一种集成电路生产用蚀刻设备的制作方法

文档序号:35198106发布日期:2023-08-21 21:48阅读:27来源:国知局
一种集成电路生产用蚀刻设备的制作方法

本发明涉及蚀刻装置领域,特别涉及一种集成电路生产用蚀刻设备。


背景技术:

1、集成电路是一种微型电子器件或部件,空间占据小,功能全面,是现在一种常见的电子原件,集成电路生产时,需要生产者对电路板表面进行蚀刻,为了节约成本,生产者通常采用化学蚀刻机进行蚀刻加工,但是蚀刻完成后会把电路板表面会残留有蚀刻液,需要及时清理,避免蚀刻液长时间腐蚀电路板导致电路板损坏。

2、现有的集成电路生产用蚀刻设备还存在一些不足,现有的集成电路生产用蚀刻设备一般利用清水冲洗掉电路板表面残留的蚀刻液,但是由于集成电路表面的复杂性,电路板还会残留部分水珠,这些水珠长时间得不到清理,会腐蚀电路板表面,为此需要一种集成电路生产用蚀刻设备解决上述不足。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种集成电路生产用蚀刻设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种集成电路生产用蚀刻设备,包括底板,所述底板的上侧设置有吹干机构,所述底板的上侧设置有支撑腿,所述底板的上侧设置有清水箱,所述底板的上侧设置有排水机构,所述底板的上侧设置有废水箱,所述水箱的上侧设置有水泵,所述水泵的输入端设置有吸水管,所述吸水管远离水泵的一端贯穿清水箱的左侧内壁,所述水泵的输出端设置有出水管,所述支撑腿的上侧设置有支撑板,所述支撑板的上侧设置有蚀刻装置,所述支撑板的上侧设置有间歇旋转组件,所述间歇旋转组件包括设置在支撑板上侧的转动盘,所述转动盘的上侧设置有支撑杆,所述支撑杆的上端设置有夹紧机构,所述转动盘的上侧设置有固定盘,所述固定盘的上侧设置有推动杆。

3、借由上述结构,通过设置底板提供安装平台,蚀刻装置是工厂中一种用于对电路板表面进行蚀刻工作的装置,这里附图只是为了示意说明,不做过多赘述,夹紧机构可以将电路板夹紧,方便使用使用者完成蚀刻工作,间歇旋转组件运作可以带动夹紧机构依次经过蚀刻装置、水泵、吹干机构和排水机构,并短暂停留一段时间,方便装置的运作,当使用者启动水泵时,水泵运作时将清水箱中的清水抽出,喷洒在电路板上,对完成蚀刻的电路板进行冲洗,将杂质冲走,当使用者启动吹干机构时,吹干机构吹出干燥的热风,将潮湿的电路板表面吹干,避免电路板发生锈蚀,排水机构运作时可以将夹紧机构中的废水导入废水箱中,避免脏水在夹紧机构中积累。

4、优选地,所述间歇旋转组件还包括设置在支撑板上侧的转动座,所述转动座的上侧设置有转动块,所述转动块的表面开设有推动槽,所述转动块的上侧设置有拨动杆,所述底板的上侧设置有驱动电机,所述驱动电机的输出端贯穿支撑板的上侧并与转动座的下侧固定连接。

5、进一步地,通过设置驱动电机作为间歇旋转组件的动力源,当使用者启动驱动电机时,驱动电机运作带动转动座转动,转动座转动带动转动块转动,转动块转动转动带动推动杆运动,推动杆运动带动拨动杆运动,拨动杆运动带动转动盘转动,转动盘转动带动支撑杆转动,由于推动槽的限制,随着驱动电机的转动带动支撑杆间歇运动,进而带动当夹紧机构间隙转动。

6、优选地,所述吹干机构包括设置在底板上侧的吹干保护箱,所述吹干保护箱的上侧设置有气泵,所述气泵的输入端设置有吸气管,所述吸气管远离气泵的一端贯穿吹干保护箱的内顶壁,所述气泵的输出端设置有出气管,所述吹干保护箱的内底壁设置有电阻丝加热盒,所述电阻加热丝的前侧设置有进气管,所述进气管的前端贯穿吹干保护箱的前侧,所述进气管的后端贯穿电阻丝加热盒的前侧内壁,所述电阻丝加热盒的后侧设置有输气管,所述输气管的前端贯穿电阻丝加热盒的前侧内壁。

