工件载台的制作方法

文档序号:14771788发布日期:2018-06-23 01:39阅读:167来源:国知局

本实用新型涉及除静电技术领域,具体而言,涉及一种工件载台。



背景技术:

目前,USC清洗设备离子消除棒在去除静电时存在很多的不足,不能达到有效去除静电的效果。现有技术中的离子消除棒位置角度固定,其设置在玻璃板的上方,且位于玻璃板离开载台本体的一侧,在通过该离子消除棒进行除静电时,只能去除玻璃板上表面的静电,而无法去除玻璃板下表面的静电,使得玻璃板的下表面依然带电。因此通过现有装置无法对玻璃板的下表面进行除静电操作。



技术实现要素:

本实用新型提供一种工件载台,以解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题。

本实用新型提供了一种工件载台,工件载台包括:载台本体;升降装置,可升降地设置在载台本体上,升降装置用于升降待除静电工件;第一除静电装置,固定设置在升降装置上,且位于待除静电工件的下方,第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。

进一步地,第一除静电装置包括多个离子棒单元,多个离子棒单元均匀设置在升降装置上。

进一步地,升降装置的顶端用于放置待除静电工件,每个离子棒单元距离升降装置顶端的距离均相同。

进一步地,离子棒单元距离升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内。

进一步地,升降装置包括多个升降顶针,多个升降顶针可升降地设置在载台本体上,至少部分升降顶针上设置有离子棒单元。

进一步地,每个升降顶针上对应设置有一个离子棒单元。

进一步地,载台本体上设置有多个通孔,多个升降顶针一一对应地穿设在多个通孔内。

进一步地,第一除静电装置还包括控制装置,控制装置分别与多个离子棒单元相连接,控制装置用于控制多个离子棒单元工作。

进一步地,每个离子棒单元的供气压力范围为0.1Mpa-0.8Mpa。

进一步地,工件载台还包括第二除静电装置,第二除静电装置设置在载台本体的上方,待除静电工件位于第二除静电装置与升降装置之间。

应用本实用新型的技术方案,该工件载台包括载台本体、升降装置和第一除静电装置。升降装置可升降地设置在载台本体上,升降装置用于升降待除静电工件。第一除静电装置固定设置在升降装置上,且第一除静电装置位于待除静电工件的下方,第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。采用本实用新型提供的工件载台,将待除静电工件放置于升降装置上,位于升降装置上的第一除静电装置便可去持续除该待除静电工件底面的静电,如此能够解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题,使该工件载台达到更好地除静电效果。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:

图1示出了本实用新型提供的工件载台的结构示意图。

其中,上述附图包括以下附图标记:

10、载台本体;20、升降顶针;30、离子棒单元;40、第二除静电装置;50、机械手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示,本实用新型实施例提供一种工件载台。该工件载台包括载台本体10、升降装置和第一除静电装置。其中,升降装置可升降地设置在载台本体10上,升降装置用于升降待除静电工件。第一除静电装置,固定设置在升降装置上,且位于待除静电工件的下方,第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。

使用本实施例中的工件载台,将待除静电工件放置于升降装置上,位于升降装置上的第一除静电装置便开始去除该待除静电工件底面的静电,该工件载台能够持续对该待除静电工件去除静电。同时,由于第一除静电装置固定设置在升降装置上,使得第一除静电装置与待除静电工件之间的距离值始终保持一致,能达到均一的除静电效果。因此,采用本实施例中的工件载台可以解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题,同时使用该工件载台可以达到更好、更均匀的除静电效果。由于该装置对待除静电工件进行持续去除静电,使得在该待除静电工件与载台本体10分离时,该待除静电工件上残留的静电较少,因而也不会存在较大的粘着力,减少了粘片和静电击伤现象的发生。

具体地,第一除静电装置包括多个离子棒单元30,多个离子棒单元30均匀设置在升降装置上,采用这样的设置是为了更好地去除该待除静电工件底面的静电。当待除静电工件放置于升降装置上时,由于多个离子棒单元30均匀设置在升降装置上,使得该待除静电工件上的静电能被有效去除,以达到更好地除静电效果。

