位置修正装置、及具备其的电子零件搬送装置的制作方法

本发明涉及一种进行电子零件的位置修正的位置修正装置；以及一边搬送电子零件，一边进行各种处理，并为了进行各种处理而对电子零件进行位置修正的电子零件搬送装置。

背景技术：

电子零件为电气制品中所使用的零件，且为半导体元件等经封装而成，作为半导体元件，可列举晶体管、二极管、电容、或电阻等离散半导体或集成电路等。该电子零件经过组装及检查等各种处理而完成。在为半导体元件的情况下，在组装等前工序与检查等后工序中，历经切割、封固、接合、及密封、打标处理、外观检查、电特性检查、分类、及安装等。在电特性检查时，使检查装置侧的端子与电子零件的电极接触，并流通电流、施加电压、或输入信号，从而测定作为其结果的输出。

为了获得为良品的电子零件，至少需要良好的组装及检查等。因此，重要的是在各种处理时电子零件的定位。例如，若因电子零件自正规位置偏离而引起电极与端子的接触不良，则无法实现高精度的电特性检查。然而，电子零件是例如通过利用振动来使电子零件排列为固定方向及姿势的振动式零件供给机方式而供给至搬送路径，一边由吸附喷嘴吸引而沿着搬送路径前进一边接受各种处理，或者一边由输送机传送一边接受各种处理，因此未必会以与正规位置相吻合的姿势受到搬送，而且无法始终维持与正规位置相吻合的姿势。

因此，多数情况下在即将进行各种处理前利用位置修正装置对电子零件的位置进行修正。对于位置修正装置而言，迄今为止存在赶入方式与推落方式。赶入方式中，将电子零件载置在用以进行位置修正的载台上，利用自四方延伸的引导部使电子零件靠近载台中心(参照专利文献1)。采用该赶入方式的位置修正装置具有作为动力源的马达、以及将马达的旋转变换为直线运动的凸轮机构，且各引导部与凸轮从动件连结。另外，推落方式中，将电子零件嵌入具有方形凹部的孔中，由此利用孔的内壁以选取与正规位置相吻合的姿势的方式对电子零件进行引导(参照专利文献2)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2009-26936号公报

[专利文献2]日本专利特开2005-203711号公报

技术实现要素：

[发明所要解决的课题]

近年来，电气制品的需求在全世界范围内增大，从而要求电子零件的生产速度的进一步提升。对于组装工序或检查工序中所进行的电子零件的位置修正的处理也不例外，期望位置修正所需时间的进一步缩短。

采用赶入方式的位置修正装置在马达与引导部之间具有凸轮机构等各种传递机构。各传递机构通过一构件的物理动作对其他构件的物理动作造成影响来达成力的传递。因此，为了使各构件不被固定而能够进行动作，需要游隙等某种程度的不稳定性。该不稳定性会使传递机构的响应性产生极限，即便欲以超出响应性的速度来运行，其他构件也无法追随一构件的动作，从而导致动力无法正确传递。因而，在采用赶入方式的位置修正装置中，对于作为动力源的马达的旋转速度有所限制，从而电子零件的位置修正所需时间的缩短存在极限。

在采用推落方式的位置修正装置中，若提高将电子零件插入具有方形凹部的孔中的速度，则能够缩短位置修正所需的时间。然而，由于电子零件是一边擦过方形凹部一边修正位置，因此若提高插入速度则容易使电子零件受到损伤。为了不受损伤地执行位置修正，而不得不限制插入速度，从而对于采用推落方式的位置修正装置而言，位置修正所需时间的缩短也存在极限。

本发明是为了解决如上所述的问题点而提出者，目的在于提供一种可不使电子零件所受的物理应力增加，而缩短电子零件的位置修正所需时间的位置修正装置、及具备其的电子零件搬送装置。

[解决课题的手段]