7、进一步地,通过设置气泵作为吹干机构的动力源,电阻丝加热盒内部装有大量的电阻丝,通电后可以产生大量热量,将周围的空气温度提高,当使用者启动气泵时,气泵运作抽取电阻丝加热盒中的热空气,然后通过出气管吹向停留在吹干机构旁边的夹紧机构,避免电路板表面残留的水珠锈蚀电路板,确保电路板的完整性。

8、优选地,所述吹干保护箱的内底壁设置有隔板,所述隔板的数量为两个,两个所述隔板以吹干保护箱内底壁的水平中线为对称轴对称设置在吹干保护箱的内底壁,所述隔板的相背面均设置有垫块,两个所述垫块的上侧均设置马达,两个所述隔板的相背面均设置有安装板,两个所述安装板的相对面均设置有转动轮,两个所述转动轮的相对面均设置有转动杆,两个所述安装板的相对面均转动连接有摆动板,两个所述摆动板的相对面均贯穿开设有摆动滑道,所述转动杆的表面与摆动滑道的内壁滑动连接。

9、进一步地,通过设置马达作为动力源,两个隔板中间的区域用于放置干燥剂,当使用者启动马达时,马达运作带动转动轮转动,转动轮转动带动转动杆运动,由于摆动滑道的限制,转动杆运动带动摆动板摆动。

10、优选地,两个所述摆动板的相对面均贯穿开设有限位滑道,两个所述摆动板的相对面均设置有安装滑道,两个所述安装滑道的内壁均滑动连接有滑块,两个所述滑块远离安装滑道的一侧设置有限位杆,所述限位杆的表面与限位滑道的内壁滑动连接,两个所述隔板的相对面均开设有安装孔,所述安装孔的内壁均滑动连接有运动杆,前侧所述运动杆的前侧与滑块的后侧固定连接,后侧所述运动杆的后侧与滑块的前侧固定连接,两个所述运动杆的相对面均设置有搅动板。

11、进一步地,通过设置安装滑道限制滑块的运动轨迹,由于安装滑道的限制,摆动板运动带动滑块做前后方向的往复运动,滑块运动带动运动杆运动,运动杆运动带动搅动板运动,搅动板运动带动干燥剂运动,避免干燥剂吸水后结团,确保干燥剂的吸水效率,保证为气泵始终提供干燥的空气,搅动板上开设有大量的孔洞,方便干燥剂通过。

12、优选地,所述夹紧机构包括设置在支撑杆上端的夹紧收纳盒,所述夹紧收纳盒的数量为两个,两个所述夹紧收纳盒以转动盘上侧的竖直中线为对称轴对称设置在转动盘的上侧,所述夹紧收纳盒的内壁滑动连接有第一连接板,所述第一连接板的上侧滑动连接有夹紧板,所述夹紧板的数量为两个,两个所述夹紧板以第一连接板上侧的水平中线为对称轴对称设置在第一连接板的上侧。

13、进一步地,通过设置夹紧收纳盒保护内部的其他机构,当第一连接板向下运动时,然后为吸盘电磁铁供电,吸盘电磁铁得电后会产生磁力将第一连接板吸附住,由于导向杆的限制,两个夹紧板相互靠近,将电路板夹紧,避免电路板在蚀刻过程中发生晃动,影响正常的蚀刻工作,第一连接板和第二连接板上均开设好漏水孔,方便后续的冲洗,冲洗过后的污水会沿着第一防溅板和第二防溅板抵达夹紧收纳盒的底部。

14、优选地,所述夹紧收纳盒的内壁设置有第二连接板,所述第二连接板的上侧设置有吸盘电磁铁,所述第二连接板的上侧设置有复位弹簧,所述复位弹簧的顶端与第一连接板的下侧固定连接,两个所述夹紧板的相对面均开设有滑孔,所述滑孔的内壁设置有导向杆,所述导向杆的底端与第二连接板的上侧固定连接,所述夹紧收纳盒的内壁设置有第一防溅板,所述夹紧收纳盒的内壁设置有第二防溅板。