在本实施例中,待除静电工件放置于升降装置的顶端,这样升降装置在升降时将带动待除静电工件的升降。为了保证均一的除静电效果,使每个离子棒单元30距离升降装置顶端的距离均相同。同时,由于每个离子棒单元30均固定设置在升降装置上,在升降装置的升降过程中,可以始终使每个离子棒单元30与待除静电工件在垂直方向的距离保持一致。

具体地,离子棒单元30距离升降装置顶端的距离在10mm-20mm范围内,如此以达到更好的静电去除效果。

在本实施例中,升降装置包括多个升降顶针20,多个升降顶针20可升降地设置在载台本体10上,以实现对待除静电工件的升降。同时,为了消除待除静电工件的静电,升降装置中至少部分升降顶针20上设置有离子棒单元30。

具体地,每个升降顶针20上对应设置有一个离子棒单元30,如此以达到均一的除静电效果。

在本实施例中,为了便于升降顶针20顺利的完成升降过程,在载台本体10上设置有多个通孔,多个升降顶针20一一对应地穿设在多个通孔内,使升降顶针20在升降过程中沿通孔伸出或缩回。

具体地,第一除静电装置还包括控制装置,控制装置分别与多个离子棒单元30相连接,控制装置用于控制多个离子棒单元30工作。在本实施例中,该控制装置可以控制所有的离子棒单元30的供气压力,以达到均一的除静电效果,并且便于操作人员进行控制。

经过反复试验验证,当每个离子棒单元30的供气压力范围在0.1Mpa-0.8Mpa时,该工件载台的除静电效果更好。操作人员可以根据实际的工作情况,调节每个离子棒单元30的最佳供气压力,如此可以达到快速且有效消除静电的效果。

为了去除待除静电工件表面的静电,在本实施例中,工件载台还包括第二除静电装置40。该第二除静电装置40设置在载台本体10的上方,待除静电工件位于第二除静电装置40与升降装置之间。第二除静电装置40可放置于该工件载台的一侧,也可放置在工件载台的两侧。本实施例中的第二除静电装置40为整支横列式的离子棒。通过第二除静电装置40去除工件上表面的静电,通过第一除静电装置去除工件下表面的静电,如此可避免待除静电工件上的某些部分静电去除效果较好,而剩下部分仍残留有大量的静电的现象,提高了工件载台的除静电效果。

在本实施例中,工件载台还包括机械手50。机械手50设置在工件载台的两侧,该机械手50用于搬运待除静电工件。为了保证机械手50能顺利搬运待除静电工件,机械手50的机械臂应与本实施例中的升降顶针20错位设置。具体地,先通过升降装置将工件升起,然后将机械手50移动至工件下方,并将工件抓起,然后再通过机械手50将工件转移至下一工位。

采用本实施例中的工件载台,首先,机械手50将待除静电工件放置于工件载台上,随后,升降顶针20升起以拖住该待除静电工件,此时,设置在升降顶针20上的离子棒单元30开始对该待除静电工件去除静电。由于本实施例中的每个升降顶针20上均设置有离子棒单元30,且所有的离子棒单元30距离待除静电工件的距离相等,如此以达到了均一的除静电效果。同时,由于在待除静电工件上方设置有第二除静电装置40,使得该工件载台可以达到更好地除静电效果。当该工件载台完成对待除静电工件的除静电工作后,机械手50从待除静电工件的底部插入,且机械手50的机械臂避开了升降顶针20的位置,随后,升降顶针20下降以使该待除静电工件放置于机械臂上,如此以完成了对待除静电工件的除静电工作。

现有技术中的除静电装置放置于单一位置,无法有效去除待除静电工件的所有位置处的静电。且现有技术中的离子消除棒只对工件的单一位置除静电,只能去除对应位置处的工件上的静电,无法同时对整个工件上所有位置处的静电进行消除,因而在该待除静电工件与载台本体10分离时,该工件上仍残留有大量的静电,这些残留的大量静电会产生粘着力,从而容易与载台发生粘连,这样在将工件从载台上分离时会有破片风险,同时也容易造成静电击伤。而本实施例中的工件载台上由于设置有多个离子棒单元30,使得待除静电工件在放置于工件载台上时即可被消除静电,因此即提高了除静电效果的同时,也避免了粘片和静电击伤的现象发生。

需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时,应当明白,为了便于描述,附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制;方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外,需要说明的是,使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件,仅仅是为了便于对相应零部件进行区别,如没有另行声明,上述词语并没有特殊含义,因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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