一种均热板及电子设备的制作方法

1.本技术涉及电子产品技术领域，尤其涉及一种均热板及电子设备。


背景技术：

2.均热板包括相互扣合的上盖板和下盖板，在上盖板与下盖板之间真空腔，在真空腔内设置有毛细结构，真空腔具有热源区和冷源区，当热量由热源传导至热源区时，在真空环境中，真空腔内液态的冷却介质受热后产生气化现象，即液态的冷却介质吸收热量后体积迅速膨胀形成气态的冷却介质，气态的冷却介质能够充满整个真空腔，当气态的冷却介质到达冷源区时，气态的冷却介质遇冷将会产生液化现象，即气态的冷却介质释放热量后体积迅速收缩形成液态的冷却介质，而液态的冷却介质将会沿毛细结构回流至热源区以进行吸收热量，周而复始，从而实现均热板的散热目的。
3.相关技术中，均热板的真空腔内极易出现涡流现象，从而影响气态的冷却介质的流动速度，进而影响均热板的散热效率。


技术实现要素：

4.针对现有技术中上述不足，本实用新型提供了一种均热板及电子设备，能够提高均热板的散热效率。
5.为了解决上述技术问题，第一方面，本实用新型提供了一种均热板，该均热板包括：
6.下盖板；
7.上盖板，所述上盖板密封扣合于所述下盖板上，且所述上盖板与所述下盖板之间形成真空腔，所述真空腔具有热源区和冷源区；
8.冷却介质，所述冷却介质位于所述真空腔中；
9.毛细结构，所述毛细结构设置在所述真空腔中，用于引导液态的所述冷却介质由所述冷源区移动至所述热源区；
10.导向结构，所述导向结构设置于所述真空腔中，用于引导气态的所述冷却介质由所述热源区移动至所述冷源区。
11.由于冷却介质位于真空腔内，因此，当均热板的热源区吸收热量时，液态的冷却介质受热后极易产生气化的现象，即吸收热量的液态的冷却介质的体积迅速膨胀形成气态的冷却介质，气态的冷却介质由热源区移动至冷源区，也即是说，液态的冷却介质在转化为气态的冷却介质的过程中，能够吸收热源区的热量，并通过气态的冷却介质将吸收的热量移送至冷源区，从而实现对热源区的降温。由于冷源区的温度低，因此，当气态的冷却介质到达冷源区时能够释放热量以形成液态的冷却介质，即通过冷却介质能够将热源区的热量转移至冷源区以实现均热板散热的目的。而到达至冷源区的液态的冷却介质将在毛细结构的毛细作用下由冷源区转移至热源区，以进行下一次热量的转移。
12.另外，通过在真空腔内设置导向结构，能够将气态的冷却介质由热源区引导至冷
源区，如此，既能保证气态的冷却介质的移动方向的一致性，又能避免在真空腔内产生涡流，提高了气态的冷却介质的气流流速，提高了均热板的散热效率。
13.在第一方面可能的实现方式中，所述真空腔包括多个气腔，每个所述气腔内均设置所述导向结构。
14.通过在每个气腔内设置导向结构，进一步提高了每个气腔内气态的冷却介质的流动速度，从而保证了均热板的散热效率。
15.在第一方面可能的实现方式中，所述导向结构包括第一导向板和第二导向板，所述第一导向板与所述第二导向板分别连接于所述上盖板与所述下盖板之间，沿气态的所述冷却介质移动的方向，所述第一导向板具有相对的第一连接端和第一导向端，所述第二导向板具有相对的第二连接端和第二导向端，所述第一连接端与所述第二连接端之间的距离大于第一导向端与第二导向端之间的距离。
16.通过使第一导向板与第二导向板连接于上盖板和下盖板之间，能够使第一导向板和第二导向板固定于气腔内。由于第一连接端与第二连接端之间的距离大于第一导向端与第二导向端之间的距离，因此，气态的冷却介质能够由第一连接端与第二连接端之间较大的间隙流入，再由第一导向端和第二导向端之间较小的间隙流出，从而不易使从较小的间隙流出的气态的冷却介质再由较小的间隙返回，阻止了气态的冷却介质的反方向移动，进而保证了气态的冷却介质的单向移动，避免了气态的冷却介质在气腔移动的过程中出现涡流现象。
