传感器240移动。然而，配置负载传感器240的检查单元230比较大、重量大，因此使检查单元230移动时的惯性力大，以比100gf小的载荷难以使检查单元230移动。

鉴于这样的情况，在第一吸嘴检查装置136中，使用按压配件242，确认吸嘴62的主体筒64与吸附管68的相对移动的状态，对于主体筒64与吸附管68的相对移动的状态良好的吸嘴62，进行使用了负载传感器240的后退力检查。具体而言，配置在检查单元230上的按压配件242通过单元移动装置232而移动到作为检查对象的吸嘴62的下方，检查单元230向上方移动，以与吸嘴62的吸附管68的下端部抵接。此时，检查单元230向上方移动，以使吸嘴62的吸附管68朝着主体筒64的内部后退。

通过检查单元230向上方移动，吸附管68被按压配件242向上方按压，在吸附管68向主体筒64的内部后退了第一设定量的情况下，判断为主体筒64与吸附管68的相对移动的状态良好。另一方面，即使吸附管68被按压配件242向上方按压，在吸附管68向主体筒64的内部未后退第一设定量的情况下，主体筒64与吸附管68也会固着，判断为它们的相对移动的状态并不良好。

另外，按压于吸嘴62的吸附管68的按压配件242为刚体，难以破损，因此通过某种程度大的载荷能够使检查单元230向上方移动。但是，为了防止主体筒64与吸附管68固着而它们无法相对移动的情况的吸嘴62的破损，使检查单元230向上方移动时的载荷设定成比将吸嘴62沿轴线方向压紧时吸嘴62破损的载荷小的值。

使用按压配件242判断为主体筒64与吸附管68的相对移动的状态良好的吸嘴62使用负载传感器240来测定后退力。另一方面，判断为主体筒64与吸附管68的相对移动的状态并不良好的吸嘴62不执行使用了负载传感器240的后退力的测定。由此，能够避免超过测定范围的载荷作用于负载传感器240的可能性存在的吸嘴62的测定，能够防止负载传感器240的破损。而且，沿着使主体筒64与吸附管68相对移动的方向，比较大的载荷作用于吸嘴62，因此即使由于杂质等而主体筒64与吸附管68固着，通过载荷的负载有时也能去除杂质。即，主体筒64与吸附管68几乎不会相对移动的吸嘴62通过载荷的负载而能够相对移动，存在被修复的情况。

接下来，在判断为主体筒64与吸附管68的相对移动的状态良好的情况下，配置在检查单元230上的负载传感器240通过单元移动装置232而移动到该吸嘴62的下方，检查单元230向上方移动，以与吸嘴62的吸附管68的下端部抵接。此时，吸嘴62的吸附管68朝着主体筒64的内部后退时，吸附管68的后退力由负载传感器240测定。但是，如上所述，吸嘴62包括内置有弹簧的吸嘴(以下，有时称为“弹簧内置吸嘴”)和未内置弹簧的吸嘴(以下，有时称为“无弹簧吸嘴”)，弹簧内置吸嘴和无弹簧吸嘴通过不同的手法来测定后退力。

具体而言，例如，使负载传感器240与弹簧内置吸嘴的吸附管68的下端部抵接，使检查单元230向上方移动，由此吸附管68向主体筒64的内部后退第一设定量时的负载传感器240的测定值、即载荷的变化如图23所示。图中的实线所示的坐标图表示由于异物的混入、破损等而负载传感器240对于吸附管68朝着主体筒64的内部难以后退的吸嘴(以下，有时称为“不良吸嘴”)的测定值的时间性变化。另一方面，虚线所示的坐标图表示负载传感器240对于吸附管68朝着主体筒64的内部正常后退的吸嘴(以下，有时称为“正常吸嘴”)的测定值的时间性变化。

从图可知，由于检查单元230向上方移动而负载传感器240与弹簧内置吸嘴的吸附管68的前端接触时，负载传感器240的测定值急剧变大。此时的负载传感器240的测定值在大幅上升之后减小，收敛为大致固定的值。这是因为，由于向弹簧内置吸嘴的吸附管68施加弹力，因此在负载传感器240与吸附管68发生了碰撞时，较大的载荷作用于负载传感器240。这样的碰撞时的载荷与吸附管68实际后退之际产生的载荷相比大幅增大，因此包含于判定对象的测定值的情况不优选。鉴于这样的情况，在检查弹簧内置吸嘴的吸附管68的后退力时，从负载传感器240的测定值中提取将吸附管68向负载传感器240碰撞时的测定值排除之后的值。

