自动搬运系统用数据传输系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种自动搬运系统用数据传输系统。具体讲，对于将处于半导体制造工序或液晶显不装置制造工序等制造中的广品向各制造工序中的制造平台单兀移送的自动搬运系统来说，就是涉及一种能够应对主动端侧无人搬运车与从动端侧制造平台单元之间的通信异常将无人搬运车与制造平台单元之间的通信在光学通信及无线RF通信之间切换，同时在通信异常时或因搬运错误导致设备运转停止时或者应对此种情况能够将包括通信日志数据在内的各种输入输出状态数据有选择性地从主动端或从动端侧通过有线无线收发向另外的通信终端或主控制器传输，由此通过数据分析能够迅速应付运转错误状况的自动搬运系统用数据传输系统。
【背景技术】
[0002]在半导体元件或液晶显示装置有制造工序中，使用自动搬运系统(A UtomatedMaterial Handling System:AMHS)将制造物品移送到各制造工序的制造平台，然后该物品在各制造平台按工序完成制造。
[0003]通常情况下，上述自动搬运系统为了将容纳半导体基板或液晶基板的载体移送到生产流水线上的制造平台上，再容纳该制造平台上完成工序的物品后将其移送到下一个工序的平台从而包括无人搬运车。
[0004]众所周知，无人搬运车根据移动方式的不同分为以下三种:依靠车轮自动行驶的自动导向搬运车(Automated Guided Vehicle:AGV);沿地面的导轨行驶的导轨引导搬运车(Rail Guided Vehicle:RGV);沿着设置在顶棚上的导轨行驶的吊运装置搬运车(OverheadHoist Transport:0ΗΤ)。这些搬运车分别使用自身的车轮或者沿地面轨道或吊轨移动到相关制造平台后，再使用运转臂或起重机或抓手对相关制造平台的载体(装载了物品)进行搬出/搬入。
[0005]所述对装载物品载体的搬出/搬入是在对生产线整体进行控制的主控制器的控制下依靠分别搭载于无人搬运车与各制造工序中的制造平台上的主计算机实施的。
[0006]在这种情况下，为了对无人搬运车与制造平台之间的物品搬入/搬出，需要在两者间的位置排列成适于搬出/搬入的状态下实现联动动作。因此，无人搬运车与制造平台分别带有光学通信或无线RF通信装置，从而收发必要的数据。
[0007]据1999年认定为国际标准的SEMI E84-0200A记载，采用这种光学通信装置的自动搬运系统的界面构成是在无人搬运车到达排列在制造平台上的位置时实施的。就其通信内容而言，将载体从无人搬运车向制造平台搬运的情况下，就从无人搬运车向制造平台侧发送移送端口(port)指定信号(CS_0、CS_1)、端口使用信号(VALID)、移送请求信号(TR_REQ)、作业中信号(BUSY)及结束信号(COMPT)，然后再从制造平台向无人搬运车侧发送搬运请求信号(L_REQ)与搬运许可信号(READY)，这些信号在进行搬出/搬入的过程中继续收发。
[0008]但是，在无人搬运车与制造平台之间进行物品的搬出/搬入时，包括I)周边噪音造成通信干扰；2)作为主动端的无人搬运车与作为从动端的制造平台间记时错误；3)相邻主动端/从动端的通信数据接收等在内的因素会导致动作顺序发生错误。
[0009]当发生所述动作顺序错误时，就需要迅速掌握导致运转错误的原因并采取措施解决错误然后重新开始运转；当通信发生干扰时，就需要将其切换到其它的通信媒介以恢复通信，从而保持作业的连续性。
[0010]但是，就上述现有技术而言，由于仅采取了利用IR的光学通信方式，因此其通信距离较短，而且只能单向通信。当发生通信错误时，在该错误得到解决之前，生产线本身就被迫中断。
