有机器件的制造方法及卷筒与流程

文档序号:15310600发布日期:2018-08-31 21:44阅读:156来源:国知局

本发明涉及有机器件的制造方法及卷筒。



背景技术:

作为以往的有机器件的制造方法,例如已知有专利文献1及2中记载的方法。专利文献1中记载的有机器件的制造方法中,是在挠性的支撑体上具有至少1层的阻气层、电极层及利用涂布形成的有机材料层的基于卷对卷方式的有机器件的制造方法,在形成有机材料层或对置电极后将具有含干燥剂层的保护膜重叠于有机材料层地卷绕。

专利文献2中记载的有机器件的制造方法中,至少在阳极层形成工序、有机功能层形成工序、以及阴极层形成工序的任意一个工序结束后,将层叠有阳极层、有机化合物层、以及阴极层的任意一个的带状挠性基材卷绕成卷筒状而回收,在非活性气体气氛中保管。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2009-123532号公报

专利文献2:日本特开2007-149589号公报



技术实现要素:

发明所要解决的问题

在使用了挠性基材的有机器件的制造方法中,在形成有机功能层等后,有时要将基材卷绕成卷筒状而暂时保管。此时,形成于基材的有机功能层等有可能因氧和/或水分而劣化。因而,专利文献1中记载的有机器件的制造方法中,将具有含干燥剂层的保护膜贴合于有机材料层。然而,该制造方法中,由于需要贴合保护膜的工序,因此工序变得烦杂,并且需要贴合保护膜的装置,所以制造成本增大。另外,专利文献2中记载的有机器件的制造方法中,为了将保管卷筒状的基材的气氛设为低氧浓度及低水分浓度,使用了低水分浓度的非活性气体。然而,由于非活性气体并不廉价,因此无法避免制造成本的增大。

本发明的一个方面的目的在于,提供可以在压低制造成本的同时抑制劣化的有机器件的制造方法及卷筒。

用于解决问题的方法

本发明的一个方面的有机器件的制造方法是使用带状的具有挠性的基材利用连续运送方式制造有机器件的有机器件的制造方法,该制造方法包括:形成工序,在基材中,在长度方向的一端及另一端分别设有具有阻气性的引线部,在基材上形成电极层及有机功能层的至少一层;卷绕工序,在形成工序后,将基材卷绕成卷筒状;以及保管工序,在卷绕工序后,保管卷筒状的基材。

本发明的一个方面的有机器件的制造方法中,所使用的带状的具有挠性的基材在长度方向的一端及另一端分别具有引线部。引线部具有阻气性。由此,在卷绕工序中将基材卷绕成卷筒状时,在卷筒的内侧及外侧配置引线部。因此,可以利用引线部的阻气性,在保管工序中抑制氧和/或水分向电极层和/或有机功能层的侵入。如此所述,有机器件的制造方法中,即使不使用保护膜或非活性气体也可以保护电极层和/或有机功能层,因此可以在压低制造成本的同时抑制劣化。

在一个实施方式中,电极层包括第一电极层及第二电极层,在形成工序中,可以在基材上依次形成第一电极层、有机功能层、以及第二电极层。由此,就可以利用引线部来抑制由第一电极层、有机功能层及第二电极层构成的有机器件的劣化。

在一个实施方式中,可以在基材的表面及背面的至少一方设置阻气层。由此,可以进一步抑制氧和/或水分侵入电极层和/或有机功能层。

在一个实施方式中,可以在引线部设置阻气膜或金属箔。由此,可以确保引线部的阻气性。

在一个实施方式中,引线部的长度可以大于卷绕基材而形成的卷筒的外周的长度。由此,由于卷筒的外周被引线部覆盖,因此可以更加可靠地抑制氧和/或水分侵入电极层和/或有机功能层。

在一个实施方式中,可以在基材的宽度方向的两个端部的一面上,设置在给定的第一温度以上时粘合力变高并且在给定的第二温度以下时粘合力变低的感温性粘合构件,在形成工序后且在保管工序前,包括将感温性粘合构件加热到给定的第一温度以上的加热工序。由此,由于基材的一面(没有设置感温性粘合构件的面)与感温性粘合构件密合,因此可以抑制氧和/或水分从基材的宽度方向侧侵入。因而,可以进一步保护电极层和/或有机功能层。

