耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路的制作方法

文档序号:12568385阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:包括射频输入波导(101)、石英基板(102)和射频输出波导(103),所述石英基板(102)的一端位于所述射频输入波导(101)的波导槽内,所述石英基板(102)的另一端位于所述射频输出波导(103)的波导槽内,输入过渡微带线(104)位于所述石英基板(102)上,所述过渡微带线(104)的一端依次经第一传输微带线(105)、低通滤波器(106)、射频匹配微带线(107)、第二传输微带线(108)与输出过渡微带线(109)连接,四个多管结GaAs太赫兹倍频二极管(110)的阳极与射频匹配微带线(107)连接,每个多管结GaAs太赫兹倍频二极管(110)位于最外侧的阴极与一个接地端石英带线(111)连接,其中每个多管结GaAs太赫兹倍频二极管(110)包括四个串联连接的肖特基二极管。

2.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:所述输入过渡微带线(104)为E面探针输入过渡微带线。

3.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:所述低通滤波器(106)为5阶或7阶高低阻抗微带线。

4.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:所述多管结GaAs太赫兹倍频二极管(110)的两端通过导电胶分别与射频匹配微带线(107)以及接地端石英带线(111)连接。

5.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:所述接地端石英带线(111)通过导电胶与腔体实现接地。

6.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:所述石英基板(102)的厚度为30微米到75微米。

7.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:所述射频输入波导(101)为WM-2032矩形波导,矩形波导中a和b分别为2032微米和1016微米。

8.如权利要求1所述的耐功率太赫兹二倍频非平衡式电路,其特征在于:四个多管结GaAs太赫兹倍频二极管(110)呈斜十字状固定在石英基板上。

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