双螺旋电极低温等离子体发生器的制作方法

文档序号:12909912阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,包括宽螺距螺旋状外电极丝、无间距螺旋状内电极丝、管状绝缘体,宽螺距螺旋状外电极丝缠绕在管状绝缘体上,无间距螺旋状内电极丝位于管状绝缘体内部。

2.根据权利要求1所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述宽螺距螺旋状外电极丝的材料和无间距螺旋状内电极丝的材料都为不锈钢或镀铬钢丝。

3.根据权利要求1所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述宽螺距螺旋状外电极丝、无间距螺旋状内电极丝与管状绝缘体之间都没有间隙。

4.根据权利要求1所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述管状绝缘体的形状是空心的圆柱形。

5.根据权利要求1所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述管状绝缘体内抽出真空后用硅胶封住。

6.根据权利要求1所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述管状绝缘体的两端分别连接一个第一定位套、一个第二定位套,第一定位套的一端直径大于管状绝缘体的直径;第二定位套的一端直径等于管状绝缘体的直径。

7.根据权利要求6所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述第一定位套上设有一个第一凸起,第二定位套上设有一个第二凸起。

8.根据权利要求7所述的双螺旋电极低温等离子体发生器,其特征在于,所述第一凸起内设有一个第一凹孔,第二凸起上设有一个第二凹孔。

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