本发明的位置修正装置为电子零件的位置修正装置，其特征在于具备：马达，使旋转轴旋转；基座，由所述旋转轴支撑，并利用所述马达而旋转；以及孔部，形成在所述基座上，较所述电子零件更大，收纳电子零件，所述孔部形成在偏离所述旋转轴的位置，利用所述马达而进行移动，并利用该孔部的边缘将内部的所述电子零件引导至既定位置。

可设为，所述马达使旋转轴顺时针及逆时针旋转，所述基座顺时针及逆时针旋转，所述孔部利用所述马达而摇动。

可设为，所述孔部的对所述电子零件的相向两边进行引导的两边缘较该相向两边所成的角度而言张开既定角度，对所述电子零件的其中一个相向边进行引导的其中一个边缘通过利用所述马达的顺时针旋转，而与划分正规位置的所述电子零件所占的区域的一边一致，对所述电子零件的另一相向边进行引导的另一边缘通过利用所述马达的逆时针旋转，而和正规位置的所述电子零件所占的区域的与所述一边的相向边一致。

也可设为，所述孔部贯穿所述基座而形成，所述位置修正装置进而具备载台，所述载台位于所述基座的下层而形成所述孔部的底面，并且位置固定。

也可设为，所述孔部的边缘与底面为一体，且通过旋转移动使所述电子零件因惯性而在所述底面滑动并与所述边缘抵接。

也可设为，所述孔部具有角、及两个边缘，所述边缘抵接于所述电子零件的边，并且与所述角相接，所述角处具有将所述孔部扩张而成的异物积存部。

另外，本发明的电子零件搬送装置为一边搬送电子零件一边进行工序处理的电子零件搬送装置，其特征在于具备：所述电子零件的搬送路径；保持部件，保持所述电子零件并沿所述搬送路径间歇移动；各种处理单元，配置在所述搬送路径上的一地点，对所述电子零件进行各种处理；以及位置修正单元，配置在所述搬送路径上的一地点，为了所述处理单元而进行所述电子零件的位置修正，所述位置修正单元包括：马达，使旋转轴旋转；基座，由所述旋转轴支撑，利用所述马达而进行旋转；以及孔部，形成在所述基座上，较所述电子零件更大，收纳电子零件，所述孔部形成在所述搬送路径正下方且偏离所述旋转轴的位置，利用所述保持部件将所述电子零件插入内部，并利用所述马达而进行移动，从而利用该孔部的边缘将内部的所述电子零件引导至既定位置。

也可设为，所述保持部件在使所述电子零件自所述孔部的底面浮起的状态下维持保持，所述孔部通过利用该孔部的边缘使所述电子零件相对于所述保持部件产生位移，而将所述电子零件引导至所述既定位置。

[发明的效果]

根据本发明，在电子零件的位置修正时，只要使孔部摇动即可，故可减少用以传递马达的旋转、或变换力的方向的传递机构的个数，因此孔部进行摇动动作的响应性非常高，从而可缩短位置修正所需的时间。

附图说明

图1是第1实施方式的定位装置的立体图。

图2是自开口侧观察第1实施方式的孔部的平面图。

图3是表示第1实施方式的孔部的第1次动作过程的平面图。

图4是表示第1实施方式的孔部的第2次动作过程的平面图。

图5是表示第1实施方式的孔部的第3次动作过程的平面图。

图6是表示第1实施方式的孔部的第4次动作过程的平面图。

图7是第1实施方式的电子零件搬送装置的俯视图。

图8是第1实施方式的电子零件搬送装置的侧视图。

图9是表示第2实施方式的电子零件搬送装置中将电子零件插入孔部时的状态的剖面图。

图10是表示第2实施方式的电子零件搬送装置中孔部对电子零件进行引导的形态的剖面图。

图11是第3实施方式的定位装置的孔部附近的剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的位置修正装置及具备其的电子零件搬送装置的第1实施方式至第3实施方式进行详细说明。

(第1实施方式)