在一个实施方式中,可以在保管工序后、且在实施下一个工序前,包括以使感温性粘合构件为给定的第二温度以下的方式实施低温处理的低温处理工序。由此,由于感温性粘合构件的粘合力降低,因此可以从基材剥离感温性粘合构件。

本发明的一个方面的卷筒是将带状的具有挠性的基材卷绕而成的卷筒,在基材上,形成有电极层及有机功能层的至少一层,在基材中,在长度方向的一端及另一端分别设有具有阻气性的引线部。

该卷筒中,在基材的长度方向的一端及另一端,分别设有具有阻气性的引线部。该构成中,利用引线部的阻气性,可以抑制氧和/或水分向电极层和/或有机功能层的侵入。如此所述,在卷筒中,在保管该卷筒时,由于即使不使用保护膜或非活性气体也可以保护电极层和/或有机功能层,因此可以在压低制造成本的同时抑制劣化。

发明效果

根据本发明的一个方面,可以在压低制造成本的同时抑制电极层和/或有机功能层的劣化。

附图说明

图1是利用一个实施方式的有机器件的制造方法制造的有机el元件的剖视图。

图2是表示支撑基板的俯视图。

图3是沿着图2的iii-iii线的剖视图。

图4是表示有机器件的制造方法的流程图。

图5是示意性地表示基于卷对卷方式的有机器件的制造方法的图。

图6是卷绕支撑基板而成的卷筒的侧视图。

图7是表示其他实施方式的有机器件的制造方法中所用的支撑基板的图。

图8是表示其他实施方式的有机器件的制造方法的流程图。

具体实施方式

以下,参照附图,对本发明的合适的实施方式进行详细说明。需要说明的是,附图的说明中对于相同或相当要素使用相同符号,省略重复的说明。

如图1所示,利用本实施方式的有机器件的制造方法制造的有机el元件(有机器件)1具备支撑基板(基材)3、阳极层(第一电极层)5、有机功能层7、阴极层(第二电极层)9、和密封层11。

[支撑基板]

支撑基板3由对可见光(波长400nm~800nm的光)具有透光性的树脂构成。支撑基板3为膜状的基板(柔性基板、具有挠性的基板)。支撑基板3的厚度例如为30μm以上且500μm以下。

支撑基板3例如为塑料膜。支撑基板3的材料例如包括聚醚砜(pes);聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)等聚酯树脂;聚乙烯(pe)、聚丙烯(pp)、环状聚烯烃等聚烯烃树脂;聚酰胺树脂;聚碳酸酯树脂;聚苯乙烯树脂;聚乙烯醇树脂;乙烯-乙酸乙烯酯共聚物的皂化物;聚丙烯腈树脂;乙缩醛类树脂;聚酰亚胺树脂;环氧树脂。

对于支撑基板3的材料,在上述树脂当中,由于耐热性高、线膨胀率低、并且制造成本低,因此优选聚酯树脂、聚烯烃树脂,特别优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯。另外,这些树脂可以单独使用一种,也可以组合使用两种以上。

如图2所示,在支撑基板3的长度方向的一端及另一端(两端),分别设有引线部4a、4b。引线部4a、4b是卷绕在芯c(参照图6)的区域、或缠绕在卷绕支撑基板3而成的卷筒r(参照图6)的外周的区域。引线部4a、4b可以与支撑基板3一体化形成,也可以安装于支撑基板3。另外,引线部4a、4b可以由与支撑基板3相同的材料形成,也可以由与支撑基板3不同的材料形成。

引线部4a、4b的长度l被设定为大于卷绕支撑基板3而成的卷筒r的外周的长度。具体而言,引线部4a、4b的长度l例如可以利用以下的式(1)求出。

l=2πd…(1)

在上述式中,d是卷绕而成的卷筒r的直径[m]。直径d可以利用以下的式(2)求出。

[数1]

上述式(2)中,t为支撑基板3的厚度[m],l为卷筒r的全长[m],d为芯c的直径[m]。

引线部4a、4b分别具有遮蔽水分和/或氧的阻气性。具体而言,如图3所示,在引线部4a、4b,形成有阻气层6。在支撑基板3的引线部4a的一个主面4aa配置有阻气层6。在支撑基板3的引线部4b的一个主面4aa也配置有阻气层6。需要说明的是,也可以在支撑基板3的引线部4a、4b的另一个主面4ab配置阻气层6,还可以在一个主面4aa及另一个主面4ab的两面配置阻气层6。