详细而言，监控负载传感器240的测定值超过预先设定的设定值的时刻。该设定值设定成比为了使正常吸嘴的吸附管68向主体筒64内后退所需的载荷小的值。并且，在从负载传感器240的测定值超过设定值的时刻(t₁)起经过了预定时间T的时刻(t₂＝t₁+T)，开始测定值的提取。具体而言，持续预定时间地进行测定值的提取。并且，从提取出的载荷中除去最大载荷和最小载荷，运算平均值。另外，持续了预定时间的测定值的提取在吸附管68向主体筒64的内部后退第一设定量为止执行N次。即，运算N个提取出的载荷的平均值。并且，判定N个运算值中的最大的运算值是否超过容许值。判定的结果是，在最大的运算值超过容许值的情况下，判定为作为检查对象的弹簧内置吸嘴是不良吸嘴，在最大的运算值为容许值以下的情况下，判定为作为检查对象的弹簧内置吸嘴是正常吸嘴。这样，通过使用从负载传感器240的测定值中排除了吸附管68向负载传感器240碰撞时的测定值之后的值，能够适当地进行弹簧内置吸嘴的吸附管68的后退力的检查。

另一方面，使负载传感器240与无弹簧吸嘴的吸附管68的下端部抵接而使检查单元230向上方移动，由此吸附管68向主体筒64的内部后退第一设定量时的负载传感器240的测定值、即载荷的变化如图24所示。图中的实线所示的坐标图表示负载传感器240对于不良吸嘴的测定值的时间性变化，虚线所示的坐标图表示负载传感器240对于正常吸嘴的测定值的时间性变化。

从图可知，由于检查单元230向上方移动而负载传感器240与无弹簧吸嘴的吸附管68的前端接触时，负载传感器240的测定值急剧变大。但是，由于不向无弹簧吸嘴的吸附管68施加弹力，因此负载传感器240与吸附管68碰撞时的载荷和吸附管68后退时的载荷几乎相同。因此，在检查无弹簧吸嘴的吸附管68的后退力时，在负载传感器240的测定值超过了设定值的时刻，开始测定值的提取。另外，无弹簧吸嘴的测定值的提取手法与弹簧内置吸嘴的测定值的提取手法相同。并且，基于提取出的测定值，与弹簧内置吸嘴同样地运算N个载荷的平均值，判定N个运算值中的最大的运算值是否超过容许值。由此，即使在无弹簧吸嘴中，也能够适当地进行吸附管68的后退力的检查。

当上述的吸附管68的前端部检查和后退力检查的作业完成时，吸嘴货盘152通过第二货盘移动机构266的工作而收容于货盘载体180。另外，检查作业的结果与作为检查对象的吸嘴62的ID号相关联地存储。

(c)第二吸嘴检查装置对吸嘴的检查作业

在吸嘴62的检查作业中，在通过第二吸嘴检查装置138进行空气流量检查时，由于载体循环机构182的工作，如图19所示，收容预定吸嘴货盘152的货盘载体180移动到与第三货盘移动机构296对应的位置。在该预定吸嘴货盘152收容有作为检查对象的吸嘴62。

接下来，该货盘载体180所收容的吸嘴货盘152通过第三货盘移动机构296的工作而移动到第二检查位置。并且，检查头270的空气供给装置276通过头移动装置272而移动到作为检查对象的吸嘴62的上方。空气供给装置276通过接头升降机构282，使空气接头278下降，并与作为检查对象的吸嘴62的主体筒64连接。当空气接头278与主体筒64连接时，空气供给装置276向连接的主体筒64供给空气。并且，空气供给时的空气压由空气压传感器280测定，判断该空气压是否大于第一阈压。在向正常的吸嘴62供给空气时，空气在吸嘴62内穿过，因此由空气压传感器280测定的空气压比较低。另一方面，在向产生了堵塞等的吸嘴62供给空气时，空气在吸嘴62内难以穿过，因此由空气压传感器280测定的空气压比较高。因此，由空气压传感器280测定出的空气压比第一阈压大的吸嘴62被认定为不良吸嘴。