17.在第一方面可能的实现方式中，沿垂直于气态的所述冷却介质移动的方向且平行于所述下盖板的方向，所述气腔具有相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一连接端连接于所述第一侧壁，所述第二连接端连接于所述第二侧壁；
18.所述第一导向端位于所述第二导向端与所述第二连接端之间，且所述第一导向端与所述第二导向板之间具有间隙。
19.通过使第一连接端连接于第一侧壁、第二连接端连接于第二侧壁，进一步提高了第一导向板和第二导向板在气腔内设置的牢固性。由于第一连接端连接于第一侧壁，且第一导向端与第二导向板之间具有间隙，因此，气态的冷却介质只能通过第一导向端与第二导向板之间的间隙流出，保证了气态的冷却介质的移动方向的单一性，进而提高了液态的冷却介质的移动速度。
20.在第一方面可能的实现方式中，所述第一导向板与所述第二导向板之间的夹角为锐角。
21.由于第一导向板与第二导向板之间的夹角为锐角，因此，沿气态的所述冷却介质移动的方向，延长了第一导向板与第二导向板分别与气态的冷却介质的接触时间，从而提高了第一导向板与第二导向板的导向效果。
22.在第一方面可能的实现方式中，所述第一导向板和所述第二导向板均包括多个，多个所述第一导向板和多个所述第二导向板均沿气态的所述冷却介质移动的方向依次间隔设置。
23.通过设置多个第一导向板和多个第二导向板，能够增加对气态的冷却介质的导向距离，进而保证了第一导向板和第二导向板对气态的冷却介质的导向效果。
24.在第一方面可能的实现方式中，所述第一导向板的宽度和所述第二导向板的宽度
均为d1，所述气腔的宽度为d2，0.25d2≤d1≤0.5d2。
25.由此，既能便于第一导向板与第二导向板的安装，又能保证第一导向板和第二导向板对气态的冷却介质的导向。
26.在第一方面可能的实现方式中，所述真空腔内还设置有至少一个支撑柱，至少一个所述支撑柱用于将所述真空腔分割成多个气腔，每个所述气腔内均设置所述导向结构；
27.所述导向结构包括特斯拉阀管道，所述特斯拉阀管道的外周壁连接于所述气腔的侧壁。
28.当导向结构为特斯拉阀管道时，只需将特斯拉阀管道安装于气腔内，无需多余的结构，就能够使气态的冷却介质沿特斯拉阀管道的顺向移动，结构简单，安装方便，成本低。
29.在第一方面可能的实现方式中，所述毛细结构设置在所述下盖板朝向所述上盖板的一面上，所述上盖板朝向所述下盖板的一面上设置有多个平行且间隔的支撑柱，多个所述支撑柱的端面分别抵接于所述毛细结构上，多个所述支撑柱将所述真空腔划分为多个所述气腔。
30.由此，通过设置多个平行且间隔的支撑柱，一方面能够防止真空腔塌陷，实现均热板远距离传热的效果，另一方面，在下盖板与上盖板密封扣合时，支撑柱的端面自始都会与毛细结构抵接，因此，无需过多考虑支撑柱的设置位置，从而降低了均热板的安装难度。另外，由于下盖板的面积较大，因此，在下盖板上设置毛细结构时能够降低毛细结构加工的难度。
31.在第一方面可能的实现方式中，所述上盖板朝向所述下盖板的一面上设置有多个平行且间隔的第一支撑柱，所述下盖板朝向所述上盖板的一面上设置有多个平行且间隔的第二支撑柱，多个所述第一支撑柱和多个所述第二支撑柱一一对应，所述第一支撑柱的端面与所述第一支撑柱对应的所述第二支撑柱的端面相抵接，第一支撑柱的端面和/或所述第二支撑柱的端面设置所述毛细结构，多个所述第一支撑柱与多个所述第一支撑柱分别对应的多个所述第二支撑柱将所述真空腔划分为多个所述气腔。
32.通过设置多个第一支撑柱和多个分别与第一支撑柱对应的第二支撑柱，且第一支撑柱的端面与第一支撑柱对应的第二支撑柱的端面相抵接，能够防止均热板的真空腔塌陷，实现了均热板远距离传热的目的。通过毛细结构设置于第一支撑柱的端面和/或第二支撑柱的端面，且多个第一支撑柱与多个第一支撑柱分别对应的多个第二支撑柱将真空腔划分为多个气腔，从而使均热板的气腔与毛细结构间隔设置，由于液态的冷却介质仅能在毛细结构内流动，气态的冷却介质仅能在气腔内流动，从而使真空腔内液态的冷却介质与气态的冷却介质能够分别在不同的空间内流动，实现气液分离的设计目的，进一步减薄了均热板的厚度。
