半导体设备中的射频功率传输系统的制作方法

专利名称：半导体设备中的射频功率传输系统的制作方法
技术领域：
本发明的实施例一般涉及在半导体基板处理设备及诸如此类中的RF传输系统。
背景技术：
对于更快速及效力更高的集成电路(IC)组件的需求，对IC制造技术引入新的挑 战，包括在基板(例如半导体晶体)上蚀刻次微米特征结构(submicron feature)以使其 具有跨越基板的良好均一性。举例来说，在一些动态随机存取内存的应用中所使用的深沟 渠储存结构需要在半导体基板中蚀刻深的高深宽比沟渠。深硅沟渠蚀刻典型地在反应性离 子蚀刻(RIE)处理中进行。图1描述了传统的处理腔室100，该处理腔室100用于对设置在基板144上的材 料层进行蚀刻，以在材料层中形成特征结构。处理腔室100具有设置在其中的内部容积 106内的基板支撑组件148。基板支撑组件148包括静电吸座166、基底板164以及设施板 (facility plate) 190。基底板164与设施板190通过设置在其间的绝缘材料192而电性 绝缘。或者，在基底板164与设施板190之间界定出间隙或空间以提供电性绝缘。可将介 电绝缘环120附接至设施板190的边缘。静电吸座166与基底板164 —般由陶瓷或相似介 电材料所形成。加热组件176设置在静电吸座166或基底板164内，并用于控制设置在基 板支撑组件148上的基板的温度。加热组件176通过设置在基板支撑组件148的中央区域 内的金属线而耦接至加热器电源178。至少一个钳位电极(clamping electrode) 180设置在静电吸座166或基底板164 中。钳位电极180通过基板支撑组件148的中央部分而耦接至吸座RF功率源164。设置 在静电吸座166或基底板164中的一者内的RF电极182经由RF传输线150并通过匹配电 路188而耦接至一个或多个RF功率源184、186，以维持处理腔室100内的等离子体。RF传 输线150设置成在与基板支撑组件148的中心轴偏置的位置处通过基板支撑组件148。RF 传输线150用于将RF功率源184、186所供应的RF功率传输至RF电极182。由于一些基 板支撑设备占据沿着基板支撑组件148的中心轴的空间，故RF传输线150耦接至设置于基 板支撑组件148内的金属板154。金属板IM用于将来自偏置的RF传输线150的RF功率 传导至中央馈送件(feed through) 152，而该中央馈送件152的路径通过基板支撑组件148 的中央。一般来说，将RF功率施加至基板表面的方式期望能产生跨越基板表面的均一电 场，以促进等离子体均一性。跨越基板表面的均一的电场以及解离离子等离子体分布提供 跨越基板表面的均一蚀刻作用。为了维持均一电场及等离子体分布，期望通过处理腔室的 中央区域(例如通过喷洒头电极及/或通过基板支撑电极)而将RF功率供应至基板。如 上所讨论，基板支撑组件148的中央部分被设施占据及/或提供设置用于致动升举销(图 中未示)的轴杆的路径。RF传输线150需要与基板支撑组件148的中央偏置。因此，在传 统配置中，RF传输线150通常在与基板支撑组件148的中心轴偏置的位置处耦接至基底板 164。金属板巧4用于将来自偏置RF传输线150的RF功率通过设置在基板支撑组件148的中央区域中的中央导管152而传送至该中央区域。由于RF传输线150的顶部部分156在与基板支撑组件148的中心轴偏置的区域 158处位于设施板190的正下方，故在区域158周围所产生的电场特别不同于接触区域158 外侧的其它区域。举例来说，在RF传输线150的正上方的区域158中，电场通常较于其它 区域(与RF传输线150相邻，但RF传输线150并未位于其正下方)散播的电场还要弱。 RF传输线150的偏置通常造成非均一的电场，因而产生跨越基板表面的电场偏斜(skew)图 案。图2描述了施加RF功率至基板144表面的同时，对于跨越基板支撑组件148上的 基板144表面所测量到的电场分布。RF传输线150所在之处的区域158中的电场相比跨越 基板的其它区域160的电场比较弱，因而导致电场的不期望偏斜。电场的偏斜会造成非均 一的离子解离以及跨越基板表面的等离子体分布，因而导致不良的蚀刻均一性。因此，需要一种提供跨越基板表面的均一电场分布的改进设备。