(位置修正装置)

如图1所示，第1实施方式的位置修正装置1将由保持部22保持而沿着搬送路径21前进的电子零件4修正为正确的姿势。正确的姿势是为了在搬送路径21中执行各处理时，将电子零件4以正确的位置及朝向放置在处理台上而预先选取的与保持部22的位置关系。保持部22与处理台预先进行了定位，位置修正装置1使电子零件4的中心与保持部22的中心相符，并将电子零件4的朝向修正为规定方向。由此，保持部22将电子零件4搬运至处理台后，电子零件4以正确的位置及朝向载置在处理台上。

电子零件4具有0402尺寸(0.4mm×0.2mm)或0603尺寸(0.6mm×0.3mm)等四个拐角为直角的正方形或长方形。保持部22是保持电子零件4并沿搬送路径21移动的单元，例如为吸附喷嘴、静电夹盘、伯努利夹盘或机械夹盘，利用吸引力、静电力或物理卡合来保持电子零件4，并接受其他装置带来的外力而沿搬送路径21移动。

位置修正装置1在搬送路径21的正下方具备孔部11，自保持部22暂时接收电子零件4而收容于孔部11。孔部11具有朝向正上方的搬送路径21的开口，较电子零件4而以更大的面积扩展，且具有底。该孔部11收容电子零件4，并沿与深度正交的水平方向移动。

电子零件4在摇动的孔部11内依照惯性定律滑动，受到孔部11的边缘引导而靠近电子零件4的正规位置12(参照图2)。正规位置12是将采取正确姿势的电子零件4朝向孔部11投影的区域，与电子零件4相对应而为四个拐角为直角且相向边平行的矩形。孔部11的与电子零件4抵接的各边缘摇动，结果以个别地沿正规位置12的对应边的方式调整设置部位、形状及移动范围。因此，在利用边缘的引导过程中，电子零件4被修正至正规位置12。在使电子零件4靠近的过程中，电子零件4的边沿孔部11的边缘而切合，从而电子零件4的朝向也得到矫正。

该位置修正装置1具备：圆筒状的基座14，使平面朝向搬送路径21；以及马达15，使该基座14旋转。基座14使平面正交地支撑于马达15的旋转轴16。孔部11形成在基座14的平面，且使开口朝向搬送路径21侧。孔部11可通过将直立于基座14的平面上的四个挡块13以包围一区域的方式装配，而以挡块13所围成的空间的形式形成，也可凹设在基座14的平面。

如图2所示，孔部11形成在偏离旋转轴16的位置。马达15使基座14移动。因此，孔部11也以旋转轴16为中心而移动。孔部11包含电子零件4的正规位置12的区域，以即便摇动也一直完全包含正规位置12的方式将各处扩大。

电子零件4存在自正规位置12朝旋转轴16的顺时针方向发生位置偏移的可能性，也存在朝逆时针方向发生位置偏移的可能性。若马达15使基座14朝逆时针方向旋转，则孔部11逆时针旋转移动，从而使朝顺时针方向发生位置偏移的电子零件4与正规位置12一致。若马达15使基座14朝顺时针方向旋转，则孔部11顺时针旋转移动，从而使朝逆时针方向发生位置偏移的电子零件4与正规位置12一致。

关于位置修正装置1，在能够预先识别电子零件4朝顺时针方向或逆时针方向的一者发生位置偏移的情况下，只要使孔部11朝电子零件4的位置偏移方向的相反侧旋转移动即可。例如，位置修正装置1具备能够检测电子零件4的位置偏移的相机等，使孔部11朝电子零件4的位置偏移方向的相反侧旋转移动。