33.在第一方面可能的实现方式中，所述毛细结构包括相互平行的多个毛细凹槽，所述毛细凹槽的延伸方向与所述气态的所述冷却介质移动的方向平行。
34.毛细凹槽便于蚀刻，加工难度较小，结构简单，另外，由于毛细凹槽的延伸方向与气态的冷却介质移动的方向平行，从而冷却介质能够沿毛细凹槽的延伸方向移动，保证了冷却介质的移动效果。
35.在第一方面可能的实现方式中，相邻两个所述毛细凹槽的槽壁上交错开设有多个通槽，所述通槽的宽度小于所述毛细凹槽的宽度。
36.通过在两个相邻的毛细凹槽的槽壁上交错开设有多个通槽，能够使相邻的多个毛细凹槽内的液态的冷却介质相互流通。另外，通过使通槽的宽度小于毛细凹槽的宽度，能够保证相邻的多个毛细凹槽内液态的冷却介质的流通性，从而防止毛细凹槽出现干涸的现象，进而保证了均热板的散热效果。
37.第二方面，本实用新型还提供了一种电子设备，包括第一方面的均热板。
38.由于电子设备采用了上述的均热板，因此，能够提高电子设备的散热效果。
39.与现有技术相比，本技术至少具有如下有益效果：
40.本技术通过在真空腔内设置导向结构，能够将气态的冷却介质由热源区引导至冷源区，如此，既能保证气态的冷却介质的移动方向的一致性，又能避免在真空腔内产生涡流，提高了气态的冷却介质的流速，提高了均热板的散热效率。
附图说明
41.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
42.图1为本实用新型实施例提供的均热板的一种视角的结构示意图之一；
43.图2为本实用新型实施例提供的均热板的另一种视角的结构示意图；
44.图3为本实用新型实施例提供的均热板设置有导向结构的示意图；
45.图4为本实用新型实施例提供的导向结构包括第一导向板和第二导向板的一种结构示意图；
46.图5为本实用新型实施例提供的导向结构包括第一导向板和第二导向板的另一种结构示意图；
47.图6为本实用新型实施例提供的第一导向板和第二导向板的位置关系示意图；
48.图7为本实用新型实施例提供的导向结构为特斯拉阀管道的结构示意图；
49.图8为图1中a处的放大图；
50.图9为本实用新型实施例提供的均热板的一种视角的结构示意图之二；
51.图10为本实用新型实施例提供的第一支撑柱上开设有第一毛细凹槽的部分爆炸示意图；
52.图11为本实用新型实施例提供的第二支撑柱上开设有第二毛细凹槽的部分爆炸示意图；
53.图12为本实用新型实施例提供的第一支撑柱上开设有第一毛细凹槽及第二支撑柱上开设有第二毛细凹槽的部分爆炸示意图；
54.图13为本实用新型实施例提供的第一毛细凹槽和/或第二毛细凹槽的槽壁上开设通槽的结构示意图。
55.附图标记说明：
56.100-均热板；101-真空腔；1011-气腔；1011a-第一侧壁；1011b-第二侧壁；102-热源区；103-冷源区；110-下盖板；111-毛细凹槽；1111-第一毛细凹槽；1112-第二毛细凹槽；111a-通槽；120-上盖板；130-毛细结构；140-导向结构；141-第一导向板；1411-第一连接
端；1412-第一导向端；142-第二导向板；1421-第二连接端；1422-第二导向端；143-特斯拉阀管道；150-支撑柱；151-第一支撑柱；152-第二支撑柱。
具体实施方式
57.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
58.在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
59.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
