技术总结
本实用新型提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，包括由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。本实用新型通过整合工艺，直接在同一压电层上形成体声波谐振器的顶电极和表面声波谐振器的叉指电极，缩减了工艺流程，避免原工艺中出现的压电基板破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。
技术研发人员：廖珮淳
受保护的技术使用者：武汉衍熙微器件有限公司
技术研发日：2018.02.08
技术公布日：2018.09.14