另外，在空气流量检查中，不仅进行不良吸嘴的认定，也进行成为不良吸嘴的可能性高的吸嘴62、即劣化进展的吸嘴(以下，有时简称为“劣化吸嘴”)的认定。详细而言，设定压力比第一阈压低的第二阈压。并且，判断由空气压传感器280测定的空气压是否大于第二阈压，将该空气压大于第二阈压的吸嘴62认定为劣化吸嘴。即，虽然并非不良吸嘴，但是在一定程度上空气难以穿过吸嘴62内的吸嘴62被认定为劣化吸嘴。

顺便提及，在空气流量检查时，从压缩器(图示省略)向空气供给装置276送出的空气向吸嘴62供给，但是根据压缩器的工作状况而由空气压传感器280测定的空气压发生变化。因此，在进行空气流量检查之前，向基准管174供给空气，基于此时由空气压传感器280测定的空气压，进行第一阈压及第二阈压的设定。

另外，在进行读码检查时，检查头270的相机274通过头移动装置272而移动到作为检查对象的吸嘴62的上方，设于作为检查对象的吸嘴62的凸缘部66的二维码74由相机274拍摄。由此，得到作为检查对象的吸嘴62的二维码74的拍摄数据，通常基于该拍摄数据，得到吸嘴62的ID号等固有信息。然而，当二维码74上附着污垢等时，有时基于拍摄数据得不到吸嘴62的固有信息。因此，优选将基于拍摄数据无法取得吸嘴62的固有信息的吸嘴62认定为不良吸嘴。

但是，虽然二维码74上未附着污垢等，但是在相机274等发生异常的情况下，基于拍摄数据也可能无法取得吸嘴62的固有信息。因此，在基于拍摄数据无法取得吸嘴62的固有信息的情况下，进行相机274等的检验。

详细而言，通过相机274拍摄设于基准吸嘴172的凸缘部66的二维码74，基于该拍摄数据，判定是否取得基准吸嘴172的固有信息。只要基准吸嘴172的二维码74上未附着污垢等且相机274等未发生异常，则基于基准吸嘴172的二维码74的拍摄数据就能取得基准吸嘴172的固有信息。因此，在基于作为检查对象的吸嘴62的二维码74的拍摄数据无法取得固有信息、而且基于基准吸嘴172的二维码74的拍摄数据取得了固有信息的情况下，将作为检查对象的吸嘴62认定为不良吸嘴。另一方面，在基于作为检查对象的吸嘴62的二维码74的拍摄数据无法取得固有信息、而且基于基准吸嘴172的二维码74的拍摄数据无法取得固有信息的情况下，看作相机274等发生异常，不将作为检查对象的吸嘴62认定为不良吸嘴。

(d)吸嘴的清洗·干燥作业

在吸嘴62的清洗·干燥作业时，通过载体循环机构182的工作，如图20及图21所示，收容预定吸嘴货盘152的货盘载体180移动到与第四货盘移动机构330对应的位置。在该预定吸嘴货盘152收容有作为清洗对象的吸嘴62。

接下来，该货盘载体180所收容的吸嘴货盘152通过第四货盘移动机构330的工作而移动到清洗位置。并且，向上部清洗单元306和下部清洗单元308各自的喷嘴312供给高压水，该高压水从喷嘴312的喷射孔316朝着吸嘴货盘152吹附。此时，喷嘴312通过喷嘴移动机构314而沿着前后方向、即沿着与吸嘴货盘152所收纳的吸嘴62的轴线相交的方向移动。由此，向吸嘴货盘152所收容的全部吸嘴62吹附高压水，进行吸嘴62的清洗。

但是，在吸嘴62的吸附管68的前端部附着有焊料等粘性流体的情况下，仅仅是朝着吸附管68喷出高压水的话，可能无法将粘性流体等附着物从吸附管68除去。尤其是在吸附管68的直径随着朝着前端部而增大的吸嘴62中，难以将粘性流体等附着物从吸附管68除去。详细而言，在吸附管68的直径随着朝着前端部而增大的吸嘴62中，如图25所示，若高压水从下部清洗单元308的喷嘴312朝着吸嘴货盘152所收纳的吸嘴62的吸附管68吹附，则高压水直接喷到吸附管68的下端面。因此，在吸附管68的下端面附着的附着物360通过高压水容易除去。然而，高压水未直接喷到吸附管68的前端部的外侧的侧面的附着物360。这是因为，由于吸附管68的直径随着朝着前端部而变大，因此吸附管68的下端面与外侧的侧面所成的角度为锐角，从下方喷射的高压水无法到达吸附管68的前端部的外侧的侧面。因此，仅仅是将高压水朝着吸附管68喷出的话，可能无法适当地除去吸附管68的外侧的侧面的附着物360。

