一种低磁滞的磁隧道结元件及其制备方法与流程

文档序号:37014671发布日期:2024-02-09 13:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低磁滞的磁隧道结元件,其特征在于,包括依次连接的底电极层、磁性钉扎层、被钉扎层、非磁势垒层、复合自由层和顶电极层;

2.根据权利要求1所述的低磁滞的磁隧道结元件,其特征在于,所述复合自由层满足以下条件的至少一项:

3.根据权利要求1或2所述的低磁滞的磁隧道结元件,其特征在于,所述复合自由层满足以下条件的至少一项:

4.根据权利要求1或2所述的低磁滞的磁隧道结元件,其特征在于,磁隧道结元件的横截面形状为长方形或椭圆形,长宽比或长轴与短轴之比为(1.5~10):1。

5.根据权利要求1或2所述的低磁滞的磁隧道结元件,其特征在于,满足以下条件中的至少一项:

6.根据权利要求1或2所述的低磁滞的磁隧道结元件,其特征在于,满足以下条件中的至少一项:

7.一种权利要求1-6任一项所述的磁隧道结元件的制备方法,其特征在于,在基片上依次沉积磁隧道结元件的各个层,然后进行第一次退火。

8.根据权利要求7所述的低磁滞的磁隧道结元件的制备方法,其特征在于,所述第一次退火满足以下条件中的至少一项:

9.根据权利要求7或8所述的低磁滞的磁隧道结元件的制备方法,其特征在于,还包括第二次退火。

10.根据权利要求9所述的低磁滞的磁隧道结元件的制备方法,其特征在于,所述第二次退火满足以下条件中的至少一项:


技术总结
一种低磁滞的磁隧道结元件及其制备方法,属于磁隧道结元件技术领域,克服现有技术中高灵敏度TMR传感器磁滞大导致可用范围极小的缺陷。本发明低磁滞的磁隧道结元件包括依次连接的底电极层、磁性钉扎层、被钉扎层、非磁势垒层、复合自由层和顶电极层;所述复合自由层包括依次设置的第一自由层、第一间隔层、第二自由层、第二间隔层和第三自由层;所述第一间隔层和第二间隔层均为非磁金属层。具有该复合自由层结构的磁隧道结元件的灵敏度变化不大的情况下,实现了磁滞的降低。

技术研发人员:梁先锋,王冠鹰,黄辉,鞠登峰,郭经红,邓辉,田文锋,钱森,王志良,李春龙,曾鹏飞,杨智豪,高志东
受保护的技术使用者:国网智能电网研究院有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/8
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