弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置广泛被用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1中，公开了利用作为板波的兰姆(lamb)波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电基板。压电基板包括linbo3或者litao3。在压电基板的上表面设置有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极。在idt电极的连接于一个电位的多个电极指与连接于另一个电位的多个电极指之间施加电压。由此，激励兰姆波。在该idt电极的两侧设置有反射器。据此，构成了利用兰姆波的弹性波谐振器。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1所记载的那样的弹性波装置中，有时产生在压电基板的表面传播的无用波。由于该无用波的影响，弹性波装置的电特性有可能劣化。

3、本发明的目的在于提供能够抑制由无用波引起的电特性的劣化的弹性波装置。

4、用于解决问题的手段

5、本发明涉及的弹性波装置具备：压电性基板，其包括支承构件和压电层，所述支承构件包括支承基板，所述压电层设置在所述支承构件上并且具有相对置的第1主面和第2主面；至少一个功能电极，其设置在所述压电层的所述第1主面或者所述第2主面，并且具有至少一对电极；第1支承体，其设置在所述压电性基板上，使得包围所述功能电极；至少一个第2支承体，其设置在所述压电性基板上，并且配置在被所述第1支承体包围的部分；以及盖部，其设置在所述第1支承体上和所述第2支承体上，将相邻的所述电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从所述电极对置方向观察时，相邻的所述电极彼此相互重叠的区域是交叉区域，将所述至少一对电极延伸的方向设为电极延伸方向时，在从所述电极延伸方向观察时、以及在从所述电极对置方向观察时，所述第2支承体都被配置为不与所述交叉区域重叠。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供能够抑制由无用波引起的电特性的劣化的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求6～8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求6～9中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1～12中任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求11或12所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1～14中任一项所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求1～15中任一项所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求1～16中任一项所述的弹性波装置，其中，

18.根据权利要求17所述的弹性波装置，其中，

19.根据权利要求18所述的弹性波装置，其中，

20.根据权利要求17或18所述的弹性波装置，其中，

21.根据权利要求17或18所述的弹性波装置，其中，

22.根据权利要求21所述的弹性波装置，其中，

23.根据权利要求20～22中任一项所述的弹性波装置，其中，

24.根据权利要求20～23中任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提供一种弹性波装置，能够抑制由无用波引起的电特性的劣化。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包括支承构件和压电层(14)，支承构件包括支承基板，压电层(14)设置在支承构件上且具有相对置的第1主面(14a)和第2主面；至少一个功能电极，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或第2主面，具有至少一对电极；第1支承体(18)，设置在压电性基板(12)上，使得包围功能电极；至少一个第2支承体(19)，设置在压电性基板(12)上，配置在被第1支承体(18)包围的部分；以及盖部，设置在第1支承体(18)上和第2支承体(19)上。将相邻的电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从电极对置方向观察时，相邻的电极彼此相互重叠的区域是交叉区域(E)，将至少一对电极延伸的方向设为电极延伸方向时，在从电极延伸方向观察时、以及在从电极对置方向观察时，第2支承体(19)都被配置为不与交叉区域(E)重叠。

技术研发人员：中尾武志,甲斐诚二,山崎央
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16