一种三维存储器及其制作方法与流程

文档序号:35198282发布日期:2023-08-21 22:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三维存储器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:还包括多个绝缘隔断结构,所述绝缘隔断结构贯穿所述第一叠层结构,并连接位于所述第一阶梯结构和所述第四阶梯结构中相邻的所述子栅线缝隙。

3.根据权利要求2所述的三维存储器,其特征在于:所述绝缘隔断结构包括底部选择栅切口结构或虚设沟道孔。

4.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:所述阶梯结构还包括位于所述第一阶梯结构和所述第四阶梯结构之间的第二阶梯结构和第三阶梯结构,所述三维存储器还包括第二触点结构,所述第二触点结构分布于所述第二阶梯结构或所述第三阶梯结构的台阶上,并与所述第一指状结构中的所述底部选择栅层连接。

5.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:包括两个挡墙结构,且在所述第二方向上所述阶梯结构位于两个所述挡墙结构之间。

6.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:在所述第一阶梯结构向所述第四阶梯结构延伸的方向,所述第一阶梯结构的台阶依次降低,所述第四阶梯结构的台阶依次升高。

7.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:所述阶梯结构位于所述第二指状结构中,所述第一触点结构与所述第二指状结构的所述底部选择栅层连接。

8.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:所述存储区块还包括第三指状结构,所述第一指状结构、第二指状结构和第三指状结构沿所述第二方向排列设置。

9.根据权利要求8所述的三维存储器,其特征在于:所述三维存储器还包括第三触点结构,所述第三触点结构分布于所述第一阶梯结构及所述第四阶梯结构的台阶上,并与所述第三指状结构中的所述底部选择栅层连接。

10.根据权利要求1所述的三维存储器,其特征在于:还包括主栅线缝隙,所述主栅线缝隙将所述堆叠结构划分为多个所述存储区块。

11.一种三维存储器,其特征在于,包括:

12.根据权利要求11所述的三维存储器,其特征在于:所述第二叠层结构包括多层所述顶部选择栅层,所述堆叠结构中还设有第五阶梯结构及第六阶梯结构,所述第五阶梯结构位于所述第一顶部选择栅连接区,所述第六阶梯结构位于所述第二顶部选择栅连接区。

13.根据权利要求12所述的三维存储器,其特征在于:所述第五阶梯结构的台阶上分布有多个第四触点结构,所述第六阶梯结构的台阶上分布有多个第五触点结构,所述第四触点结构与所述第五触点结构分别与对应台阶中的所述顶部选择栅层连接。

14.根据权利要求12所述的三维存储器,其特征在于:在所述第五阶梯结构向所述第六阶梯结构延伸的方向,所述第五阶梯结构的台阶依次降低,所述第六阶梯结构的台阶依次升高。

15.根据权利要求12所述的三维存储器,其特征在于:包括两个所述挡墙结构,所述第五阶梯结构和所述第六阶梯结构位于两个所述挡墙结构之间。

16.根据权利要求11所述的三维存储器,其特征在于:还包括主栅线缝隙,所述主栅线缝隙将所述堆叠结构划分为多个所述存储区块。

17.一种三维存储器的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

18.根据权利要求17所述的三维存储器的制作方法,其特征在于,包括步骤:

19.根据权利要求17所述的三维存储器的制作方法,其特征在于,包括步骤:形成两个所述挡墙结构,所述阶梯结构位于两个所述挡墙结构之间。

20.根据权利要求17所述的三维存储器的制作方法,其特征在于:所述栅线缝隙结构将所述存储区块划分为第一指状结构和第二指状结构,所述挡墙结构位于所述第一指状结构中,所述阶梯结构位于所述第二指状结构中。


技术总结
本发明提供一种三维存储器及其制作方法,该三维存储器包括堆叠结构、栅线缝隙结构、绝缘隔断结构、第一触点结构及第二触点结构,其中,堆叠结构划分为多个存储区块,存储区块包括挡墙结构及相邻设置的下层阶梯结构,多个第一触点结构分布于第一及第四阶梯结构的台阶上,并与相应台阶中底部选择栅层连接;多个第二触点结构分布于第二或/及第三阶梯结构的台阶上,并与相应台阶中的底部选择栅层连接。本发明为放置挡墙结构的指状结构设计独立的阶梯结构,从而可以引出挡墙结构所在指状结构的底部选择栅,当底部选择栅层为多层时,可以较容易地实现指状结构控制,绝缘隔断结构可以通过简单的BSG切口或虚设沟道孔实现,不用非常复杂,降低了工艺难度。

技术研发人员:张中
受保护的技术使用者:长江存储科技有限责任公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/14
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