60.此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
61.此外，术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同)，并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明，“多个”的含义为两个或两个以上。
62.均热板包括相互扣合的上盖板和下盖板，在上盖板与下盖板之间真空腔，在真空腔内设置有毛细结构，真空腔具有热源区和冷源区，当热量由热源传导至热源区时，在真空环境中，真空腔内液态的冷却介质受热后产生气化现象，即液态的冷却介质吸收热量后体积迅速膨胀形成气态的冷却介质，气态的冷却介质能够充满整个真空腔，当气态的冷却介质到达冷源区时，气态的冷却介质遇冷将会产生液化现象，即气态的冷却介质释放热量后体积迅速收缩形成液态的冷却介质，而液态的冷却介质将会沿毛细结构回流至热源区以进行吸收热量，周而复始，从而实现均热板的散热目的。
63.但是，相关技术中，均热板的真空腔内极易出现涡流现象，从而影响气态的冷却介质的流动速度，进而影响均热板的散热效率。
64.鉴于此点，本实用新型实施例提供了一种均热板及电子设备，能够提高均热板的散热效率。
65.下面通过具体的实施例对本技术进行详细说明：
66.图1为本实用新型实施例提供的均热板的一种视角的结构示意图，图2为本实用新型实施例提供的均热板的另一种视角的结构示意图，请结合参照图1和图2，本技术实施例提供了一种均热板100，该均热板100包括下盖板110、上盖板120、冷却介质(图中未示出)、毛细结构130及导向结构140，其中，上盖板120密封扣合于下盖板110上，且上盖板120与下盖板110之间形成真空腔101，真空腔101具有热源区102和冷源区103；冷却介质位于真空腔
101中；毛细结构130设置在真空腔101中，用于引导液态的冷却介质由冷源区103移动至热源区102；导向结构140设置于真空腔101中，用于引导气态的冷却介质由热源区102移动至冷源区103。
67.由于冷却介质位于真空腔101内，因此，当均热板100的热源区102吸收热量时，液态的冷却介质受热后极易产生气化的现象，即吸收热量的液态的冷却介质的体积迅速膨胀形成气态的冷却介质，气态的冷却介质由热源区102移动至冷源区103，也即是说，液态的冷却介质在转化为气态的冷却介质的过程中，能够吸收热源区102的热量，并通过气态的冷却介质将吸收的热量移送至冷源区103，从而实现对热源区102的降温。由于冷源区103的温度低，因此，当气态的冷却介质到达冷源区103时能够释放热量以形成液态的冷却介质，即通过冷却介质能够将热源区102的热量转移至冷源区103以实现均热板100散热的目的。而到达至冷源区103的液态的冷却介质将在毛细结构130的毛细作用下由冷源区103转移至热源区102，以进行下一次热量的转移。
68.相关技术中，气态的冷却介质由热源区102向冷源区103移动的过程中，气态的冷却介质极易出现涡流现象，从而影响真空腔101内气态的冷却介质的移动速度，进而影响均热板100的散热效率。而本技术实施例通过在真空腔101内设置导向结构140，能够将气态的冷却介质由热源区102引导至冷源区103，如此，既能保证气态的冷却介质的移动方向的一致性，又能避免在真空腔101内产生涡流，提高了气态的冷却介质的流速，提高了均热板100的散热效率。
69.另外，可选的，结合参照图1和图2，真空腔101包括多个气腔1011，每个气腔1011内均设置导向结构140。
70.通过在每个气腔1011内均设置导向结构140，能够保证每个气腔1011内气态的冷却介质的速度，进而保证均热板100的散热效果。
