技术特征：
技术总结
本发明提供一种射频阻抗匹配方法、匹配器和半导体处理装置。该匹配方法包括：检测匹配器的当前输入阻抗；用当前输入阻抗的共轭匹配阻抗代替射频电源的输出阻抗，计算当前输出阻抗；与当前输出阻抗共轭匹配的阻抗为负载阻抗；计算当负载阻抗与射频电源的实际输出阻抗相匹配时，匹配器中可变电抗元件的新的位置值。该匹配方法通过在匹配过程中用当前输入阻抗的共轭匹配阻抗代替射频电源的输出阻抗，从而最终计算出射频电源的输出阻抗与负载阻抗达到匹配时的匹配器中可变电抗元件的位置值，仅通过一次运算和调整，就能使负载阻抗与射频电源的输出阻抗进入相匹配的状态，该匹配方法的匹配路径直接，不存在匹配路径优化的问题；而且匹配速度快。
技术研发人员：王东
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2018.05.08