发明内容
本发明的实施例提供一种设备，例如基板支撑组件，其适于用在蚀刻反应器中。可 预期该设备也可利用在其它类型的反应器中，例如用于沉积、退火、注入及其它期望基板支 撑件周围存在均一电场的处理的反应器。本发明的实施例提供一种设备，该设备提供在处理腔室内的良好RF均一性。在一 个实施例中，该设备包括基板支撑组件、终端及介电绝缘体。基板支撑组件具有中央通道， 而中央通道沿着中心轴形成。提供RF传输线，该RF传输线包括大致垂直部分以及大致水平 部分。终端耦接至RF传输线的大致水平部分。介电绝缘体环绕该RF传输线的大致水平部 分。介电绝缘体具有第一开口，而终端通过第一开口而与RF传输线的大致水平部分接合。在另一个实施例中，提供有一种基板支撑组件，该基板支撑组件具有静电吸座、传 导基部以及传导设施板。中央通道界定穿过静电吸座、传导基部与传导设施板。终端耦接 至设施板与RF传输线。介电绝缘体环绕RF传输线的至少一部分。介电绝缘体具有第一开 口与第二开口，而终端通过第一开口而与RF传输线接合，第二开口与第一开口共中心地对 准。外壳组件将介电绝缘体紧固至设施板。高压功率馈送件延伸穿过外壳组件的孔、介电 绝缘体的第一与第二开口以及终端而至吸引电极，而高压功率馈送件与RF传输线绝缘。在又另一个实施例中，设备包括基板支撑组件；RF传输线，在与基板支撑组件的 中心轴偏置的区域耦接至基板支撑组件的底部；金属板，耦接至RF传输线，并配置以将传 输自RF传输线的RF功率转向至基板支撑组件，其中金属板包括复数个设置在基部上的导 管。


为让本发明的上述特征更明显易懂，可配合参考实施例说明，其部分在附图中图 示。须注意的是，虽然附图揭露本发明特定实施例，但其并非用以限定本发明的精神与范 围，本发明可允许其他等效实施例。图1描述了传统处理腔室的剖面视图。图2描述了设置在图1的传统处理腔室中的跨越基板表面的电场分布。
图3描述了根据本发明的处理腔室的一个实施例的剖面视图。图4A描述了根据本发明的基板支撑组件的剖面视图。图4B描述了耦接至图4A的基板支撑组件的RF传输线的剖面视图。图4C描述了安装在图4A的RF传输在线的RF终端的立体视图。图4D描述了图4A的RF传输线的水平通道的剖面视图。图5A描述了根据本发明的基板支撑组件的另一个实施例的剖面视图。图5B描述了图5A的基板支撑组件的上视图。为便于了解，相同的组件符号表示相同的组件。某一个实施例采用的组件不需特 别详述就可应用到其它实施例。须注意的是，虽然附图揭露本发明特定实施例，但其并非用以限定本发明的精神 与范围，本发明允许其他等效实施例。
具体实施例方式图3描述处理腔室300的一个实施例的剖面视图，该处理腔室300可提供跨越基 板表面的均一电场，因而提供跨越基板表面的蚀刻均一性。虽然图中所示的处理腔室300 包括有复数个使能拥有较佳蚀刻效能的特征，但可预期其它处理腔室也可适用而受益于此 处所述的一个或多个本发明的特征，包括用于非蚀刻半导体处理应用的处理腔室。处理腔室300包括围绕出内部容积306的腔室主体302以及盖304。腔室主体302 通常由铝、不锈钢或是其它适合材料制成。腔室主体302 —般包括侧壁308以及底部310。 基板进出口(图中未示)通常界定在侧壁308中，并通过狭缝阀而选择性密封，以利于基板 344进出处理腔室300。排气口 3 界定在腔室主体302中，并将内部容积306耦接至抽气 系统328。抽气系统3 —般包括一个或多个泵以及节流阀，用于排放及调节处理腔室300 的内部容积306的压力。在一个实施例中，抽气系统3 维持内部容积306内的压力在一 般介于约IOmTorr (毫托)至约20Torr (托)的操作压力下。盖304密封地支撑在腔室主体302的侧壁308上。可开启盖304以允许进入处理 腔室300的内部容积306。盖304包括窗342，以利于光学处理监控。