阻气层6为阻气膜或金属箔。阻气膜例如为形成于支撑基板3上的氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、或氧化铝等无机氧化物的单层或双层的薄膜。为了改良脆弱性,阻气膜优选为由上述无机氧化物的层(无机层)和有机材料的层(有机层)形成的多层结构。无机层与有机层的层叠顺序没有限定,然而优选将两层交替地层叠多次。阻气膜的形成方法例如可以举出真空蒸镀法、溅射法、反应性溅射法、分子束外延法、离子镀法、等离子体聚合法、大气压等离子体聚合法、等离子体cvd法、激光cvd法、热cvd法、涂布法。

作为金属箔,例如可以使用铝、铜或镍等金属材料、或者不锈钢或铝合金等合金材料。需要说明的是,引线部4a、4b也可以是引线部4a、4b自身由具有阻气性的材料形成。

[阳极层]

阳极层5配置于支撑基板3的一个主面3a上。作为阳极层5,使用显示出透光性的电极层。作为显示出透光性的电极,可以使用电导率高的金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜,适合使用透光率高的薄膜。例如使用由氧化铟、氧化锌、氧化锡、铟锡氧化物(indiumtinoxide:简称为ito)、铟锌氧化物(indiumzincoxide:简称为izo)、金、铂、银、以及铜等形成的薄膜,它们当中适合使用由ito、izo、或氧化锡形成的薄膜。

作为阳极层5,也可以使用聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物等有机物的透明导电膜。另外,作为阳极层5,也可以使用将金属或金属合金等图案处理为网眼状的电极、或以网络状形成包含银的纳米线的电极。

阳极层5的厚度可以考虑光的透射性、电导率等来确定。阳极层5的厚度通常为10nm~10μm,优选为20nm~1μm,更优选为50nm~500nm。

作为阳极层5的形成方法,可以举出真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、镀敷法及涂布法等。

[有机功能层]

有机功能层7配置于阳极层5及支撑基板3的一个主面3a上。有机功能层7包含发光层。有机功能层7通常主要包含发出荧光和/或磷光的有机物、或者包含该有机物和辅助它的发光层用掺杂剂材料。发光层用掺杂剂材料例如是为了提高发光效率、改变发光波长而加入。需要说明的是,有机物可以是低分子化合物,也可以是高分子化合物。作为构成有机功能层7的发光材料,例如可以举出后述的色素材料、金属络合物材料、高分子材料、发光层用掺杂剂材料。

(色素材料)

作为色素材料,例如可以举出环喷他明及其衍生物、四苯基丁二烯及其衍生物、三苯基胺及其衍生物、噁二唑及其衍生物、吡咯并喹啉及其衍生物、二苯乙烯基苯及其衍生物、二苯乙烯基亚芳基及其衍生物、吡咯及其衍生物、噻吩化合物、吡啶化合物、紫环酮及其衍生物、苝及其衍生物、低聚噻吩及其衍生物、噁二唑二聚物及其衍生物、吡唑啉二聚物及其衍生物、喹吖啶酮及其衍生物、香豆素及其衍生物。

(金属络合物材料)

作为金属络合物材料,例如可以举出作为中心金属具有tb、eu、dy等稀土类金属、或al、zn、be、pt、ir等、作为配体具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等金属络合物。作为金属络合物,例如可以举出铱络合物、铂络合物等具有来自于三重激发态的发光的金属络合物、羟基喹啉铝络合物、苯并羟基喹啉铍络合物、苯并噁唑锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉锌络合物、菲咯啉铕络合物等。

(高分子材料)

作为高分子材料,例如聚亚苯基亚乙烯基(ポリフェニレンビニレン)及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚对苯撑及其衍生物、聚硅烷及其衍生物、聚乙炔及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚乙烯基咔唑及其衍生物、将上述色素材料、金属络合物材料加以高分子化而成的材料。

(发光层用掺杂剂材料)

作为发光层用掺杂剂材料,例如苝及其衍生物、香豆素及其衍生物、红荧烯及其衍生物、喹吖啶酮及其衍生物、方酸内鎓盐及其衍生物、卟啉及其衍生物、苯乙烯基色素、并四苯及其衍生物、吡唑啉酮及其衍生物、十环烯及其衍生物、吩噁嗪酮及其衍生物。