71.可选的，如图2所示，气腔1011的宽度s1在0.5mm-3mm之间。当气腔1011的宽度s1小于0.5mm时，会影响气态的冷却介质在气腔1011内的移动速度，进而影响均热板100的冷却效率，当气腔1011的宽度s1大于3mm时，极容易使气腔1011塌陷，因此，为了保证气腔1011的稳定性及均热板100的散热效果，将气腔1011的宽度s1设置在0.5mm-3mm之间。
72.其中，导向结构140可以是多种结构，以下以两种具体的导向结构140进行举例说明。
73.可选的，结合参照图3和图4，导向结构140包括第一导向板141和第二导向板142，第一导向板141与第二导向板142分别连接于上盖板120与下盖板110之间，沿气态的冷却介质移动的方向，第一导向板141具有相对的第一连接端1411和第一导向端1412，第二导向板142具有相对的第二连接端1421和第二导向端1422，第一连接端1411与第二连接端1421之间的距离大于第一导向端1412与第二导向端1422之间的距离。
74.通过使第一导向板141与第二导向板142连接于上盖板120和下盖板110之间，能够使第一导向板141和第二导向板142固定于气腔1011内。由于第一连接端1411与第二连接端1421之间的距离大于第一导向端1412与第二导向端1422之间的距离，因此，气态的冷却介质能够由第一连接端1411与第二连接端1421之间较大的间隙流入，再由第一导向端1412和第二导向端1422之间较小的间隙流出，从而不易使从较小的间隙流出的气态的冷却介质再由较小的间隙返回，阻止了气态的冷却介质的反方向移动，进而保证了气态的冷却介质的
单向移动，避免了气态的冷却介质在气腔1011移动的过程中出现涡流现象。
75.在此对第一导向板141和第二导向板142的形状、结构、厚度等不作限定，只要第一导向板141和第二导向板142能够固定连接于上盖板120与下盖板110之间，且能够对气态的冷却介质进行导向即可。
76.其中，上述气态的冷却介质移动的方向是指气态的冷却介质由热源区102流向冷源区103的方向，即是图4中x1箭头所示的方向。上述第一连接端1411与第二连接端1421之间的距离大于第一导向端1412与第二导向端1422之间的距离是指第一导向板141与第二导向板142之间具有夹角。
77.为了提高第一导向板141与第二导向板142的导向效果，在一种可能的实施例中，如图6所示，第一导向板141与第二导向板142之间的夹角α为锐角。
78.由于第一导向板141与第二导向板142之间的夹角α为锐角，因此，沿气流流向，延长了第一导向板141与第二导向板142分别与气态的冷却介质的接触时间，从而提高了第一导向板141与第二导向板142的导向效果。
79.上述的锐角是指第一导向板141的板面与第二导向板142的板面之间的夹角α大于0
°
且小于90
°
。
80.当导向结构140包括第一导向板141和第二导向板142时，在一种可能的实施例中，如图4所示，沿垂直于气态的冷却介质移动的方向且平行于下盖板110的方向(即图4中x2箭头所示的方向)，气腔1011具有相对的第一侧壁1011a和第二侧壁1011b，第一连接端1411连接于第一侧壁1011a，第二连接端1421连接于第二侧壁1011b；第一导向端1412位于第二导向端1422与第二连接端1421之间，且第一导向端1412与第二导向板142之间具有间隙。
81.通过使第一连接端1411连接于第一侧壁1011a、第二连接端1421连接于第二侧壁1011b，进一步提高了第一导向板141和第二导向板142在气腔1011内设置的牢固性。由于第一连接端1411连接于第一侧壁1011a，且第一导向端1412与第二导向板142之间具有间隙，因此，气态的冷却介质只能通过第一导向端1412与第二导向板142之间的间隙流出，保证了气态的冷却介质的移动方向的单一性，进而提高了液态的冷却介质的移动速度。
