声波器件的制作方法

文档序号:12143197阅读:来源:国知局
技术总结
一种可小型化的声波器件。所述声波器件的某些示例包括:衬底;IDT电极,设置在所述衬底上方;布线电极,设置在所述衬底上方且连接到所述IDT电极;密封体,密封激励空间,所述IDT电极在所述激励空间中激发声波;以及密封墙,设置在所述布线电极上方并且形成所述密封体的一部分。所述布线电极的外周包括突起。在一示例中,所述布线电极包括设置在所述衬底的上表面上的第一布线电极和设置在所述第一布线电极的上表面上的第二布线电极,所述第二布线电极的外周具有突起。

技术研发人员:滨冈阳介;山路徹;古川光弘
受保护的技术使用者:天工滤波方案日本有限公司
文档号码:201580040224
技术研发日:2015.07.03
技术公布日:2017.03.22

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