另外，也可通过马达15使基座14顺时针及逆时针旋转，而使孔部11往返摇动。可不检测电子零件4的位置偏移方向地使电子零件4与正规位置12一致。

该孔部11至少具有与电子零件4的四方各边相对应的四个边缘11a、边缘11b、边缘11c及边缘11d。边缘11a及边缘11b一组与边缘11c及边缘11d一组隔着正规位置12而面对面。其他的边缘以不妨碍电子零件4的程度后退至远离正规位置12的位置。即，孔部11具有四边形以上的多边形形状。四个边缘以外也可具备弯曲部分。

首先，孔部11具有与一部位的角11e相接的第1边缘11a与第2边缘11b。另外，孔部11具有与自角11e通过孔部11的中心而位于对角的另一部位的角11f相接的第3边缘11c与第4边缘11d。角11e、角11f为直角。第1边缘11a与第3边缘11c朝远离旋转轴16的方向较平行而言张开既定角度α。另外，第2边缘11b与第4边缘11d也较平行而言张开既定角度α。

孔部11是以如下方式调整朝向及大小：若逆时针回旋，则第1边缘11a与正规位置12的一边ab一致，若顺时针回旋，则第3边缘11c与和正规位置12的一边ab相向的边cd一致。换言之，孔部11是以如下方式调整朝向及大小：若逆时针回旋，则第2边缘11b与正规位置12的边ad一致，若顺时针回旋，则第4边缘11d与正规位置12的边bc一致。

另外，该孔部11具备与电子零件4抵接的边缘的拐角，例如在第1边缘11a与第2边缘11b对接而成的角11e中具备异物积存部11g。异物积存部11g是捕获灰尘或尘埃等与电子零件4不同的异物的空间，以扩大孔部11的方式将与电子零件4抵接的边缘的拐角加以扩张而形成。该异物积存部11g可形成在第1边缘11a与第2边缘11b对接的角11e、第3边缘11c与第4边缘11d对接的角11f、或其两者中。

基于图3至图6对这种位置修正装置1的具体的动作进行说明。如图3所示，关于孔部11，将第1边缘11a自正规位置12的一边ab顺时针回旋角度β时的位置设为初始状态。角度β＜角度α。预先回旋角度β是为了能够将发生位置偏移的电子零件4不与孔部11的边缘碰撞地进行收纳。该初始状态下，孔部11的各边缘11a、边缘11b、边缘11c及边缘11d远离正规位置12。因此，电子零件4可不与孔部11的边缘接触地进入孔部11内。

其次，如图4所示，马达15使孔部11自孔部11的初始状态，逆时针回旋第1边缘11a与正规位置12的一边ab一致的角度β。此时，在电子零件4朝顺时针方向偏离正规位置12的情况下，电子零件4在孔部11内滑动，抵接于逼近的第1边缘11a与第2边缘11b，并由进而回旋的第1边缘11a与第2边缘11b推挤至正规位置12。

进而，如图5所示，马达15以第3边缘11c与正规位置12的相向边cd一致的方式，使孔部11顺时针回旋第1边缘11a与第3边缘11c的张开角度α。此时，在电子零件4朝逆时针方向偏离正规位置12的情况下，电子零件4在孔部11内滑动，抵接于逼近的第3边缘11c与第4边缘11d，并由进而回旋的第3边缘11c与第4边缘11d推挤至正规位置12。

而且，如图6所示，马达15以使孔部11恢复初始状态的方式，使孔部11逆时针旋转角度(α-β)，从而解除正规位置12的电子零件4与孔部11的第3边缘11c及第4边缘11d的关联。之后，电子零件4由保持部22再次保持，并自孔部11脱离。

在该一系列的驱动时，若孔部11中存在异物，则异物由第1边缘11a与第2边缘11b引导至异物积存部11g，并停留在异物积存部11g中。因此，异物自电子零件4的正规位置12被去除，从而抑制异物附着于接下来被收纳的电子零件4。

(电子零件搬送装置)