15、进一步地,通过设置吸盘电磁铁可以将第一连接板吸附,使用时需要使用者将电路板放在第一连接板上,然后为吸盘电磁铁供电,吸盘电磁铁得电后会产生磁力将第一连接板吸附住,此时复位弹簧受压,由于导向杆的限制,两个夹紧板相互靠近,将电路板夹紧,避免电路板在蚀刻过程中发生晃动,影响正常的蚀刻工作,第一连接板和第二连接板上均开设好漏水孔,方便后续的冲洗,冲洗过后的污水会沿着第一防溅板和第二防溅板抵达夹紧收纳盒的底部,当吸盘电磁体断电后,在复位弹簧的作用下夹紧机构的其他零件回到原位,方便使用者取下并更换电路板。

16、优选地,所述排水机构包括设置在底板上侧的电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的伸出端设置有安装盒,所述安装盒的内底壁设置有挤压块,所述安装盒的下侧设置有废水管,所述废水管的一端贯穿安装盒的内底壁,所述废水管的另一端贯穿废水箱的前侧,所述排水机构还包括设置在夹紧收纳盒下侧的安装块,所述安装块的左侧设置有安装槽,所述安装块的下侧设置有排水管,所述排水管的顶端贯穿夹紧收纳盒的内底壁,所述安装槽的内壁滑动连接有限流块,所述限流块的上侧贯穿开设有流出孔,所述排水管的表面开设有避让孔,所述限流块的表面与避让孔的内壁滑动连接,所述限流块的右侧设置有限流弹簧,所述限流弹簧的右端与安装槽的右侧内壁。

17、进一步地,通过设置电动伸缩杆带动安装盒运动,当夹紧收纳盒运动到安装盒的上方时,启动电动伸缩杆,电动伸缩杆的伸长端伸长,带动安装盒向上运动,安装盒运动带动挤压块运动,挤压块运动将限流块压入安装槽中,此时限流弹簧受压,此时夹紧收纳盒中的废水可以通过限流孔进入废水管,最终进入废水箱中,避免废水长时间残留在夹紧收纳盒中,导致水汽腐蚀电路板表面,确保电路板的完整性,排水结束后控制电动伸缩杆缩回,排水机构的其他零件也都回到原位。

18、综上,本发明的技术效果和优点:

19、本发明中,通过设置夹紧机构,使用时需要使用者将电路板放在第一连接板上,然后为吸盘电磁铁供电,吸盘电磁铁得电后会产生磁力将第一连接板吸附住,此时复位弹簧受压,由于导向杆的限制,两个夹紧板相互靠近,将电路板夹紧,避免电路板在蚀刻过程中发生晃动,影响正常的蚀刻工作,第一连接板和第二连接板上均开设好漏水孔,方便后续的冲洗,冲洗过后的污水会沿着第一防溅板和第二防溅板抵达夹紧收纳盒的底部,当吸盘电磁体断电后,在复位弹簧的作用下夹紧机构的其他零件回到原位,方便使用者取下并更换电路板;

20、通过设置排水机构,当夹紧收纳盒运动到安装盒的上方时,启动电动伸缩杆,电动伸缩杆的伸长端伸长,带动安装盒向上运动,安装盒运动带动挤压块运动,挤压块运动将限流块压入安装槽中,此时限流弹簧受压,此时夹紧收纳盒中的废水可以通过限流孔进入废水管,最终进入废水箱中,避免废水长时间残留在夹紧收纳盒中,导致水汽腐蚀电路板表面,确保电路板的完整性,排水结束后控制电动伸缩杆缩回,排水机构的其他零件也都回到原位;

21、通过设置吹干机构,当使用者启动气泵时,气泵运作抽取电阻丝加热盒中的热空气,然后通过出气管吹向停留在吹干机构旁边的夹紧机构,避免电路板表面残留的水珠锈蚀电路板,确保电路板的完整性,当使用者启动马达时,马达运作带动转动轮转动,转动轮转动带动转动杆运动,由于摆动滑道的限制,转动杆运动带动摆动板摆动,由于安装滑道的限制,摆动板运动带动滑块做前后方向的往复运动,滑块运动带动运动杆运动,运动杆运动带动搅动板运动,搅动板运动带动干燥剂运动,避免干燥剂吸水后结团,确保干燥剂的吸水效率,保证为气泵始终提供干燥的空气。

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