鉴于这样的情况，如图26所示，在吸嘴货盘152的下表面固定有吸嘴62的吸附管清洗用的套筒370。详细而言，套筒370大致为长方体形状，在套筒370上形成有沿上下方向贯通的贯通孔371。贯通孔371的内径大于吸嘴62的吸附管68的外径，以将吸附管68的前端部插入到贯通孔371内的方式将套筒370固定于吸嘴货盘152的下表面。贯通孔371的内周面由第一内周面372和第二内周面374构成。第一内周面372是内径在上下方向上不变化的内周面，位于贯通孔371的内周面的下方侧。另一方面，第二内周面374是随着朝着上方而内径变小的锥状的内周面，从第一内周面372的上端连续。另外，第二内周面374位于插入到贯通孔371内的吸附管68的前端的侧方。而且，在第二内周面374的上方形成有沿着套筒370的外壁面延伸的排水路376。

当从下部清洗单元308的喷嘴312朝着这样的结构的插入到套筒370的贯通孔371内的吸附管68喷射高压水时，如图27所示，从喷嘴312喷出的高压水当然直接喷到吸附管68的下端面。而且，从喷嘴312喷出的高压水与第二内周面374碰撞，喷到吸嘴62的外侧的侧面。即，从喷嘴312喷出的高压水的喷出方向由第二内周面374变更，高压水喷到吸嘴62的外侧的侧面。由此，不仅是吸附管68的下端面，也能够适当地除去附着于外侧的侧面的附着物360。另外，朝着套筒370的贯通孔371内喷射的高压水对吸附管68进行清洗之后，经由排水路376从套筒370的外壁面排出。

另外，在吸嘴62的清洗时，如上所述，喷嘴312通过喷嘴移动机构314而沿前后方向移动。由此，能够使高压水喷到吸附管68的前端部的整个区域，能够从吸附管68的前端部可靠地除去附着物360。详细而言，喷嘴312的多个喷射孔316呈直线状地配置，从这多个喷射孔316呈面状地喷射高压水。并且，喷嘴312通过喷嘴移动机构314而移动，以使呈面状地喷射的高压水沿径向纵穿套筒370的贯通孔371。在呈面状地喷射的高压水沿径向纵穿套筒370的贯通孔371时，高压水喷到套筒370或吸嘴62的吸附管68的部位变化的情况如图28～图31所示。另外，图28～图31是以从下方观察的视点表示吸附管68插入到贯通孔371内的状态的套筒370的图。而且，图中的实线所示的附图标记377是表示从喷嘴312喷出的高压水直接喷到套筒370或吸附管68的部位的附图标记，虚线所示的附图标记378是表示由第二内周面374变更了喷出方向的高压水、即由第二内周面374反射后的高压水喷到吸附管68的部位的附图标记。

首先，在高压水朝着贯通孔371的径向上的一端部喷射时，如图28所示，由第二内周面374反射后的高压水喷到吸附管68的径向上的一端部侧的外侧的侧面。并且，当喷嘴312朝着贯通孔371的径向上的另一端部移动时，如图29所示，由第二内周面374反射后的高压水喷到吸附管68的与图28不同的部位的外侧的侧面。此外，当喷嘴312朝着贯通孔371的径向上的另一端部移动时，如图30所示，由第二内周面374反射后的高压水喷到吸附管68的与图29不同的部位的外侧的侧面。而且，从喷嘴312喷射出的高压水喷到吸附管68的下端面。此外，当喷嘴312朝着贯通孔371的径向上的另一端部移动时，如图31所示，由第二内周面374反射后的高压水喷到吸附管68的与图30不同的部位的外侧的侧面。而且，从喷嘴312喷射出的高压水喷到吸附管68的与图30不同的部位的下端面。这样，使喷嘴312移动，以使呈面状地喷射的高压水沿径向纵穿套筒370的贯通孔371，由此能够使高压水喷到吸附管68的下端面的整个区域及外侧的侧面的整个区域，能够从吸附管68的前端部可靠地除去附着物360。