在一个实施例中，窗 342由石英或其它适合材料构成，其可被光学监控系统340使用的信号所透射。光学监控系 统340定位成通过窗342来观看设置在基板支撑组件348上的基板344。可适用而受益于 本发明的光学监控系统为购自加州圣克拉拉的应用材料公司(Applied Materials, Inc.) 的EyeD 全光谱干涉计量模块。如何使用光学监控的示例的细节揭露于共同受让的美国 专利申请序号第60/479,601号，申请日为2003年6月18日，专利名称为“监控蚀刻处理 的方法及系统(Method and System for Monitoring an Etch Process) ”；美国专利号第 6，413，837号，公告日为2002年7月2日，专利名称为“使用光谱干涉术的薄膜厚度控制 (Film Thickness Control Using Spectral Interferometry) ”；以及美国专利申请序号第 60/462,493号，申请日为2003年4月11日，专利名称为“在多次传递晶体处理中，使用原 位及移位计量学及数据检索的处理控制增进及错误检测(Process Control Enhancement and Fault Detection Using In—situ and Ex—situ Metrologies and Data Retrieval In Multiple Pass Wafer Processing) ”。气体面板358耦接至处理腔室300，以提供处理及/或清洁气体至内部容积306。在图3所示的实施例中，盖304中提供有进入口 332’、332”，以允许气体由气体面板358输 送至处理腔室300的内部容积306。喷洒头组件330耦接至盖304的内部表面314。喷洒头组件330包括复数个孔洞 以及中央通道338，以允许气体由进入口 332流经喷洒头组件330而进入处理腔室300的内 部容积306，且气体以跨越基板344(待在处理腔室300中进行处理)表面的预定分布方式 而流经该喷洒头组件330。在一个实施例中，喷洒头组件330配置有复数个区域，其允许对 流入处理腔室300的内部容积306的气体进行分别的控制。在图3所示的实施例中，喷洒 头组件330具有内部区域334以及外部区域336，且该些区域通过分离的入口 332而耦接至 气体面板358。基板支撑组件348设置在处理腔室300的内部容积306中而位于喷洒头组件330 的下方。基板支撑组件348在处理过程中支承该基板344。基板支撑组件348 —般包括贯 穿其中设置的复数个升举销(图中未示)，其配置以将基板自基板支撑组件348升举，并且 帮助利用机械手臂(图中未示)以传统方式交换基板344。在一个实施例中，基板支撑组件348包括附接至基底板364的静电吸座366。静电 吸座366设置在基底板364上，且周围环绕有聚集环(focus ring) 346。设施板309附接 至基底板364。基底板364与设施板309通过绝缘材料301而电性绝缘。或者，基底板364 与设施板309可以通过形成于其间的空间或间隙而电性绝缘。介电绝缘环320耦接至设施 板309的底表面。设施(utility)的布线(诸如流体、电力线和传感器引线等)耦接穿过 介电绝缘环320而至基底板364及静电吸座366。基底板364或静电吸座366的至少一者可包括至少一个选用的嵌入加热器376、至 少一个选用的嵌入隔离器374及复数个导管368、370，以控制支撑组件348的横向温度分 布。导管368、370流体耦接至流体源372，而流体源372将温度调节流体循环通过该些导 管368、370。加热器376由电源378来调节。导管368、370与加热器376用于控制基底板 364的温度，并且加热及/或冷却静电吸座366。在一个实施例中，导管与加热器至少部分 地控制设置在静电吸座366上的基板344的温度。静电吸座366与基底板364的温度使用 复数个传感器392来监控，而该些传感器392由控制器350控制，以检测静电吸座366与基 底板364的不同区域中的温度。