显示面板和制造显示面板的方法与流程

本公开涉及一种显示面板和一种制造显示面板的方法，在该显示面板中，包括在晶体管中的半导体图案的设计是容易改变的。

背景技术：

1、显示面板包括多个像素和用于控制像素的驱动电路(例如，扫描驱动电路和数据驱动电路)。像素中的每一者包括显示元件和用于控制显示元件的像素驱动电路。像素驱动电路可以包括彼此有机连接的多个晶体管。

2、扫描驱动电路和/或数据驱动电路可以经由与像素相同的工艺形成。扫描驱动电路和/或数据驱动电路可以包括彼此有机连接的多个晶体管。

技术实现思路

1、本公开的实施例提供了一种高分辨率显示面板和制造显示面板的方法。

2、根据本公开的实施例，一种显示面板可以包括：基体层，具有上表面和与所述上表面相对的下表面，并且所述基体层包括沟槽，所述沟槽通过在所述基体层的厚度方向上从所述上表面部分地去除所述基体层而形成并且由所述基体层的连接到所述上表面的侧表面和连接到所述侧表面的底表面限定；阻光图案，在平面图中至少部分地与所述沟槽重叠，并且设置在所述基体层上；以及像素，所述像素包括：第一晶体管，包括在平面图中至少部分地与所述沟槽重叠的半导体图案、第一电极、第二电极和栅极；以及发光元件，所述发光元件电连接到所述第一晶体管。所述半导体图案的至少一部分可以平行于所述侧表面。

3、根据本公开的实施例，所述半导体图案可以包括：第一部分，平行于所述上表面；第二部分，平行于所述侧表面；以及第三部分，平行于所述底表面。

4、根据本公开的实施例，所述侧表面的在所述厚度方向上的宽度可以在0.5μm至500μm的范围内。

5、根据本公开的实施例，所述阻光图案可以包括：第一图案，接触所述上表面；第二图案，接触所述侧表面；以及第三图案，接触所述底表面。

6、根据本公开的实施例，所述显示面板还可以包括：第一绝缘层，覆盖所述阻光图案并且设置在所述基体层上；第二绝缘层，覆盖所述半导体图案并且设置在所述第一绝缘层上；第三绝缘层，覆盖所述栅极并且设置在所述第二绝缘层上；以及第四绝缘层，设置在所述第三绝缘层上。所述发光元件可以经由限定在所述第三绝缘层和所述第四绝缘层中的第一接触孔电连接到所述半导体图案。

7、根据本公开的实施例，所述第一电极、所述第二电极和所述栅极设置在同一层上。

8、根据本公开的实施例，所述第一电极和所述第二电极中的每一者可以经由限定在所述第二绝缘层中的接触孔电连接到所述半导体图案。

9、根据本公开的实施例，所述第一电极可以经由限定在所述第二绝缘层和所述第一绝缘层中的接触孔电连接到所述阻光图案。

10、根据本公开的实施例，所述显示面板还可以包括电连接到所述像素的焊盘。所述焊盘可以设置在所述第二绝缘层上，并且经由限定在所述第三绝缘层和所述第四绝缘层中的第二接触孔被暴露。

11、根据本公开的实施例，所述第三绝缘层可以接触所述半导体图案的一部分。

12、根据本公开的实施例，所述发光元件可以包括：阳极，设置在所述第四绝缘层上；阴极，设置在所述阳极上；以及发光图案，设置在所述阳极和所述阴极之间。所述显示面板还可以包括设置在所述第四绝缘层上并且具有暴露所述阳极的至少一部分的开口的像素限定层。

13、根据本公开的实施例，所述基体层还可以包括与所述沟槽间隔开并且通过在所述厚度方向上从所述上表面部分地去除所述基体层而形成的子沟槽。所述像素还可以包括第二晶体管和第三晶体管，所述第二晶体管和所述第三晶体管各自包括半导体图案、第一电极、第二电极和栅极。所述第二晶体管的所述半导体图案和所述第三晶体管的所述半导体图案中的一者在平面图中可以与所述子沟槽重叠。