接下来，当吸嘴62的清洗结束时，吸嘴货盘152通过第四货盘移动机构330移动到吸嘴干燥机构304的配置位置(以下，有时简称为“干燥位置”)。并且，向送风管320供给热风，向吸嘴货盘152所收容的吸嘴62吹附热风。由此，进行通过高压水进行了清洗的吸嘴62的干燥。另外，热风的吹附对吸嘴62的干燥在壳体300内进行，壳体300的底面如上所述作为储存罐发挥功能，储存吸嘴清洗机构302所使用的清洗水。因此，通过热风的吹附，将储存于壳体300的底面的清洗水卷起，清洗水可能会再次附着于吸嘴62。然而，如上所述，在位于干燥位置的吸嘴货盘152与储存于壳体300的底面的清洗水之间配置有隔板348，从而防止清洗水的卷起。由此，能够防止吸嘴62干燥时的清洗水向吸嘴62再次附着。

并且，当吸嘴62的干燥作业结束时，吸嘴货盘152通过第四货盘移动机构330的工作而收容于货盘载体180。另外，关于清洗·干燥作业完毕的吸嘴62，将该吸嘴62的ID号与清洗·干燥作业结束的内容的信息相关联地存储。

(e)基于吸嘴管理装置的向吸嘴托盘的搭载作业

在吸嘴管理装置110所收纳的吸嘴62向吸嘴托盘88的搭载作业时，如图15所示，作业者将能够搭载吸嘴62的吸嘴托盘88安设于固定台210或可动台212。或者，能够搭载吸嘴62的吸嘴托盘88通过台移动机构214的工作而安设于可动台212。而且，在吸嘴管理装置110中，通过载体循环机构182的工作，收容预定吸嘴货盘152的货盘载体180移动到与第一货盘移动机构218对应的位置。在该预定吸嘴货盘152收容有预定向吸嘴托盘88搭载的吸嘴62。

接下来，该货盘载体180所收容的吸嘴货盘152通过第一货盘移动机构218的工作而移动到吸嘴移载位置。并且，搭载于吸嘴货盘152的吸嘴62通过吸嘴移载装置134向吸嘴托盘88移载。另外，搭载于吸嘴货盘152的吸嘴62向吸嘴托盘88的移载作业与搭载于吸嘴托盘88的吸嘴62向吸嘴货盘152的移载作业相同。但是，在搭载于吸嘴货盘152的吸嘴62向吸嘴托盘88移载之前，吸嘴62由吹风装置227进行干燥。

详细而言，如上所述，吸嘴62通过吸嘴清洗装置140以收纳于吸嘴货盘152的状态被清洗，在清洗后进行干燥，但是通过吸嘴货盘152的结构，在吸嘴清洗装置140中，可能无法对吸嘴62可靠地进行干燥。具体而言，在吸嘴货盘152所收纳的吸嘴62中，如图13及图14所示，凸缘部66由底板154和罩板156夹持。另一方面，主体筒64、吸附管68从吸嘴货盘152突出。因此，当吸嘴62以收纳于吸嘴货盘152的状态被清洗时，清洗水浸入到底板154与罩板156之间，清洗水附着于凸缘部66。并且，在吸嘴清洗装置140中，在清洗吸嘴62后，吸嘴62以收纳于吸嘴货盘152的状态通过热风的吹附进行干燥，但是进入到底板154与罩板156之间的清洗水未被吹跑。因此，清洗水可能会附着于吸嘴62的凸缘部66。另一方面，附着于主体筒64和吸附管68的清洗水通过热风的吹附而被吹跑，主体筒64和吸附管68被干燥。

鉴于这样的情况，在吸嘴62从吸嘴货盘152向吸嘴托盘88移载的情况下，当作为移载对象的吸嘴62保持于保持卡盘209时，移载头206通过头移动装置207的工作而移动到吹风装置227的上方。另外，保持卡盘209对吸嘴62的主体筒64的上部进行保持，但是主体筒64的上部如上所述被干燥，因此保持卡盘209能够对吸嘴62的干燥过的部位进行保持，能够确保对吸嘴62适当地进行保持。