静电吸座366通常由陶瓷或相似介电材料来形成，其包括至少一个钳位电极 (clamping electrode) 380，而该钳位电极380 使用吸引电源(chucking power source) 382 来控制。RF电极381经由传导馈送件(feed through) 383通过匹配电路388耦接至一或多 个RF功率源384、386，以在处理腔室300中维持由处理气体及/或其它气体所形成的等离 子体。设施板309通过RF传输系统312而耦接至RF功率源384、386，以通过形成在基板支 撑组件348的中央部分中的通道318而提供RF电极381能量。设施板309由传导性材料 制成，其可将来自RF功率源384、386的RF功率电性地及传导性地携带通过中央通道318 而至设置在静电吸座366中的RF电极381。在该实施例中，RF功率源384、386大致能够产 生RF信号，其频率为约50kHz 约3GHz，且功率高达约10，000瓦。匹配网络388将RF功 率源384、386的阻抗匹配至等离子体阻抗。通道318包括同轴设置在导管303中的高压(HV)电缆305。通道318有利于吸 引电力(chucking power)及RF功率在形成于通道中的电缆305及导管303内独立传送。通道318有利于由吸引电源382供应至钳位电极380的吸引电力的传送，以及由RF功率源 384、386供应至RF电极381的RF功率的传送。RF传输系统312设置在介电绝缘环320中， 且附接至设施板309。通道318中的HV电缆305延伸并通过RF传输系统312的一部分而 至吸引电源382。外壳组件316耦接至设施板309的底部，并且环绕RF传输系统312的弯 曲部分。关于信道318、RF传输系统312及外壳组件316的细节将参照第4A D图而进一 步描述。图4A描述耦接至形成于基板支撑组件348中的通道318的示例性RF传输系统 312的剖面视图。RF传输系统312具有中心轴406，而其与基板支撑组件348的中心轴大致 对准。RF传输系统312包括弯曲的RF传输线428、终端410以及环绕一部分RF传输线428 的外壳组件316。终端410具有中央孔洞，其允许功率馈送件(power feed) 420通过。功率 馈送件420具有顶端414，其形成并暴露以连接至HV电缆305 (设置在形成于基板支撑组件 348中央内的通道318中)的底端。功率馈送件420有助于吸引电力由吸引电源382(示 于图3)传输通过HV电缆305而至设置在静电吸座366中的钳位电极380。在功率馈送件 420与终端410之间使用绝缘体412以提供良好的密封及电性绝缘。在一个实施例中，绝缘 体412由介电材料制成，例如塑料、聚合物、或氟碳化物(fluorocarbon)，举例为TEFLON(特 富龙)，其可提供良好的密封与电性绝缘。在一个实施例中，终端410具有大致纵长主体，其具有设置在弯曲的RF传输线4 中的下方部分418，以及往上延伸并突出于弯曲的RF传输线428的外侧的上方部分416。 终端410的下方部分418与设置在其中的功率馈送件420为电性隔离，举例来说，通过绝缘 套筒而电性隔离。弯曲的RF传输线4 具有第一孔洞496，该第一孔洞496形成并按一定 尺寸制作以接收RF终端410的下方部分418，且RF传输线4 有利于来自RF功率源的RF 功率传导通过终端410而至RF电极381。在一个实施例中，终端410可以由传导性材料制 成，例如铜、铝、不锈钢及其组合。在一个实施例中，弯曲的RF传输线似8包括有连接件402以及RF杆422，而介电 绝缘体似4环绕连接件402与RF杆422。首先参照图4B，RF传输线似8包括介电绝缘体 424。绝缘体424由紧配的壳所构成，其环绕RF杆422与连接件402。介电绝缘体424由介 电材料制成，例如塑料、聚合物或TEFL0N，而其可提供良好的密封及电性绝缘。介电绝缘体似4包括孔洞482，而孔洞482与孔洞484对准。孔洞482、484与中 心轴406为共中心地对准。孔洞484允许终端410延伸穿过绝缘体似4并与连接件402紧 配。