集成组合件及形成集成组合件的方法与流程

文档序号:37279229发布日期:2024-03-12 21:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成组合件,其包括:

2.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第一导电结构包括沿着所述可检测界面的第一组合物,且其中所述第二导电结构包括沿着所述可检测界面的第二组合物,其中所述第二组合物不同于所述第一组合物。

3.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述面板将第一存储器块区域与第二存储器块区域分开。

4.根据权利要求1所述的集成组合件,其包括延伸穿过所述堆叠的沟道材料支柱。

5.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第二层级包括在所述第一层级的所述远端区域之间的空隙区域。

6.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第一及第二导电结构分别包括第一厚度及第二厚度;且其中所述第二厚度至少与所述第一厚度一样大。

7.根据权利要求6所述的集成组合件,其中所述第二厚度大于所述第一厚度。

8.根据权利要求6所述的集成组合件,其中所述第二厚度比所述第一厚度大至少约10%。

9.根据权利要求6所述的集成组合件,其中所述第二厚度比所述第一厚度大至少约20%。

10.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第二导电结构沿着横截面大体上是矩形的。

11.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括导电掺杂半导体材料。

12.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括钛、钴、镍、钨及钌中的一或多者。

13.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括金属氮化物、金属硅化物、金属碳化物及金属硼化物中的一或多者。

14.根据权利要求1所述的集成组合件,其中所述第一导电结构中的每一者包含含钨核心及沿着所述含钨核心的外周边的含金属氮化物的衬垫。

15.根据权利要求14所述的集成组合件,其中所述含金属氮化物的衬垫包括氮化钛。

16.根据权利要求15所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括氮化钛或钨。

17.根据权利要求15所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括除氮化钛及钨外的一或多个组合物。

18.根据权利要求14所述的集成组合件,其中所述第一层级中的每一者的所述远端区域包含沿着所述含金属氮化物的衬垫的外周边的电介质材料。

19.根据权利要求18所述的集成组合件,其中所述电介质材料是高k材料。

20.一种集成组合件,其包括:

21.根据权利要求20所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括比所述第一导电结构的第一垂直宽度大的垂直宽度。

22.根据权利要求20所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括导电掺杂半导体材料。

23.根据权利要求20所述的集成组合件,其中所述第二导电结构包括钛、钴、镍、钨及钌中的一或多者。

24.根据权利要求23所述的集成组合件,其中所述第一导电结构中的每一者包含含钨核心及沿着所述含钨核心的外周边的含金属氮化物的衬垫。

25.根据权利要求24所述的集成组合件,其中所述含金属氮化物的衬垫包括氮化钛。

26.根据权利要求24所述的集成组合件,其中所述非空隙层级中的每一者的所述远端区域包含沿着所述含金属氮化物的衬垫的外周边的电介质材料。

27.根据权利要求26所述的集成组合件,其中所述非空隙层级的所述远端区域具有包含所述导电结构及所述电介质材料的第一垂直宽度,且其中所述第二导电结构具有至少与所述第一垂直宽度大约一样大的第二垂直宽度。

28.根据权利要求27所述的集成组合件,其中所述第二垂直宽度大于所述第一垂直宽度。

29.根据权利要求26所述的集成组合件,其中所述电介质材料是高k材料。

30.一种形成集成组合件的方法,其包括:

31.根据权利要求30所述的方法,其中所述第二导电结构经形成以向外延伸超过所述空腔并进入所述狭缝中。

32.根据权利要求30所述的方法,其中所述第二导电结构经形成以完全保持在所述空腔内。

33.根据权利要求30所述的方法,其中所述面板将第一存储器块区域与第二存储器块区域分开。

34.根据权利要求30所述的方法,其中所述空腔经形成以在垂直方向上比所述第一导电结构宽。

35.根据权利要求34所述的方法,其中所述空腔的所述形成包括:

36.根据权利要求30所述的方法,其中所述第二导电结构包括导电掺杂半导体材料。

37.根据权利要求30所述的方法,其中所述第二导电结构包括钛、钴、镍、钨及钌中的一或多者。

38.根据权利要求30所述的方法,其中所述第二导电结构包括金属氮化物、金属硅化物、金属碳化物及金属硼化物中的一或多者。


技术总结
一些实施例包含一种具有交替的第一及第二层级的堆叠的集成组合件。面板延伸穿过所述堆叠。所述第一层级具有与所述面板相邻的近端区域,且具有比所述近端区域更远离所述面板的远端区域。所述远端区域具有第一导电结构,且所述近端区域具有第二导电结构。在所述第一导电结构连结到所述第二导电结构之处存在可检测界面。一些实施例包含形成集成组合件的方法。

技术研发人员:S·索尔斯
受保护的技术使用者:美光科技公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/11
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