当移载头206移动到吹风装置227的上方时，头移动装置207使移载头206下降，如图17所示，将由保持卡盘209保持的吸嘴62插入到吹风装置227的主体部228内部。此时，移载头206下降，以使喷气孔229位于吸嘴62的凸缘部66的侧方。并且，吹风装置227通过空气喷出装置的工作而从喷气孔229喷出空气。当从喷气孔229喷出空气时，保持卡盘209通过自转机构的工作，以保持有吸嘴62的状态自转，向吸嘴62的凸缘部66的整周喷出空气。由此，附着于凸缘部66的清洗水被吹跑，凸缘部66被适当地干燥。并且，当凸缘部66的干燥结束时，移载头206通过头移动装置207的工作而移动到吸嘴托盘88的上方，所保持的吸嘴62收纳于吸嘴托盘88的载置孔96。这样，在吸嘴管理装置110中，将可靠地干燥的吸嘴62收纳于吸嘴托盘88。另外，吸嘴62向吸嘴托盘88的移载结束的吸嘴货盘152通过第一货盘移动机构218的工作而收容于货盘载体180。

(f)不良吸嘴的废弃作业

在不良吸嘴的废弃作业时，如图15所示，通过载体循环机构182的工作，收容预定吸嘴货盘152的货盘载体180移动到与第一货盘移动机构218对应的位置。该预定吸嘴货盘152收容有不良吸嘴。接下来，该货盘载体180所收容的吸嘴货盘152通过第一货盘移动机构218的工作而移动到吸嘴移载位置。并且，搭载于吸嘴货盘152的不良吸嘴通过吸嘴移载装置134而被投入到废弃箱222内。另外，搭载于吸嘴货盘152的不良吸嘴向废弃箱222的废弃作业与搭载于吸嘴托盘88的吸嘴62向吸嘴货盘152的移载作业大致相同。但是，不良吸嘴以尽可能地避免破损的方式被投入到废弃箱222内。

详细而言，在不良吸嘴之中，存在通过修补等能够复原成正常吸嘴的不良吸嘴。因此，在将不良吸嘴投入到废弃箱222内之际，若杂乱地投入，则由于吸嘴彼此的碰撞、吸嘴向废弃箱222内投入时的冲击等，不良吸嘴可能会成为无法修补的状态。鉴于这样的情况，在将不良吸嘴投入到废弃箱222内时，由保持卡盘209把持的不良吸嘴在废弃箱222的第一倾斜部224的上方脱离。

具体而言，当作为废弃对象的不良吸嘴由保持卡盘209保持时，移载头206通过头移动装置207的工作，如图16所示，移动到废弃箱222的第一倾斜部224的上方。并且，在该位置处，解除保持卡盘209对不良吸嘴的把持。即，不良吸嘴在第一倾斜部224的上方脱离。由此，不良吸嘴向第一倾斜部224落下。如上所述，第一倾斜部224是倾斜面，因此落下到第一倾斜部224的不良吸嘴向平面部225滚落。并且，不良吸嘴留在平面部225。而且，即使在不良吸嘴在第一倾斜部224上猛力地滚落而纵穿平面部225的情况下，不良吸嘴也会滚动至第二倾斜部226而再次返回到平面部225。这样，投入到废弃箱222内的不良吸嘴留在平面部225。

因此，由于不良吸嘴在第一倾斜部224的上方脱离，因此即使在不良吸嘴依次被投入到废弃箱222内的情况下，也能够防止落下的不良吸嘴与废弃箱222内的不良吸嘴猛力地碰撞。由此，能够适当地防止由吸嘴彼此的碰撞引起的吸嘴的破损。而且，第一倾斜部224、平面部225、第二倾斜部226由缓冲材料成形，因此在不良吸嘴落下时，不良吸嘴在第一倾斜部224上滚落时等的冲击比较小，因此能够适当地防止不良吸嘴的破损。

顺便提及，在上述实施例中，吸嘴62是吸嘴的一例。主体筒64是筒的一例。吸管68是吸管的一例。头移动装置207是移动装置的一例。保持夹盘209是保持件的一例。废弃箱222是回收箱的一例。第一倾斜部224是倾斜面的一例。平面部225是平面的一例。负载传感器240是载荷传感器的一例。按压配件242是刚体的一例。