孔洞482允许功率馈送件420向上延伸穿过绝缘体424的底部，并且共中心地延伸穿 过终端410。壳424A、424B通常包括紧配特征结构488，该紧配特征结构488防止壳424A、 424B之间看到视线(line of sight)。在图4B所示的实施例中，紧配特征结构488为榫(tongue)与沟槽接合的形式。紧 配特征结构488可包括可将壳424A、424B紧固在一起的压接或扣接(snap fit)。RF杆422由具有高传导性的材料制成，以助于来自RF功率源384、386的RF功率 的传送。在一个实施例中，RF杆422可以由金属材料制成，该金属材料选自由铜、银、金及 其它适合金属材料所组成的群组。弯曲的RF传输线4 具有大致L形，该形状由耦接至大 致垂直RF杆422的大致水平定向的连接件402所界定。参照图4D，RF传输线4 的连接件402具有第一孔洞496以及第二孔洞498，该第一孔洞496配置以接收终端410的下方部分418，该第二孔洞498配置以接收RF传输线 428的RF杆422的上方端。RF传输线4 及RF终端的详细描述将参照图4C而进一步讨 论如下。往回参照图4A，由于大致围绕基板支撑组件348的中心轴406的空间可用于提供 设施、传感器导线及其类似者或是设置在其中的机械支撑件的设置路径，其阻止RF传输线 428设置在正下方。而RF传输线428的L形及弯曲配置可有效地提供空间，以提供该些设 施的设置路径，并同时有效地传送RF功率通过基板支撑件348的中央。连接件402的长度 426足以使RF杆422偏置定位，并且与置中设置在基板支撑组件348下方的设施或其它机 械支撑件保有距离。在其中设置在基板支撑组件348的中央部分下方的设施或机械支撑件 的通过路径具有相对较小的尺寸的实施例中，连接件402的长度4 可为较短，以使得RF 传输线428中的RF功率的偏置最小化。在一个实施例中，连接件402的长度4 为约1英 寸 约10英寸，例如为约1英寸 约5英寸，又例如为约1英寸 约2英寸。外壳组件316设置在介电绝缘环320下方，并与其接触，而该绝缘环320具有中央 开口以接收RF终端410的下方部分。外壳组件316环绕RF传输线428的连接件402以及 RF杆422的上方部分430。在一个实施例中，外壳组件316可以由一材料制成，其可在处理 过程中屏蔽RF功率而使其不与等离子体、离子、或解离物种产生交互作用，而上述的交互 作用可能会导致电场分布的非均一性。当外壳组件316可以屏蔽RF功率，则传输通过连接 件402的RF功率会有效地屏蔽而不与处理腔室300中所产生的等离子体有交互作用。在 一个实施例中，外壳组件316由硬质且非磁性的不锈钢制成。外壳组件316具有孔480，该 孔480与绝缘体424的孔洞482对准，以允许功率馈送件420沿着轴406而通过。外壳组 件316将RF传输线428的上方端紧固至支撑组件348。外壳组件316额外地环绕绝缘体 424的上方部分，该上方部分覆盖住连接件402。因此，外壳有助于将壳424A、424B紧固在 一起。因此，绝缘体似4与外壳组件316大致防止RF传输线4 与基板支撑组件348直 接接触，以避免局部的电场非均一性。环绕连接件402的绝缘体424的水平部分作为电性 屏蔽，其可防止来自RF传输线428的电磁力在RF功率传输期间干涉跨越基板表面的电场 分布。在一个实施例中，绝缘体432设置在RF终端410的下方部分418以及弯曲RF传 输线4 上方的外壳组件316之间。绝缘体432协助填充可能存在于介电绝缘环320、外壳 组件316与RF传输线4 之间的空隙或间隔，并提供对于相邻腔室部件的良好密封。图4C描述设置在RF传输线似8上的终端410的立体视图。终端410的上方部分 416具有环状开口，该环状开口用于附接至设施板309的底表面。终端410的下方部分418 延伸穿过绝缘体432，并与RF传输线4 的开口 496紧配。图5A描述基板支撑组件500的另一个实施例的剖面视图，其可提供跨越基板表面 的均一电场。