对具备这种位置修正装置1的电子零件搬送装置进行说明。图7是电子零件搬送装置的俯视图，图8是电子零件搬送装置的侧视图。

图7及图8所示的电子零件搬送装置2具备保持部22，并搬送电子零件4。该电子零件搬送装置2具有转台23、以及使该转台23间歇旋转的直接驱动马达24。保持部22沿转台23的外周在圆周等分位置安装有多个。搬送路径21通过该转台23的旋转而形成，换言之，是基于转台23的旋转的保持部22的移动轨迹。保持部22的配置间隔与转台23的1间距的旋转角度相等，所有的保持部22在各角度的同一停止位置依次停止。

保持部22具有相对于转台23的扩展平面而正交的轴，自转台23朝下方下垂。转台23在外缘具有轴承，保持部22能够上下移动地由该轴承支撑。保持部22例如为吸附喷嘴。吸附喷嘴是内部中空的管。管内部经由未图示的真空产生装置的气动回路与导管而连通。包含该吸附喷嘴的保持部22通过利用真空产生装置的负压的产生来吸附电子零件4，并通过真空破坏来使电子零件4脱离。

位置修正装置1以孔部11位于保持部22的停止位置的正下方的方式，设置在转台23的外缘正下方。在隔着搬送路径21而与孔部11为相反的一侧设置有进退驱动部25。进退驱动部25具备：杆25b，将保持部22朝下方推出；以及制动器25a，对该杆25b赋予推力。进退驱动部25使制动器25a运作而使杆25b朝向保持部22前进，由此使杆25b的前端与保持部22的后端抵接，通过进而使杆25b前进，而使保持部22朝向孔部11移动。再者，进退驱动部25进而具备对保持部22朝上方施力的压缩弹簧25c，若解除制动器25a对杆25b的推力赋予，则压缩弹簧25c将保持部22朝上方推回。

在转台23的周围，除了位置修正装置1以外，各种处理单元3配置在保持部22的停止位置。作为处理单元3，例如可列举：较位置修正装置1更靠搬送方向下游配置的测试单元、零件供给机、打标单元、外观检查单元、分类排序单元、卷带单元、不良品排除单元等。

测试单元具备用以朝电子零件4通电的接触子。在利用位置修正装置1适当修正了电子零件4与保持部22的位置关系的状态下，电子零件4的电极与接触子接触。该测试单元通过经由接触子对电子零件4流入电流、或施加电压，来测定电子零件4的电压、电流、电阻、或频率等电特性。

零件供给机是将电子零件4供给至电子零件搬送装置2的装置。该零件供给机例如将圆形的振动零件供给机与直线型的供给振动送料机加以组合，而将大量的电子零件4排列至转台23的外周端正下方的搬送路径21末端来连续地进行搬送。

打标单元面对电子零件4而具有激光照射用的透镜，对电子零件4照射激光而进行打标。对于利用位置修正装置1适当修正了与保持部22的位置关系的电子零件4，在正确的位置及范围内进行打标。外观检查单元具有相机，对电子零件4进行拍摄，根据图像检查电子零件4的电极形状、表面的缺陷、损伤、污渍、异物等的有无。分类排序单元根据电特性及外观检查的结果将电子零件4分类为不良品与良品，并根据其等级进行分类发射。卷带单元收纳被判定为良品的电子零件4。不良品排出单元将未经卷带捆包的电子零件4自电子零件搬送装置2排出。

该电子零件搬送装置2中，由保持部22保持自零件供给机供给的电子零件4，并经过各处理单元3而沿搬送路径21搬送电子零件4。保持着电子零件4的保持部22到达位置修正装置1的正上方而停止后，进退驱动部25将保持部22朝向位置修正装置1推出。保持部22利用进退驱动部25而朝向孔部11下降，并将电子零件4插入孔部11后，使电子零件4在孔部11内脱离。在保持部22为吸附喷嘴的情况下，通过真空破坏或大气破坏来解除吸引力后，电子零件4被载置在孔部11的底部。

