电子加速器钛箔支撑法兰结构的制作方法

本实用新型涉及电子扫描技术领域，尤其是涉及一种电子加速器钛箔支撑法兰结构。

背景技术：

电子加速器是一种通过高电压加速电子束，并把电子束引出轰击到扫描产品上，达到扫描改性的目的。通过加热电子加速器电子枪灯丝引出电子束，灯丝需加热至2000℃左右的高温，因此灯丝加热的过程中必须是在高真空的场合下进行，才能避免氧化烧断。电子束在加速的过程中避免由空气引起的衰减，也必须是高真空的场合。而钛箔就用于隔断真空和空气的一种由钛材料制成的薄膜。传统电子加速器由于能量较高，穿透性较好，可采用较厚的钛箔进行封闭，钛箔厚度在0.03mm-0.05mm，钛箔强度较好，因此可不需要支撑。

随着电子加速器的应用范围越来越广，低能电子加速器的不断应用。因为低能的电子加速器的能量很低，如采用厚钛箔密封，电子束在穿透钛箔时产生的损耗很大，甚至束流完全被钛箔吸收，发射不出来，因此必须减小钛箔的厚度，钛箔厚度可达到0.007mm-0.01mm，这么薄的钛箔强度非常的低，就必须开发一种钛箔支撑法兰，一方面为了支撑钛箔，另一方面为了冷却钛箔因束流引出产生的热量。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种应用于低能电子加速器且支撑钛箔的电子加速器钛箔支撑法兰结构。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种电子加速器钛箔支撑法兰结构，包括法兰本体、位于法兰本体中部的格栅，在所述的法兰本体上设有用于冷却法兰本体的冷却水道，所述的格栅相对于法兰本体的镂空比大于80%。

进一步具体的，所述的格栅的筋板倾斜且其倾斜的角度与电子加速器扫描角度一致。

进一步具体的，所述的冷却水道位于法兰本体的外部并盘绕在法兰本体上。

进一步具体的，所述的冷却水道位于法兰本体的内部并设置于法兰本体的侧边。

进一步具体的，所述的冷却水道包括位于法兰本体内部一侧且贯穿法兰本体的第一水道、位于法兰本体内部另一侧且贯穿法兰本体的第二水道以及位于法兰本体端部连通于第一水道和第二水道的连接管。

进一步具体的，在所述的法兰本体四周均设置用于固定的螺栓孔。

进一步具体的，所述的格栅形成的镂空为圆形、矩形、椭圆形或者异形孔中的一种或者多种。

进一步具体的，在所述的法兰本体的正面以及反面上均设置连续的密封槽。

进一步具体的，所述的法兰本体采用铜质材料加工而成。

进一步具体的，所述的法兰本体与格栅为一体化，所述的格栅采用去料加工而成。

本实用新型的有益效果是：通过格栅的设置起到支撑钛箔同时保证电子束穿透钛箔实现扫描，大于80%的镂空比进一步提高扫描的效率，冷却水道能够对法兰本体进行降温，提高法兰本体的使用寿命；整体结构简单，使用方便，提高低能电子加速器的使用范围。

附图说明

图1是本实用新型第一种实施例的结构示意图；

图2是本实用新型第二种实施例的结构示意图。

图中：1、法兰本体；2、格栅；3、筋板；4、第一水道；5、第二水道；6、连接管；7、螺栓孔；8、镂空；9、密封槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详的描述。

如图1与图2所示一种电子加速器钛箔支撑法兰结构，包括法兰本体1、位于法兰本体1中部的格栅2，在所述的法兰本体1上设有用于冷却法兰本体1的冷却水道，当法兰本体1温度较高时，通过在冷却水道内通入冷水进行循环，冷水与法兰本体1接触带走法兰本体1的热量实现降温；所述的格栅2相对于法兰本体1的镂空比大于80%，格栅2的镂空比越大能够穿过的电子束越多，可利用的有效电子束越多，由于电子加速器使用的钛箔的厚度只有0.007mm-0.01mm，故需要通过使用格栅2进行支撑。

格栅2其镂空8的形状可以有多种形式，矩形、正方形、圆形、椭圆形、三角形、梯形以及其它的异形孔，上述各种形状可以使用一种，也可以根据需要采用两种及以上的形状混合并进行合理布局；而各种镂空8之间的筋板3设计为倾斜一定角度的，并保证该角度与电子束的扫描角度一致，这是由于扫描式的电子加速器束条是通过磁场扫描形成的，设置有角度的筋板3是为了不遮挡电子束的束流。

同时本实用新型采用铜质材料制作而成，其中镂空8是通过在铜板上进行去料加工而成的，此种加工方式使得法兰本体1与格栅2为一整体，其接触处的筋板3不容易因为应力而发生变化，提高使用寿命。

在对法兰本体1进行冷却过程中可以采用多种形式，第一种，在法兰本体1外部设置冷却水道，冷却水道采用金属管道制作而成并盘绕在法兰本体1上，为了保证冷却水道与法兰本体1的充分接触，在冷却水道盘绕的法兰本体1上设置凹槽与冷却水道贴合，尽可能多的接触，提高冷却效果；第二种，在法兰本体1内部开设多个冷却水道，并在每个冷却水道内均通入冷却水，并从冷却水道的另一端排出，此种方式位于法兰本体1的内部从而使得接触更加完全，散热效果显著，但是缺点是需要多个冷却水道同时通冷却水，操作麻烦；第三种，基于第二种方式在相邻的冷却水道之间通过管道连接，使得所有的冷却水道之间串联，一端进水另一端出水，方便实用。

基于上述第三种方式本实用新型的结构为，冷却水道包括位于法兰本体1内部一侧且贯穿法兰本体1的第一水道4、位于法兰本体1内部另一侧且贯穿法兰本体1的第二水道5以及位于法兰本体1端部连通于第一水道4和第二水道5的连接管6，使得第一水道4、连接管6、第二水道5形成串联，在第一水道4的进口通入冷却水，冷却水顺着第一水道4进入连接管6，之后从连接管6进入到第二水道5内并从第二水道5的出口流程，实现冷却的过程。

为了方便进行固定，在法兰本体1的四周均设置用于固定的螺栓孔7，通过螺栓孔7将法兰本体1连同钛箔固定在电子加速器的扫描钛窗上；其固定方式可以有多种形式，上述方式为其中一种，也可以通过快速连接的卡扣结构能够提高更换钛箔的效率以及检修的效率。

由于在电子束进行扫描的过程中会影响其它物体，为了防止其从法兰本体1处泄漏，在法兰本体1的正面以及反面均设置一连续的密封槽9，在安装过程中同时在两处密封槽9内安装密封圈以达到密封的效果。

综上，采用冷却水道的设置能够及时对法兰本体1以及钛箔进行降温，提高法兰本体1与钛箔的使用寿命；同时使得格栅2的镂空比大于80%，能够保证电子束的有效利用；而格栅2的筋板3设计为与电子束的扫描角度一致，提高扫描效果；结构简单，使用方便，同时能够延长使用寿命节省成本。

需要强调的是：以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。