有机功能层7的厚度通常为2nm~200nm。有机功能层7例如是利用使用包含如上所述的发光材料的涂布液(例如墨液)的涂布法来形成。作为包含发光材料的涂布液的溶剂,只要是溶解发光材料的溶剂,就没有限定。

[阴极层]

阴极层9配置于有机功能层7及支撑基板3的一个主面3a上。阴极层9与引出电极9a电连接。引出电极9a配置于支撑基板3的一个主面3a。引出电极9a被与阳极层5隔开给定的间隔配置。引出电极9a的厚度与阳极层5的厚度同等。引出电极9a的材料与阳极层5的材料相同。

作为阴极层9的材料,例如可以使用碱金属、碱土类金属、过渡金属及周期表第13族金属。作为阴极层9的材料,更具体而言,例如可以使用锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等金属、所述金属中的2种以上的合金、所述金属中的1种以上与金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡中的1种以上的合金、或者石墨或石墨层间化合物等。作为合金的例子,可以举出镁-银合金、镁-铟合金、镁-铝合金、铟-银合金、锂-铝合金、锂-镁合金、锂-铟合金、钙-铝合金。

另外,作为阴极层9,例如可以使用由导电性金属氧化物及导电性有机物等形成的透明导电性电极。作为导电性金属氧化物,具体而言,例如可以举出氧化铟、氧化锌、氧化锡、ito、以及izo。作为导电性有机物,具体而言,例如可以举出聚苯胺及其衍生物、聚噻吩及其衍生物。需要说明的是,阴极层9也可以由层叠2层以上的层叠体构成。需要说明的是,有时也将电子注入层作为阴极层9使用。

阴极层9的厚度可以考虑电导率、耐久性而设定。阴极层9的厚度通常为10nm~10μm,优选为20nm~1μm,更优选为50nm~500nm。

作为阴极层9的形成方法,例如可以举出真空蒸镀法、溅射法、以及热压接金属薄膜的层压法及涂布法。

[密封层]

密封层11在有机el元件1中配置于最上部。密封层11被利用胶粘合层(未图示)接合。密封层11由在金属箔、透明的塑料膜的表面或者背面或其两面形成屏蔽功能层的屏蔽膜、或具有柔性的薄膜玻璃、在塑料膜上层叠有具有屏蔽性的金属的膜等形成,具有阻气功能、特别是阻水功能。作为金属箔,从屏蔽性的观点出发,优选铜、铝、不锈钢。从抑制针孔的观点出发,金属箔的厚度越厚越好,然而如果也从柔性的观点考虑,则优选为15μm~50μm。

[有机器件的制造方法]

接下来,参照图4,对具有上述构成的有机el元件1的制造方法进行说明。

有机el元件1的制造方法中,如图5示意性所示,采用卷对卷方式(连续运送方式)。在利用卷对卷方式制造有机el元件1的情况下,一边连续地用运送辊31运送架设于卷出辊30a与卷绕辊30b之间的长尺寸的挠性的支撑基板3,一边从支撑基板3侧依次形成各层。需要说明的是,图5中,作为一例表示出从基板干燥工序s01到阴极层形成工序s04的工序。

如图4所示,在制造有机el元件1的情况下,最先,加热支撑基板3,使支撑基板3干燥(基板干燥工序s01)。然后,在经过干燥的支撑基板3(一个主面3a)上,形成阳极层5及引出电极9a(阳极层形成工序(形成工序)s02)。阳极层5(引出电极9a)可以利用阳极层5的说明时所例示的形成方法来形成。

接下来,在阳极层5上形成有机功能层7(有机功能层形成工序(形成工序)s03)。有机功能层7可以利用有机功能层7的说明时所例示的形成方法来形成。然后,在有机功能层7上形成阴极层9(阴极层形成工序(形成工序)s04)。阴极层9可以利用阴极层9的说明时所例示的形成方法来形成。

接下来,将形成有阴极层9的支撑基板3卷绕成卷筒状(卷绕工序s05)。如图6所示,当支撑基板3被卷绕在芯c上时,即形成卷筒r。卷筒r中,引线部4a卷绕在芯c上。引线部4b缠绕在卷筒r的外周。由此,卷筒r中,内侧由引线部4a覆盖,外侧由引线部4b覆盖。此后,将卷筒r保管在例如保管库等中(保管工序s06)。

