基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置的制作方法

文档序号:18187526发布日期:2019-07-17 05:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,包括工作电源、脉冲信号发生器、射频电源、射频匹配器、储气瓶和等离子发生器,所述工作电源和脉冲信号发生器分别与射频电源连接,对射频电源产生的射频信号进行调制,所述射频电源的输出端与射频匹配器连接,所述射频匹配器与插装在等离子发生器中的针电极连接,向针电极施加一定射频功率,所述等离子发生器的进气口端与储气瓶连接,所述等离子发生器的射流出口端套装有接地电极。

2.根据权利要求1所述的基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,所述等离子发生器采用空心管状结构的空心介质管,所述空心介质管采用石英玻璃制成。

3.根据权利要求2所述的基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,所述针电极的一端插装在空心介质管中,所述针电极与空心介质管之间设置有密封装置。

4.根据权利要求1所述的基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,所述针电极为空心管状结构,由金属材料制成。

5.根据权利要求1所述的基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,所述接地电极为环状结构,由金属材料制成。

6.根据权利要求1所述的基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,所述工作电源为交流电源。

7.根据权利要求1所述的基于脉冲调制射频的大气压低功耗室温等离子体射流装置,其特征是,所述储气瓶与等离子发生器的进气口端连接的管道上设置有流量计。

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