另外，本发明没有限定为上述实施例，能够以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更、改良的各种形态实施。具体而言，例如，在上述实施例中，在测定吸管68的后退力时，载置有负载传感器240、按压配件242等的检查单元230向上方移动来使吸嘴62的主体筒64与吸管68相对移动，但也可以使吸嘴62向下方移动来使主体筒64与吸管68相对移动。

具体而言，如图32所示，通过检查头380的保持夹盘382把持吸嘴62。检查头380通过移动装置386的工作能够移动到XYZ方向的任意位置，使保持有吸嘴62的检查头380在移动到按压配件242的上方之后下降，由此检查主体筒64与吸管68的相对移动的状态。而且，主体筒64与吸管68相对移动了第一设定量的吸嘴62由检查头380保持，使该检查头380在移动到负载传感器240的上方之后下降，由此测定吸管68的后退力。这样，能够使吸嘴向下方移动来测定吸管68的后退力。

另外，在上述实施例的吸嘴62中，在主体筒64的内部配置有吸管68。即，主体筒64作为吸管68的外筒发挥功能，但也可以在吸管68的内部配置主体筒64，使主体筒64作为吸管68的内筒发挥功能。

另外，在上述实施例中，在进行吸管68的后退力检查时，监控负载传感器240的测定值即载荷超过设定值的时刻，但也可以监控以负载传感器240的测定值为指标的指标值、例如电流、电压等超过设定值的时刻。

以下，对本发明的各种形态进行列记。

(0)一种载荷测定方法，测定吸嘴的吸管与筒在相对移动时产生的载荷，上述吸嘴具备：上述吸管，用于通过空气的吸引来吸附保持元件；及上述筒，在使上述吸管的前端部突出的状态下在内部保持上述吸管，上述吸管与上述筒能够相对移动预定量。

本项记载的形态是列举了本发明的基本的结构的形态。

(1)根据(0)项记载的载荷测定方法，其特征在于，上述载荷测定方法包括以下工序：移动工序，在使上述吸管的前端部与刚体接触的状态下，以预先设定的设定载荷使上述吸嘴与上述刚体向接近的方向移动；及载荷测定工序，以在上述移动工序中上述吸管与上述筒相对移动了上述预定量为条件，在使上述吸管的前端部与载荷传感器相向的状态下，在使上述吸嘴与上述载荷传感器向接近的方向移动的情况下，通过上述载荷传感器测定在上述吸管的前端部与上述载荷传感器相接触时的上述吸管与上述筒相对移动时产生的载荷。

根据本项记载的形态，能够对吸管与筒能够相对移动设定量的吸嘴使用载荷传感器测定载荷，能够防止向载荷传感器作用较大的载荷的负载。

(2)根据(1)项记载的载荷测定方法，其特征在于，上述设定载荷小于在使上述吸管的前端部与上述刚体接触的状态下使上述吸嘴与上述刚体向接近的方向移动时上述吸嘴发生破损的载荷。

根据本项记载的形态，在使用刚体来检查吸管与筒相对移动时的相对移动量时，能够防止吸嘴的破损。

(3)根据(1)项或(2)项记载的载荷测定方法，其特征在于，上述载荷测定工序中，在使上述吸管的前端部与上述载荷传感器相向的状态下，在使上述吸嘴向接近上述载荷传感器的方向移动的情况下，通过上述载荷传感器测定在上述吸管的前端部与上述载荷传感器相接触时的上述吸管与上述筒相对移动时产生的载荷。

根据本项记载的形态，即使保持吸嘴的保持头等的重量大，也能够适当地测定在吸管与筒相对移动时产生的载荷。

(4)根据(0)项～(3)项中任一项记载的载荷测定方法，其特征在于，上述载荷测定方法包括以下工序：载荷测定工序，在使上述吸管的前端部与载荷传感器相向的状态下，在使上述吸嘴与上述载荷传感器向接近的方向移动的情况下，通过上述载荷传感器测定在上述吸管的前端部与上述载荷传感器相接触时的上述吸管与上述筒相对移动时产生的载荷；第一载荷提取工序，在上述吸嘴具备对上述吸管与上述筒的相对移动施加弹力的弹性体的情况下，提取从以上述载荷测定工序中测定出的载荷为指标的指标值超过阈值起经过了预先设定的设定时间之后的、由上述载荷传感器测定出的载荷；及第二载荷提取工序，在上述吸嘴不具备上述弹性体的情况下，提取以上述载荷测定工序中测定出的载荷为指标的指标值超过了阈值之后的、由上述载荷传感器测定出的载荷。