接下来,准备保管工序s06中所保管的卷筒r,将形成于支撑基板3上的有机功能层7及阴极层9利用密封层11密封(密封工序s07)。具体而言,准备卷筒r,在卷出辊30a与卷绕辊30b之间架设支撑基板3,贴合密封层11。利用以上操作,制造有机el元件1。

如上说明所示,本实施方式的有机器件的制造方法中,所使用的带状的具有挠性的支撑基板3在长度方向的一端及另一端分别具有引线部4a、4b。引线部4a、4b具有阻气性。由此,在保管工序s06中将支撑基板3卷绕成卷筒状时,在卷筒r的内侧及外侧配置引线部4a、4b。因此,利用引线部4a、4b的阻气性,保护有机功能层7及阴极层9免受氧和/或水分的影响。如此所述,在有机器件的制造方法中,即使不使用保护膜或非活性气体也可以保护有机功能层7及阴极层9,因此可以在压低制造成本的同时抑制劣化。

本实施方式中,在支撑基板3上依次形成阳极层5、有机功能层7、以及阴极层9后,卷绕支撑基板3而保管。由此,就可以利用引线部4a、4b来抑制由阳极层5、有机功能层7、以及阴极层9构成的有机el元件(有机器件)的劣化。

本实施方式中,在引线部4a、4b,设有利用阻气膜或金属箔形成的阻气层6。由此,可以确保引线部4a、4b的阻气性。

本实施方式中,引线部4a、4b的长度大于卷绕支撑基板3而形成的卷筒r的外周的长度。由此,卷筒r的外周就由引线部4a或引线部4b覆盖,因此可以更加可靠地抑制氧和/或水分侵入有机功能层7及阴极层9。

需要说明的是,本发明并不限定于上述的本实施方式,可以进行各种变形。例如,上述实施方式中,例示出在阳极层5与阴极层9之间配置有包括发光层的有机功能层7的有机el元件1。但是,有机功能层7的构成并不限定于此。有机功能层7也可以具有以下的构成。

(a)(阳极层)/发光层/(阴极层)

(b)(阳极层)/空穴注入层/发光层/(阴极层)

(c)(阳极层)/空穴注入层/发光层/电子注入层/(阴极层)

(d)(阳极层)/空穴注入层/发光层/电子传输层/电子注入层/(阴极层)

(e)(阳极层)/空穴注入层/空穴传输层/发光层/(阴极层)

(f)(阳极层)/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子注入层/(阴极层)

(g)(阳极层)/空穴注入层/空穴传输层/发光层/电子传输层/电子注入层/(阴极层)

(h)(阳极层)/发光层/电子注入层/(阴极层)

(i)(阳极层)/发光层/电子传输层/电子注入层/(阴极层)

此处,记号“/”表示夹隔着记号“/”的各层被相邻地层叠。

空穴注入层、空穴传输层、电子传输层及电子注入层的各自的材料可以使用公知的材料。空穴注入层、空穴传输层、电子传输层及电子注入层分别可以例如与有机功能层7相同地利用涂布法来形成。

有机el元件1可以具有单层的有机功能层7,也可以具有2层以上的有机功能层7。在上述(a)~(i)的层构成中的任意一个中,如果将配置于阳极层5与阴极层9之间的层叠结构设为“结构单元a”,则作为具有2层的有机功能层7的有机el元件的构成,例如可以举出下述(j)中所示的层构成。存在有2个的(结构单元a)的层构成可以彼此相同,也可以不同。

(j)阳极层/(结构单元a)/电荷产生层/(结构单元a)/阴极层

此处所谓电荷产生层,是通过施加电场而产生空穴和电子的层。作为电荷产生层,例如可以举出由氧化钒、ito、氧化钼等形成的薄膜。

另外,如果将“(结构单元a)/电荷产生层”设为“结构单元b”,则作为具有3层以上的有机功能层7的有机el元件的构成,例如可以举出以下的(k)中所示的层构成。

(k)阳极层/(结构单元b)x/(结构单元a)/阴极层

记号“x”表示2以上的整数,“(结构单元b)x”表示将(结构单元b)层叠x个而成的层叠体。另外存在有多个的(结构单元b)的层构成既可以相同,也可以不同。

也可以不设置电荷产生层,而是将多个有机功能层7直接层叠来构成有机el元件。

上述实施方式中,作为一例说明了利用卷对卷方式在支撑基板3上形成阳极层5的方式。但是,也可以在支撑基板3上预先形成阳极层5,一边连续地用运送辊31运送架设于卷出辊30a与卷绕辊30b之间的长尺寸的形成有阳极层5的支撑基板3,一边实施有机el元件1的制造的各工序。