将电子零件4收容至孔部11后，位置修正装置1通过使孔部11进行一往返摇动而进行使电子零件4与正规位置12相符的位置修正。位置修正完成后，保持部22保持孔部11内的电子零件4。在保持部22为吸附喷嘴的情况下，利用真空产生装置以吸附喷嘴的前端吸引电子零件4。进退驱动部25对于保持着电子零件4的保持部22，解除由杆25b带来的推进力，而使压缩弹簧25c的施加力发挥作用，由此使保持着经位置修正的电子零件4的保持部22上升。

经位置修正的电子零件4在经过位置修正装置1后，要经过测试单元、打标单元、外观检查单元、分类排序单元及卷带单元。此时，适当修正了与保持部22的位置关系的电子零件4与测试单元等处理单元3的位置关系也得到适当保持，从而进行具有可靠性的处理。

(作用效果)

如上所述，位置修正装置1具备：马达15，使旋转轴16顺时针及逆时针旋转；以及孔部11，形成在利用马达15而绕旋转轴16中心旋转的基座14上，较电子零件4更大，收纳电子零件4。孔部11形成在偏离旋转轴16的位置，利用马达而进行一往返摇动，从而利用该孔部11的边缘将内部的电子零件4引导至既定位置。

该位置修正装置1只要使孔部11进行一往返旋转移动便已足够，因此无需在形成有孔部11的基座14与马达15之间设置多个传递力、或变换力的方向的多段的传递机构。因此，孔部11进行摇动动作的响应性变得非常高，从而能够使孔部11高速地进行摇动动作。因而，根据该位置修正装置1，能够缩短位置修正所需的时间。

另外，孔部11设为：对电子零件4的相向两边进行引导的两边缘较该相向两边所成的角度而言张开既定角度。而且，对电子零件4的其中一个相向边进行引导的其中一个边缘通过利用马达15的顺时针旋转，而仿效划分正规位置12的所述电子零件4所占的区域的一边，另外，对电子零件4的另一对向边进行引导的另一边缘通过利用马达15的逆时针旋转，而仿效正规位置12的电子零件4所占的区域的与所述一边的相向边。由此，可精度良好地对电子零件4的位置及朝向进行位置修正。

另外，孔部11在抵接于电子零件4的边的两个边缘相接的角11e处具有将孔部11扩张而成的异物积存部11g。由此，孔部11内的异物被引导至异物积存部11g，从而可防止异物附着于电子零件4。

(第2实施方式)

(电子零件搬送装置)

参照附图对第2实施方式的电子零件搬送装置2进行详细说明。关于位置修正装置1及电子零件搬送装置2，对与第1实施形态相同的构成及相同的功能标注相同的符号，并省略详细的说明。

如图9所示，将利用进退驱动部25而解除了下降力的保持部22与孔部11的底面之间的距离设为D1，将电子零件4的厚度设为T1。进退驱动部25在将电子零件4收纳于孔部11时，使保持部22下降距离(D1-T1-D2)。若将孔部11的深度设为D3，则0＜D2≤D3，D2超过0且为孔部11的深度以内。

另外，保持部22在位置修正装置1对电子零件4进行位置修正时，一直保持着电子零件4。在保持部22为吸附喷嘴的情况下，保持部22维持吸引力。即，收纳于孔部11的电子零件4维持不接触孔部11的底面而在内部浮起至中间的状态。位置修正装置1在电子零件4在孔部11的内部浮起至中间的状态下，使孔部11进行一往返摇动，而进行电子零件4的位置修正。

如图10所示，孔部11通过使边缘碰触电子零件4，而朝与吸引力或静电力等保持力发挥作用的方向正交的水平方向赋予移动力。通过该移动力而使电子零件4相对于保持部22而水平地位移，从而使电子零件4以与正规位置12相符的方式移动。此处，将保持部22对电子零件4的保持力设为N，将在保持部22与电子零件4之间发挥作用的摩擦力设为μN，将孔部11的边缘对电子零件4赋予的移动力设为F。

