单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路的制作方法

文档序号:13174569阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:包括石英基板鳍线电路(1)、两个同向串联的GaAs基太赫兹肖特基二极管(2)、射频输入波导(3)和射频输出波导(4),所述石英基板鳍线电路(1)包括石英电路基板(11)和位于石英电路基板(11)上的第一至第二输入鳍线(12,13)和第一至第二输出鳍线(14,15),所述第一输入鳍线(12)的一端与第一输出鳍线(14)的一端相连接后构成前侧鳍线,所述第二输入鳍线(13)的一端与第二输出鳍线(15)的一端相连接连接后构成后侧鳍线,所述前侧鳍线与后侧鳍线之间保持一定的间隔,且两者之间的距离从左到右先逐渐变小,再保持一段距离不变,后逐渐变大;两个所述肖特基二极管的一端与前侧鳍线电连接,两个所述肖特基二极管的另一端与后侧鳍线电连接,且所述肖特基二极管位于前侧鳍线与后侧鳍线间距离保持不变的位置处,两个所述肖特基二极管之间为并联连接;所述石英电路基板(11)的一端位于所述射频输入波导(3)的波导槽内,所述石英电路基板(11)的另一端位于所述射频输出波导(4)的波导槽内。

2.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述倍频电路还包括石英匹配调节介质块(5),所述介质块的一端通过导电胶与所述前侧鳍线电连接,所述介质块的另一端通过导电胶与所述后侧鳍线电连接。

3.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述石英电路基板(11)包括输入石英电路基板(111)和输出石英电路基板(112),所述输入鳍线位于所述输入石英电路基板(111)上,所述输出鳍线位于所述输出石英电路基板(112)上。

4.如权利要求3所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述输入石英电路基板(111)的宽度大于所述输出石英电路基板(112)的宽度。

5.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述肖特基二极管的两端通过导电胶与所述鳍线实现电连接。

6.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述肖特基二极管包括四个以上相互串联的肖特基二极管结(21),最外侧的两个所述肖特基二极管结的两个自由端为所述同向串联的GaAs基太赫兹肖特基二极管的两个电极。

7.如权利要求6所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述肖特基二极管中单个肖特基二极管结(21)的直径为4微米,串联电阻3欧姆,结电容12fF,寄生电容3fF。

8.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述鳍线使用Au制作,厚度为2微米至4微米。

9.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述石英电路基板(11)的厚度为30微米到75微米。

10.如权利要求1所述的单面石英鳍线太赫兹平衡式三次倍频电路,其特征在于:所述石英基板鳍线电路放置在波导的b方向中心处。

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