上述实施方式中,实施了基板干燥工序s01,然而也可以不实施基板干燥工序s01。

上述实施方式中,作为一例说明了在阴极层形成工序s04后实施卷绕工序s05及保管工序s06的方式。但是,卷绕工序及保管工序也可以在有机功能层形成工序s03后实施。卷绕工序及保管工序可以在任意的时机(各工序的途中)实施。

也可以在上述实施方式的基础上,还在支撑基板3的一个主面(表面)3a及另一个主面(背面)3b的至少一方设置阻气层。由此,就可以进一步抑制氧和/或水分侵入有机功能层7及阴极层9。

可以在上述实施方式的基础上,在有机器件的制造方法中,采用以下的方法。对于其他实施方式的有机器件的制造方法,参照图7及图8进行说明。需要说明的是,由于图8中的基板干燥工序s11到卷绕工序s15与上述实施方式的基板干燥工序s01到卷绕工序s05相同,因此省略详细的说明。

如图7所示,在支撑基板3上,设有感温性粘合片(感温性粘合构件)13。感温性粘合片13分别配置于支撑基板3的宽度方向上的两个端部的一个主面3a上,被沿着长度方向粘贴。感温性粘合片13在给定的第一温度以上时粘合力变高并且在给定的第二温度以下时粘合力变低。具体而言,感温性粘合片13例如在50℃以上时显现出粘合性,在3℃以下时粘合力降低(能够相对于其他的构件剥离)。

在卷绕工序s15后,对卷筒r实施加热处理(加热工序s16)。加热工序s16中,例如通过将卷筒r投入50℃以上的烘箱等加热室中而加热卷筒r。通过加热卷筒r,而在感温性粘合片13中显现出粘合性(粘合性变高),感温性粘合片13与支撑基板3的另一个主面3b密合。此后,将卷筒r例如保管在保管库等中(保管工序s17)。

接下来,准备保管工序s17中所保管的卷筒r,对卷筒r实施低温处理(低温处理工序s18)。低温处理工序s18中,例如通过将卷筒r投入3℃以下的冷却室,而对卷筒r实施低温处理。通过对卷筒r实施低温处理,感温性粘合片13的粘合力就会降低,从支撑基板3的另一个主面3b剥离感温性粘合片13。此后,将形成于支撑基板3上的有机功能层7及阴极层9利用密封层11密封(密封工序s19)。具体而言,准备实施了低温处理的卷筒r,在卷出辊30a与卷绕辊30b之间架设支撑基板3,贴合密封层11。利用以上操作,制造有机el元件1。

上述的有机器件的制造方法中,由于支撑基板3的另一个主面3b与感温性粘合片13密合,因此可以抑制氧和/或水分从支撑基板3的宽度方向侧侵入。因而,可以进一步保护有机功能层7及阴极层9,可以抑制劣化。

上述实施方式中,在加热工序s16中,以加热卷筒r整体的方式作为一例进行了说明,然而也可以用聚光加热器加热粘贴有感温性粘合片13的卷筒r的两个端部。另外,在低温处理工序s18中,以对卷筒r整体实施低温处理的方式作为一例进行了说明,然而也可以在将卷筒r退绕时对感温性粘合片13吹送冷风。

上述实施方式中,以在卷绕工序s15中形成卷筒r后在加热工序s16中加热卷筒r的方式作为一例进行了说明。但是,也可以在将支撑基板3卷绕成卷筒状前,例如利用覆膜机加热感温性粘合片13。即,也可以在加热工序后实施卷绕工序。

上述实施方式中,作为有机器件,以有机el元件作为一例进行了说明。有机器件也可以是有机薄膜晶体管、有机光检测器、有机薄膜太阳电池等。

符号的说明

1有机el元件(有机器件),3支撑基板(基材),3a一个主面(表面),3b另一个主面(背面),4a、4b引线部,5阳极层(第一电极层),7有机功能层,9阴极层(第二电极层),13感温性粘合片(感温性粘合构件),r卷筒,s02、s12阴极层形成工序(形成工序),s03、s13有机功能层形成工序(形成工序),s04、s14阴极层形成工序(形成工序),s05、s15卷绕工序,s06、s17保管工序,s16加热工序,s18低温处理工序。

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