[0011]另外，现有技术是将输入输出信号存储于EEPROM等非挥发性存储器中。因此，I个循环的动作顺序结束之后为了对新循环的数据进行存储就必须将已存储的数据删除。另夕卜，现有技术是将输入输出信号日志存储于所述EEPROM等非挥发性存储器中。由此，因为了对新循环的数据进行存储而将已存储的数据删除的时间问题又会影响应答速度高速化的实现。同时，还不适合于存储大量的日志。即，在始终供给电源的情况下，为了存储大容量日志没有必要使用非挥发性存储器。
[0012]另外，对于能够掌握错误情况的日志数据而言，由于只存储主动端或从动端上的CPU自身记时器值，即信号间相对时间信息，因此当需要存储大量日志数据时，实际装备中管理的时间信息与存储信息的时间信息就会不相同，在对错误进行分析时，就很难找到相关的日志。
[0013]另外，由于现有技术不具有能够从无人搬运车的主动端或制造平台的从动端直接将已存储的数据另行发送到控制终端或主控制器侧的通信工具。因此，当动作顺序发生异常时，就必须将另外的数据记录工具与主动端或从动端连接以便将数据提取出来。
【发明内容】
[0014]技术问题
[0015]本发明就是为解决上述现有技术存在的问题而研发的。本发明的目的在于，提供一种自动搬运系统用数据传输系统。对于将半导体制造工序或液晶显示装置制造工序等制造中的产品向各制造工序中的制造平台移送的自动搬运系统来说，就是涉及一种能够应对主动端侧无人搬运车与从动端侧制造平台单元之间的通信异常将无人搬运车与制造平台单元之间的通信在光学通信及无线RF通信之间切换，同时在通信异常时或因搬运错误导致装置运转停止时或者应对此种情况能够将包括通信日志数据在内的各种输入输出状态数据有选择性地从主动端或从动端侧通过有线无线收发向另外的通信终端或主控制器传输，由此通过数据分析能够迅速应付运转错误状况的自动搬运系统用数据传输系统。
[0016]技术方案
[0017]为了实现上述目的，依据本发明一个模式的自动搬运系统用数据传输系统，包括:分别安装在多个自动搬运车上的主动装置；分别安装在带有固有ID的多个制造平台单元上的从动装置；与所述主动装置及从动装置中至少一个进行联动而驱动的主控制器。所述主动装置包括:主动端侧数据传输单元及主动端侧局部控制器。所述从动装置包括:从动端侧数据传输单元及从动端侧局部控制器。所述主动端侧数据传输单元包括:IR收发电路与RF收发电路；在所述主动端侧与所述从动端侧之间收发数据的主动端侧收发电路部与主动端侧处理器。所述从动端侧数据传输单元包括:IR收发电路与RF收发电路；在所述主动端侧与所述从动端侧之间收发数据的从动端侧收发电路部与从动端侧处理器。所述主动端侧数据传输单元及所述从动端侧数据传输单元的作用就是将包括所述主动端的日志数据与从动端的ID及日志数据在内的状态数据在所述主动端侧与所述从动端侧之间相互收发。所述主动端侧处理器及从动端侧处理器中的至少一个将所述每个制造平台单元中的所述IR收发电路与所述RF收发电路中的一个预先设定为基本收发电路从而在主动端侧与从动端侧之间进行相互收发，当所述设定的任意一个收发电路间不能进行收发时，就通过切换使另一个收发电路运转，从而执行物品的搬入/搬出，以实现控制功能，。
[0018]所述主动端侧或从动端侧处理器包含记时器功能及钟表功能。
[0019]所述主动端与从动端侧处理器可以对包括依据相互间通信的所述输入输出数据、数据输入输出时的记时、时间、噪音等级、接收灵敏度、主动端与从动端中任意一个发送主体、通信成功次数、在一连串作业过程中接收的光信号记时信息、从对方传输单元接收的对方传输单元存储日志信息在内的状态数据进行记录。
[0020]所述数据传输单元还包括:挥发性存储器，其与所述处理器连接，对包括依据相互间通信的所述输入输出数据、数据输入输出