14、根据本公开的实施例，所述显示面板还可以包括至少部分地与所述子沟槽重叠并且设置在所述基体层上的子阻光图案。

15、根据本公开的实施例，所述底表面和所述侧表面之间的角度可以在大约90度至大约150度的范围内。

16、根据本公开的实施例，所述显示面板还可以包括：各自电连接到所述像素并且设置在所述基体层上的第一电源线、第二电源线、扫描线、感测线和数据线。所述第一电源线、所述第二电源线、所述扫描线、所述感测线和所述数据线在平面图中可以与所述沟槽间隔开。

17、根据本公开的实施例，所述第一电极、所述第二电极和所述栅极中的每一者可以包括包含钛的下层、包含铜的中间层以及包含透明导电氧化物的上层。

18、根据本公开的实施例，一种显示面板可以包括：基体层，包括在所述基体层的厚度方向上从所述基体层的上表面部分地去除所述基体层而形成的第一区域和围绕所述第一区域的第二区域；阻光图案，在平面图中至少部分地与所述第一区域重叠，并且设置在所述基体层上；以及像素，包括各自包括半导体图案、第一电极、第二电极和栅极的第一晶体管、第二晶体管和第三晶体管，以及电连接到所述第一晶体管的发光元件。所述半导体图案中的一者可以面对所述阻光图案并且可以设置在所述第一区域和所述第二区域的与所述第一区域相邻的部分中。

19、根据本公开的实施例，所述半导体图案的面对所述阻光图案的部分可以平行于所述基体层的所述第一区域的侧表面。

20、根据本公开的实施例，所述侧表面的在所述厚度方向上的宽度可以在大约0.5μm至大约500μm的范围内。

21、根据本公开的实施例，所述上表面和所述侧表面之间的角度可以在大约90度至大约150度的范围内。

22、根据本公开的实施例，一种制造显示面板的方法可以包括：通过在基体层的厚度方向上从所述基体层的上表面去除所述基体层的一部分来形成沟槽；在所述基体层上形成阻光图案，所述阻光图案在平面图中至少部分地与所述沟槽重叠；在所述基体层上和所述阻光图案形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成半导体图案，所述半导体图案的至少一部分在平面图中与所述沟槽重叠；在所述半导体图案上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层包括暴露所述半导体图案的一部分的多个第一接触孔；在所述第二绝缘层上形成栅极，所述栅极在平面图中与所述半导体图案的至少一部分重叠；以及形成各自与所述栅极绝缘的第一电极和第二电极。所述第一电极可以经由所述多个第一接触孔中的一者电连接到所述半导体图案，并且所述第二电极可以经由所述多个第一接触孔中的另一者电连接到所述半导体图案。

23、根据本公开的实施例，所述沟槽可以由所述基体层的连接到所述上表面的侧表面和连接到所述侧表面的底表面限定，并且所述阻光图案设置在所述底表面上，并且所述半导体图案的一部分可以形成为平行于所述侧表面。

24、根据本公开的实施例，所述侧表面的在所述厚度方向上的宽度可以在大约0.5μm至大约500μm的范围内。

25、根据本公开的实施例，所述方法还可以包括：在所述第二绝缘层上形成第三绝缘层，所述第三绝缘层包括暴露所述第一电极的一部分的第二接触孔；以及在所述第三绝缘层上形成第四绝缘层，所述第四绝缘层包括在平面图中与所述第二接触孔重叠的第三接触孔。

26、根据本公开的实施例，所述方法还可以包括：在所述第四绝缘层上形成经由所述第二接触孔和所述第三接触孔电连接到所述第一电极的一部分的阳极；在所述第四绝缘层上形成具有暴露所述阳极的至少一部分的开口的像素限定层；在所述阳极上形成在平面图中与所述开口重叠的发光图案；以及在所述像素限定层上形成阴极。

27、根据本公开的实施例，所述底表面和所述侧表面之间的角度可以在大约90度至大约150度的范围内。

28、根据本公开的实施例，所述第一电极、所述第二电极和所述栅极可以使用同一掩模来形成，并且可以设置在所述第二绝缘层上。

29、然而，本公开的实施例不限于此处阐述的那些。通过参照以下给出的本公开的详细描述，以上和其他实施例对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加明显。