一种层流等离子发生器枪体的制作方法

文档序号:12380915阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种层流等离子发生器枪体,包括阴极部分(100)和阳极部分(200),其特征在于:还包括壳体(300),所述阴极部分(100)设置在壳体(300)内部阴极固定腔内,所述壳体(300)包括底座(31)和阴极壳(32),所述阴极壳(32)的一端固定在底座(31)上,所述底座(31)和阴极壳(32)内部设置有用于固定阴极部分(100)的阴极固定腔,所述底座(31)和阴极壳(32)内部的阴极固定腔连通;所述阴极壳(32)的另一端设置用于固定阳极部分(200)的阳极固定座(33);所述阳极固定座(33)上对应阴极壳(32)阴极固定腔位置出设置有用于阴极部分(100)插入的开口;所述阳极固定座(33)、阳极部分(200)和阴极部分(100)围拢形成用于电离工作气体的电离腔(400)。

2.如权利要求1所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述阴极部分(100)包括阴极保护罩(11)、阴极连接柱(12)、阴极头(13)和进气环(14),所述阴极保护罩(11)套在阴极连接柱(12)上,所述进气环(14)设置在阴极连接柱(12)的一端,所述阴极头(13)通过连接件固定在阴极连接柱(12)的一端,所述连接件上设置有阴极弹簧(15),所述阴极弹簧(15)一端连接在阴极头(13)底部,另一端连接在阴极连接柱(12)上。

3.如权利要求2所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述阴极保护罩(11)与阴极连接柱(12)之间设置有气流通道(16),所述气流通道(16)用于输送工作气体,所述进气环(14)一端套在阴极连接柱(12)上,进气环(14)一端设置有工作气体进口(141),所述气流通道(16)与进气环(14)的工作气体进口(141)连通。

4.如权利要求2或3所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述进气环(14)的里另一端设置有工作气体出口(142),所述工作气体出口(142)与电离腔(400)连通,工作气体通过进气环(14)进入电离腔(400)。

5.如权利要求2或3所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述阴极保护罩(11)上设置有冷却水通道,所述冷却水通道包括进水通道(111)和出水通道(112),所述进水通道(111)靠近阴极连接柱(12)设置,所述出水通道(112)远离阴极连接柱(12)设置;所述进水通道(111)与出水通道(112)的端部相互连通,进水通道(111)连接有进水管(113),出水通道(112)连接有出水管(114),冷却水从进水管(113)进入到进水通道(111)内,再经出水通道(112)和出水管(114)流出。

6.如权利要求1所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述阳极部分(200)包括阳极外壳(21)、电弧通道(22)和阳极头(23),所述阳极外壳(21)固定在阳极固定座(33)上,所述电弧通道(22)的一端与阳极外壳(21)连接,另一端与阳极头(23)连接;所述阳极外壳(21)、电弧通道(22)的侧壁和阳极头(23)内均设置有冷却水管(24),所述冷却水管(24)相互连通;所述阳极外壳(21)上分别设置有冷却水进口(25)和冷却水出口(26),所述冷却水进口(25)和冷却水出口(26)分别与冷却水管(24)连通。

7.如权利要求6所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述电弧通道(22)一端与阳极外壳(21)的连接出设置有绝缘垫(27),所述绝缘垫(27)内设置有连通阳极外壳(21)和电弧通道(22)侧壁内冷却水管(24)的连通件。

8.如权利要求1或7所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述电弧通道(22)包括至少两端中间段(29),相临中间段(29)之间通过绝缘件(28)连接;所述绝缘件(28)内设置有连通冷却水管(24)的通孔。

9.如权利要求1或7所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述电弧通道(22)外壁上设置有阳极弹簧(210),所述阳极弹簧(210)套在电弧通道(22)的侧壁上,所述阳极弹簧(210)一端连接在绝缘垫(27)上,另一端与阳极头(23)连接。

10.如权利要求1或7所述的一种层流等离子发生器枪体,其特征在于:所述阳极头(23)呈漏斗型,开口较小的一端与电弧通道(22)的侧壁连接;开口较大的一端与阴极部分(100)的进气环(14)相对设置;阳极头(23)开口较大的一端与阳极固定座(33)绝缘密封连接。

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