82.又由于第一导向端1412位于第二导向端1422与第二连接端1421之间，如此，通过第一导向端1412与第二导向板142之间的间隙流出的气态的冷却介质能够沿着第二导向板142的板面移动，从而提高了气腔1011内的气态的冷却介质的导向效果。
83.当然，如图5所示，第二导向端1422也可位于第一导向端1412与第一连接端1411之间，且第二导向端1422与第一导向板141之间具有间隙。如此，也能够保证气态的冷却介质通过第二导向端1422与第一导向板141之间的间隙。
84.在一种可能的实施例中，如图5所示，第一导向板141和第二导向板142均包括多个，多个第一导向板141和多个第二导向板142均沿气态的冷却介质的移动方向(即图5中x1箭头所示的方向)依次间隔设置。
85.通过设置多个第一导向板141和多个第二导向板142，能够增加对气态的冷却介质的导向距离，进而保证了第一导向板141和第二导向板142对气态的冷却介质的导向效果。
86.在一些可能的实施例中，结合参照图5、图6，第一导向板141的宽度和第二导向板142的宽度均为d1，气腔1011的宽度为d2，0.25d2≤d1≤0.5d2。
87.当第一导向板141的和第二导向板142的宽度大于气腔1011的宽度的0.5d2时，不
利于第一导向板141与第二导向板142的安装，当第一导向板141的和第二导向板142的宽度小于气腔1011的宽度的0.25d2时，由于第一导向板141和第二导向板142对气态的冷却介质的导向距离和导向时间较短，从而影响第一导向板141与第二导向板142的导向效果。因此，综合考虑，当0.25d2≤d1≤0.5d2时，既能便于第一导向板141与第二导向板142的安装，又能保证第一导向板141和第二导向板142对气态的冷却介质的导向。
88.可选的，如图7所示，导向结构140包括特斯拉阀管道143，特斯拉阀管道143的外周壁连接于气腔1011的侧壁。
89.特斯拉阀管道143具有顺向和逆向，当气态的冷却介质沿特斯拉阀管道143的顺向移动时，气态的冷却介质能够快速通过，反之，当气态的冷却介质沿特斯拉阀管道143的逆向移动时，由于特斯拉阀管道143具有较大的逆向阻力，因此，气态的冷却介质几乎不会沿特斯拉阀管道143的逆向移动，由此，保证了气态的冷却介质的气流流速，进而保证了均热板100的散热效果。
90.另外，当导向结构140为特斯拉阀管道143时，只需将特斯拉阀管道143安装于气腔1011内，无需多余的结构，就能够使气态的冷却介质沿特斯拉阀管道143的顺向移动，结构简单，安装方便，成本低。
91.需要说明的是，导向结构140并不限于上述两种具体结构，还可以其他具有导向作用的结构，在此不作详细阐述。
92.可选的，结合参照图1和图8，毛细结构130设置在下盖板110朝向上盖板120的一面上，上盖板120朝向下盖板110的一面上设置有多个平行且间隔的支撑柱150，多个支撑柱150的端面分别抵接于毛细结构130上，多个支撑柱150将真空腔101划分为多个气腔1011。
93.由此，通过设置多个平行且间隔的支撑柱150，一方面能够防止真空腔101塌陷，实现均热板100远距离传热的效果，另一方面，在下盖板110与上盖板120密封扣合时，支撑柱150的端面自始都会与毛细结构130抵接，因此，无需过多考虑支撑柱150的设置位置，从而降低了均热板100的安装难度。另外，由于下盖板110的面积较大，因此，在下盖板110上设置毛细结构130时能够降低毛细结构130加工的难度。
94.可选的，如图9所示，上盖板120朝向下盖板110的一面上设置有多个平行且间隔的第一支撑柱151，下盖板110朝向上盖板120的一面上设置有多个平行且间隔的第二支撑柱152，多个第一支撑柱151与多个第二支撑柱152一一对应，第一支撑柱151的端面与第一支撑柱151对应的第二支撑柱152的端面相抵接，第一支撑柱151的端面和/或第二支撑柱152的端面上设置有毛细结构130，多个第一支撑柱151与多个第一支撑柱151分别对应的多个第二支撑柱152将真空腔101划分为多个气腔1011。