类似于图3的配置，基板支撑组件500包括静电吸座366，该静电吸座366附 接至基底板364。介电绝缘环320耦接至基底板364的底表面。RF传输线508附接至基底 板364，而该基底板364环绕有介电绝缘环320。来自RF传输线508的RF功率通过设置在 介电绝缘环320上的金属板502而传输至基板支撑组件500，该介电绝缘环320连接至RF 传输线508。如上所讨论，常规的设施及/或部分机械支撑件可设置在基板支撑组件500下方的中心轴506(参见图5B)周围，RF传输线508因此期望设置在与中心轴506偏置的位 置520。通过使用设置在介电绝缘环320中的金属板502，则来自RF传输线508的RF功率 可以通过与基板支撑组件500连接的金属板502而传送至基板支撑组件500。为了避免因 为RF传输线508的偏置附接所造成的偏斜图案，金属板502配置以具有由基部510往上突 出的多个导管504。导管504形成大致垂直于基部510，以用于将RF功率传送至基板支撑 组件500的RF电极512的不同位置。形成在金属板502中的各个导管504具有耦接至静 电吸座366的RF电极的一端，以将RF功率输送至基板支撑组件500的不同位置。在一个 实施例中，金属板502由金属材料制成，该金属材料选自由铜、铝、不锈钢及其组合所组成 的群组。图5B描述嵌入在基板支撑组件500的静电吸座366的RF电极512的立体上视图。 RF传输线508偏置附接于基板支撑组件500下方的区域520，如虚线所示。由于RF传输线 508的偏置附接可能会造成非均一的电场分布，故导管504的分布配置为对称方式，而使用 通过区域520的轴522作为中心轴。导管504的分布有效地改变跨越基板表面所分布的电 场。金属板502的可调整及可改变的导管分布可有效地控制及重新分布跨越基板支撑组件 的表面的电场。在一个实施例中，金属板502的可调整及可改变的导管分布解决了 RF传输 线508的偏置附接可能造成的局部及非均一的电场分布。导管504提供跨越静电吸座366 的RF电极512的不同接触点，以均一地传送RF功率至跨越静电吸座表面的不同位置，使得 在位置520处的电场对于在传输线508位置上方的影响可被平衡掉且可被忽略。虽然图5B 示出6个导管504，应注意到导管504的数量、分布、形状及位置可采任何方式分配，且该方 式适于提供RF功率所产生的电场的均一分布及分配，以平衡掉传输线偏置的作用。当电场 分布受到控制且跨越基板表面而均一地维持，则因此可获得均一的蚀刻效能。处理、直接注射及惰性气体的混合物提供至腔室以供等离子体蚀刻。混合物可包 括冊1~、顺3、02、5丨&、5比14及41~的至少其中之一者。在一个实施例中，提供至混合歧管的处 理气体包括HBr和NF3,而02、SiF4及SiCl4选择性地提供。在一个示例实施例中，将约50 约 500sccm 的 HBrj^J 10 约 200sccm 的 NF3、约 0 约 200sccm 的 O2、约 0 约 200sccm 的 SiF4、约0 约200sccm的SiCl4及约0 约200sccm的Ar提供至混合歧管，以供适于蚀刻 300mm基板的处理。混合气体以低流率提供至充气部(plenum)，而该流率经选择而相称于 特征结构的密度、尺寸及横向位置。SiCl4用作为直接注射气体，其提供至喷洒头组件的充 气部而绕过混合歧管。本发明的各种实施例提供一种设备及方法，该设备及方法提供跨越基板表面的高 蚀刻均一性。对于RF功率输送及/或弯曲RF传输线的多接触点配置有利地提供一种补偿 在传统设备中可能发生的电场偏斜图案的方式。另外，RF功率输送及/或弯曲RF传输线 的多接触点配置可增进分配跨越基板表面的电场分布的均一性，因而增进总蚀刻均一性。尽管以上涉及本发明的实施例，但是在不脱离本发明的精神和范围内可以设计本 发明的其他实施例，本发明的范围由权利要求确定。
权利要求
1.一种基板支撑组件，包括基板支撑组件，包括中央通道，所述中央通道沿着所述基板支撑组件的中心轴形成；RF传输线，包括大致垂直部分以及大致水平部分；终端，通过所述基板支撑组件的所述中央通道而耦接至所述RF传输线的所述大致水 平部分；以及介电绝缘体，环绕所述RF传输线的所述大致水平部分，其中，所述介电绝缘体具有第 一开口，所述终端设置穿过所述第一开口。