在本项记载的形态中，在弹簧内置吸嘴的吸管与载荷传感器接触时，产生较大的载荷，因此在对弹簧内置吸嘴测定载荷时，在以测定出的载荷为指标的指标值超过阈值起经过了预先设定的设定时间之后，提取由载荷传感器测定出的载荷。另一方面，无弹簧吸嘴的吸管与载荷传感器接触时产生的载荷和吸管与筒相对移动时产生的载荷几乎相同，因此在对无弹簧吸嘴测定载荷时，在以测定出的载荷为指标的指标值超过了阈值之后，提取由载荷传感器测定出的载荷。由此，在弹簧内置吸嘴和无弹簧吸嘴中能够分别适当地测定吸管与筒相对移动时产生的载荷。

(5)一种回收方法，回收基于在(4)项记载的上述第一载荷提取工序或上述第二载荷提取工序中提取的载荷而判定为不正常的上述吸嘴，上述回收方法的特征在于，上述回收方法包括以下工序：保持工序，通过保持件保持上述第一载荷提取工序或上述第二载荷提取工序中提取的载荷超过了预先设定的容许载荷的上述吸嘴；移动工序，通过移动装置使在上述保持工序中保持有上述吸嘴的上述保持件移动到回收箱的倾斜面的上方，上述回收箱具有由上述倾斜面和与上述倾斜面的下方侧的端部连续且无倾斜的平面构成的底面；及脱离工序，在上述移动工序中上述保持件移动到上述倾斜面的上方之后，上述保持件使上述吸嘴脱离。

在本项记载的形态中，用于回收吸嘴的回收箱的底面由倾斜面和与该倾斜面的下方侧的端部连续且无倾斜的平面构成。并且，在判定为不正常的吸嘴向回收箱投入时，在倾斜面的上方，保持件使吸嘴脱离。该吸嘴向倾斜面落下，滚落至平面而留在平面。因此，由于吸嘴在倾斜面的上方脱离，因此即使在吸嘴依次被投入到回收箱的情况下，也能够防止落下的吸嘴与废弃箱内的吸嘴猛力地碰撞。由此，能够适当地防止由吸嘴彼此的碰撞引起的吸嘴的破损。

(6)根据(5)项记载的回收方法，其特征在于，上述倾斜面的表面由缓冲剂成形。

根据本项记载的形态，能够减小吸嘴落下时的冲击，能够防止吸嘴的破损。

(7)根据(5)项或(6)项记载的回收方法，其特征在于，上述平面的表面由缓冲剂成形。

根据本项记载的形态，能够减小吸嘴滚落于平面时的冲击，能够防止吸嘴的破损。

(8)一种回收箱，用于回收吸嘴，上述回收箱的特征在于，上述回收箱具有由倾斜面和与上述倾斜面的下方侧的端部连续且无倾斜的平面构成的底面。

根据本项记载的形态，能够得到与(5)项记载的形态同样的效果。

(9)根据(8)项记载的回收箱，其特征在于，上述倾斜面的表面由缓冲剂成形。

根据本项记载的形态，能够得到与(6)项记载的形态同样的效果。

(10)根据(8)项或(9)项记载的回收箱，其特征在于，上述平面的表面由缓冲剂成形。

根据本项记载的形态，能够得到与(7)项记载的形态同样的效果。

附图标记说明

62：吸嘴 88：吸嘴托盘(载置台) 140：吸嘴清洗装置 152：吸嘴货盘(吸嘴支撑件) 154：底板(支撑板) 156：罩板 207：头移动装置(移动装置) 209：保持卡盘(保持件) 227：吹风装置(吸嘴干燥装置) 228：主体部 229：喷气孔 300：壳体(清洗箱) 312：喷嘴(喷水器) 314：喷嘴移动机构(喷水器移动装置)320：送风管(喷气器) 340：排水路 342：过滤器(过滤装置) 344：加压泵(泵) 348：分隔板 370：套筒(喷出方向变更机构) (突出部) 374：第二内周面(锥面) 376：排水路