95.通过设置多个第一支撑柱151和多个分别与第一支撑柱151对应的第二支撑柱152，且第一支撑柱151的端面与第一支撑柱151对应的第二支撑柱152的端面相抵接，能够防止均热板100的真空腔101塌陷，实现了均热板100远距离传热的效果。通过毛细结构130设置于第一支撑柱151的端面和/或第二支撑柱152的端面，且多个第一支撑柱151与多个第一支撑柱151分别对应的多个第二支撑柱152将真空腔101划分为多个气腔1011，从而使均热板100的气腔1011与毛细结构130间隔设置，由于液态的冷却介质仅能在毛细结构130内流动，气态的冷却介质仅能在气腔1011内流动，从而使真空腔101内液态的冷却介质与气态的冷却介质能够分别在不同的空间内流动，实现了气液分离的设计目的，进一步减薄了均
热板100的厚度。
96.毛细结构130包括多种，其中一种可能的结构中，如图9所示，毛细结构130包括相互平行的多个毛细凹槽111，毛细凹槽111的延伸方向与气态的冷却介质移动的方向平行。
97.毛细凹槽111结构简单，因此，当毛细结构130为毛细凹槽时，毛细结构130便于蚀刻，加工难度较小。另外，由于毛细凹槽111的延伸方向与气态的冷却介质移动的方向平行，从而冷却介质能够沿毛细凹槽111的延伸方向移动，保证了冷却介质的移动效果。
98.当毛细结构130设置在第一支撑柱151的端面和/或第二支撑柱152的端面上，且毛细结构130为毛细凹槽，示例地，结合参照图9及图10，毛细结构130为在第一支撑柱151的端面设置的多个平行的第一毛细凹槽1111，多个第一毛细凹槽1111的槽壁均与第二支撑柱152的端面密封连接。或，结合参照图9及图11，毛细结构130为第二支撑柱152的端面设置的多个平行的第二毛细凹槽1112，多个第二毛细凹槽1112的槽壁均与第一支撑柱151的端面密封连接。或，结合参照图9及图12，毛细结构130为第一支撑柱151的端面设置的多个第一毛细凹槽1111和第二支撑柱152的端面设置的多个与第一毛细凹槽1111对应的第二毛细凹槽1112，第一毛细凹槽1111的槽壁与第二毛细凹槽1112的槽壁密封连接。
99.其中，上述第一毛细凹槽1111的长度方向和第二毛细凹槽1112的长度方向均与气腔1011内的气态的冷却介质的移动方向平行。
100.为了增加毛细力，可选的，毛细凹槽111宽度为20um-200um，毛细凹槽111的深度为30um-300um。
101.需要说明的是，毛细凹槽111的横截面的形状可以为矩形、椭圆形、圆形或三角形。
102.在一中可能的实施例中，如图13所示，相邻两个毛细凹槽111的槽壁上交错开设有多个通槽111a，且通槽111a的宽度小于第一毛细凹槽1111或第二毛细凹槽1112的宽度。
103.通过在相邻两个毛细凹槽111的槽壁上交错开设有多个通槽111a，能够使相邻的多个毛细凹槽111内的液态的冷却介质相互流通。另外，通过使通槽111a的宽度小于毛细凹槽111的宽度，能够保证相邻的多个毛细凹槽111内液态的冷却介质的流通性，从而防止毛细凹槽111出现干涸的现象，进而保证了均热板100的散热效果。
104.其中，相邻两个毛细凹槽111的槽壁上交错开设有多个通槽111a，应理解，相邻两个毛细凹槽111的槽壁上的通槽111a的开口方向不再同一条直线上。
105.本技术实施例还提供了一种电子设备，该电子设备包括上述的均热板100。
106.本技术实施例提供的电子设备，通过采用了上述的均热板100，能够提高电子设备的散热效果。
107.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。