2.根据权利要求1所述的基板支撑组件，其中，所述RF传输线的所述大致水平部分还 包括传导连接件，包括第一孔洞以及位于相对第二端的第二孔洞，所述终端与所述第一孔 洞紧配。
3.根据权利要求2所述的基板支撑组件，其中，所述RF传输线的所述大致垂直部分还 包括传导杆，其与所述第二孔洞紧配。
4.根据权利要求1所述的基板支撑组件，其中，所述介电绝缘体还包括第二开口，其与所述第一开口共中心地对准。
5.根据权利要求4所述的基板支撑组件，还包括高压功率馈送件，延伸穿过所述介电绝缘体的所述第一开口与所述第二开口，所述功 率馈送件通过所述终端，并与所述终端电性绝缘。
6.根据权利要求5所述的基板支撑组件，其中，所述高压功率馈送件延伸穿过所述基 板支撑组件的所述中央通道。
7.根据权利要求1所述的基板支撑组件，其中，所述RF传输线还包括RF传导杆；以及传导连接件，耦接至所述RF传导杆，其中，所述介电绝缘体环绕所述传导连接件及所 述RF传导杆。
8.根据权利要求7所述的基板支撑组件，其中，所述RF传导杆由金属材料制成，所述金 属材料选自铜、银或金的至少其中一者。
9.根据权利要求1所述的基板支撑组件，其中，所述介电绝缘体还包括第一壳以及第二壳，所述第一壳及所述第二壳紧配以环绕所述RF传输线的所述大致 水平部分。
10.根据权利要求1所述的基板支撑组件，其中，所述RF传输线的所述大致水平部分的 长度为约1英寸和约5英寸之间。
11.一种基板支撑组件，包括基板支撑组件，包括中央通道，所述中央通道沿着所述基板支撑组件的中心轴形成， 所述基板支撑组件具有静电吸座、传导基部以及传导设施板，所述设施板电性耦接至RF电 极，所述RF电极与嵌入所述静电吸座中的吸引电极绝缘；RF传输线；终端，包括第一端与第二端，所述第一端耦接至所述设施板，所述第二端耦接至所述RF 传输线；介电绝缘体，环绕所述RF传输线的至少一部分，其中，所述介电绝缘体具有第一开口 与第二开口，所述终端设置穿过所述第一开口，所述第二开口与所述第一开口共中心地对 准；外壳组件，将所述介电绝缘体紧固至所述设施板，所述外壳组件包括孔，所述孔与所述 第二开口对准；以及高压功率馈送件，延伸穿过所述外壳组件的所述孔、所述介电绝缘体的所述第一开口 与所述第二开口以及所述终端而至所述吸引电极，所述高压功率馈送件与所述RF传输线 绝缘。
12.根据权利要求11所述的基板支撑组件，其中，所述RF传输线还包括传导连接件，包括第一端，所述第一端与所述终端紧配；以及传导杆，与所述传导连接件的第二端紧配。
13.根据权利要求12所述的基板支撑组件，其中，所述传导连接件的所述第一端包括 孔洞，所述孔洞与所述介电绝缘体的所述第一开口与所述第二开口共中心地对准。
14.一种基板支撑组件，包括基板支撑组件；RF传输线，在与所述基板支撑组件的中心轴偏置的区域耦接至所述基板支撑组件的底 部；以及金属板，耦接至所述RF传输线，并配置以将传输自所述RF传输线的RF功率转向至所 述基板支撑组件，其中，所述金属板包括复数个垂直导管，设置穿过基部。
15.根据权利要求14所述的基板支撑组件，其中，所述金属板的导管设置于所述基板 支撑组件中。
全文摘要
本发明的实施例提供一种设备，该设备提供在处理腔室内的良好RF均一性。在一个实施例中，该设备包括基板支撑组件、终端及介电绝缘体。基板支撑组件具有中央通道，而中央通道沿着中心轴形成。提供RF传输线。该RF传输线具有大致垂直部分以及大致水平部分，其中，终端耦接至RF传输线的大致水平部分。介电绝缘体环绕RF传输线的大致水平部分。介电绝缘体具有第一开口，而终端通过第一开口。
文档编号H01L21/3065GK102077328SQ200980124559
公开日2011年5月25日 申请日期2009年6月10日 优先权日2008年6月25日
发明者卡尔蒂克·拉马斯瓦米, 沙希德·劳夫, 陈智刚 申请人:应用材料公司