此时，在使保持部22及孔部11回旋的马达15中，保持力N及移动力F为μN＜F，且调整为在位置修正时电子零件4不会自保持部22脱落的程度。保持力N也可包括沿搬送路径21的移动过程中在内设为固定，也可仅在位置修正时以成为μN＜F的方式加以变更。

如此，该电子零件搬送装置2中，保持部22在使电子零件4自孔部11的底面浮起的状态下维持保持。而且，孔部11通过利用该孔部11的边缘使电子零件4相对于保持部22产生位移，而将电子零件4引导至既定位置。由此，孔部11的底面与电子零件4并无关联，即便在将电子零件4自孔部11取出时使孔部11恢复至初始状态，也不存在经位置修正的电子零件4再次偏移的担忧，从而能够实现高精度的位置修正。

再者，在如第1实施方式般将电子零件4载置在孔部11的底面，并依照惯性定律使其滑动的情况下，无需将电子零件4下降至不与孔部11的内部的底面接触的状态，因此用以将电子零件4收纳于孔部11内的保持部22的控制简便。因而，只要鉴于电子零件4的重量等来选择第1实施方式或第2实施方式的形态即可。

(第3实施方式)

(位置修正装置)

参照附图对第3实施方式的位置修正装置1进行详细的说明。关于位置修正装置1及电子零件搬送装置2，对与第1实施方式相同的构成及相同的功能标注相同的符号，并省略详细的说明。

图11是位置修正装置1所具备的孔部11附近的剖面图。如图11所示，孔部11是贯穿基座14而形成。孔部11为两面开口、仅具有边缘的无底孔部。位置修正装置1具有在上表面层叠有基座14的载台17。孔部11的底面由该载台17形成。马达15的旋转轴16松弛地贯穿载台17并延伸设置至基座14为止，且与基座14连接。载台17与马达15的旋转轴16为非接触。即，基座14利用马达15而在载台17上滑动旋转。另一方面，载台17为固定。

根据该位置修正装置1，在孔部11的边缘抵接至电子零件4为止，电子零件4为静止的状态。电子零件4被孔部11推压而在载台17的表面滑动，从而被引导至正规位置12。

如此，在该位置修正装置1中，孔部11是贯穿基座14而形成。基座14的下层配置着位置固定的载台17，并由该载台17形成孔部11的底面。即，即便孔部11摇动，载置电子零件4的载台17也固定不动。由此，孔部11的底面与电子零件4无关联，即便在将电子零件4自孔部11取出时使孔部11恢复至初始状态，也不存在经位置修正的电子零件4再次偏移的担忧，从而能够实现高精度的位置修正。

(其他实施方式)

在如上所述的电子零件搬送装置2中，除了使用转台23的旋转搬送方式以外，也可设为直线搬送方式、或由多个转台23构成一搬送路径21。另外，若为具有位置修正装置1者，则不限于所述种类的处理单元3，也能够与实施其他种类的工序处理的单元置换，而且也能够适宜变更配置顺序。

另外，该位置修正装置1并不限于矩形的电子零件4，也能够对应各种多边形的电子零件4。关于孔部11的形状，可较电子零件4的一边与另一边所成的角度而言，将与这些各边相对应的各边缘所成的角度张开既定角度，从而能够利用偏离的孔部11的摇动而靠近正规位置12。

[符号的说明]

1：位置修正装置

11：孔部

11a：第1边缘

11b：第2边缘

11c：第3边缘

11d：第4边缘

11e：角

11f：角

11g：异物积存部

12：正规位置

13：挡块

14：基座

15：马达

16：旋转轴

17：载台

2：电子零件搬送装置

21：搬送路径

22：保持部

23：转台

24：直接驱动马达

25：进退驱动部

25a：制动器

25b：杆

25c：压缩弹簧

3：处理单元

4：电子零件