一种旋转接触式加热装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝连接有两根铜导线，一根导线连接在正极，另外一根连接到负极，其中，所述加热电路连接有电机,所述加热丝上端设置第一匀热盘，在加热丝的下端设置第二匀热盘，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过固定连接成一体，所述第二匀热盘与加热主体连接在一起。与现有技术相比，本装置通过中空轴内部连接导线，外部连接电刷的方式，使加热与旋转组合到一起，可以获得更高的温度。
【专利说明】
一种旋转接触式加热装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及机械加工技术领域，具体为一种旋转接触式加热装置。
【背景技术】
[0002]温度是真空镀膜工艺基础参数之一，温度的高低和稳定性直接影响着膜层的质量。
[0003]热传递有三种方式，一是传导:直接接触的不同温度的物体通过接触表面进行的热量传递;二是对流:借助于某种流体的流动来传热，需要流体才能进行，真空中没有流体所以不存在这种方式;三是辐射:热量通过辐射的方式传递，在任何时间任何地点都有，这种方式和热源的温度有关，温度越高通过辐射传递的热量越多，在真空环境里，主要的热传递方式就是辐射。
[0004]现在的镀膜设备几乎都是铠装电阻丝加热部分固定不动，依靠热辐射加热基片，为了加热均匀，基片会转动。但真空中的热辐射效率较低，这种加热方式下，基片的温度很难超过400 °C。为了获得更高的温度，本方案提出了接触加热的方法，通过热传导加热基片，以便获得800 °C或更高的温度。
[0005]为此，针对上述技术问题，本实用新型提出一种旋转接触式加热装置，实用性强，一定程度上解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝连接有两根铜导线，一根导线连接在正极，另外一根连接到负极，其特征在于:所述加热电路连接有电机，所述加热丝上端设置第一匀热盘，在加热丝的下端设置第二匀热盘，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过固定连接成一体，所述第二匀热盘与加热主体连接在一起。
[0007]优选的，所述加热丝为双层盘状。
[0008]优选的，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过螺栓连接。
[0009]—种旋转接触式加热装置，其中，在第一匀热盘的上方设置有加热屏蔽层。
[0010]优选的，在第一匀热盘和第二匀热盘的两侧设置加热屏蔽层。
[0011]优选的，所述加热屏蔽层为五层结构。
[0012]优选的，在正极和负极电路的外侧设置有双层电刷，所述第一电刷和负极相连，所述第二电刷同正极相连。
【附图说明】
[0013]图1是旋转加热装置剖视图；
[0014]图2是双层电刷的剖视图；
[0015]图3是加热主体立体图；
[0016]图4是加热主体剖视图。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝28连接有两根铜导线22，一根导线连接在正极接线柱16，另外一根连接到负极接线柱30，其中，所述加热电路连接有电机，所述加热丝28上端设置第一匀热盘27，在加热丝28的下端设置第二匀热盘29，所述第一匀热盘27和第二匀热盘29通过固定连接成一体，所述第二匀热盘29与加热主体6连接在一起。
[0019]优选的，所述加热丝28为双层盘状。
[0020]优选的，所述第一匀热盘27和第二匀热盘29通过螺栓连接。
[0021]—种旋转接触式加热装置，其中，在第一匀热盘27的上方设置有加热屏蔽层23。
[0022]优选的，在第一匀热盘27和第二匀热盘29的两侧设置加热屏蔽层23。
[0023]优选的，所述加热屏蔽层23为五层结构。
[0024]优选的，在正极接线柱16和负极接线柱30的外侧设置有双层电刷，所述第一电刷2和负极线柱30相连，所述第二电刷3同正极接线16相连。
[0025]将两个导电滑环14套在绝缘套筒13外壁，并在两个滑环间放入绝缘环15，然后将连接管17放入绝缘套筒13内部，并用绝缘环15隔开导电滑环14与连接管17。电刷3和法兰4之间也有绝缘板，通过这些措施，可以确保转轴11和加热屏蔽组件与腔体不带电。
[0026]如图3所示，加热丝28采用的是铁铬铝丝，铁铬铝丝具有电阻率高、电阻温度系数小、使用温度高的特点。将加热丝28加工成双层盘状，放在第一匀热盘27和第二匀热盘29之间，并用螺栓固定后整体放置在陶瓷座25中。将陶瓷螺栓21穿过加热安装法兰20、加热屏蔽层23和陶瓷座25，最后固定在第一匀热盘27上。下方的第二匀热盘29加工有螺纹孔，可以用螺栓将基片固定在第二匀热盘29上。由于加热温度是800°C，上方的加热屏蔽层23选取了5层，层与层之间有垫片间隔开。侧面的屏蔽，也选取了 5层。
[0027]在图2中，将加热丝28两侧伸出的接线端分别与两根铜导线22连接，铜导线22外部套有陶瓷碗珠，并将两根铜导线22穿过加热主体6上方的中空轴26，与中空轴26—起穿过法兰4中心的通孔，然后与图3中的两个接线柱16连接，连接位置在图4中的圆孔处。
[0028]完成以上步骤的组装后，如图1和图2所示，将双层滑环组件2中的连接管17与伸进腔体内部的转轴11用丝杆12固定，再用螺栓将法兰4紧固在固定杆上。这时，侧屏蔽组件5、法兰4和电刷组件3固定不动;加热主体6、电刷2和转轴11是连接在一起的，当转轴11在外部电机的驱动下旋转，加热主体6连同基片可以同步转动，由于第一电刷2与第二电刷3接触，当外部加热电源开启后，加热主体6中的加热丝28就可以正常工作。由于是基片与匀热盘接触的热传导方式，本方案的加热效率比传统的热辐射更高，获得的温度也更高。
[0029]对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0030]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
【主权项】
1.一种旋转接触式加热装置，包括电源和加热电路和加热丝，加热丝连接有两根铜导线，一根导线连接在正极，另外一根连接到负极，其特征在于:所述加热电路连接有电机，所述加热丝上端设置第一匀热盘，在加热丝的下端设置第二匀热盘，所述第一匀热盘和第二匀热盘通过固定连接成一体，所述第二匀热盘与加热主体连接在一起。2.根据权利要求1所述的一种旋转接触式加热装置，其特征在于，加热丝为双层盘状。3.根据权利要求1所述的一种旋转接触式加热装置，其特征在于，第一匀热盘和第二匀热盘通过螺栓连接。4.根据权利要求1所述的一种旋转接触式加热装置，其特征在于，在第一匀热盘的上方设置有加热屏蔽层。5.根据权利要求1所述的一种旋转接触式加热装置，其特征在于，在第一匀热盘和第二匀热盘的两侧设置加热屏蔽层。6.根据权利要求4-5任何一项所述的一种旋转接触式加热装置，其特征在于，所述加热屏蔽层为五层结构。7.根据权利要求1所述的一种旋转接触式加热装置，其特征在于，在正极和负极电路的外侧设置有双层电刷，所述第一电刷和负极相连，所述第二电刷同正极相连。
【文档编号】H05B3/20GK205566676SQ201620215893
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年3月21日
【发明人】杨元才, 谭新, 郑战伟, 钱鹏亮, 朱振东, 林晨, 周通
【申请人】上海福宜真空设备有限公司