扫描型图像投影装置和扫描型图像投影装置的驱动方法
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种小型、响应速度快、可改变显示区域位置的扫描型图像投影装置及其驱动方法。该扫描型图像投影装置包括:激光源；具有以正交的第1和第2轴为中心振动的反射镜的MEMS扫描器；以及MEMS控制部。MEMS控制部包括:使所述反射镜以第1轴为中心高速共振振动的高速驱动电路、使所述反射镜以第2轴为中心低速非共振振动的低速驱动电路、和、使进行所述低速振动的非共振振动区域内的所述第2轴上的位置偏移规定量的偏移驱动电路，所述MEMS控制部，根据来自所述高速驱动电路和低速驱动电路的驱动信号在规定的显示区域进行图像显示，并根据来自所述偏移驱动电路的偏移信号，移动所述非共振振动区域内显示区域的位置。
【专利说明】扫描型图像投影装置和扫描型图像投影装置的驱动方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及采用MEMS扫描器的扫描型图像投影装置和扫描型图像投影装置的驱动方法，尤其涉及使得显示图像的显示区域的位置可移动改变的扫描型图像投影装置。
【背景技术】
[0002]对于以往的扫描型图像投影装置(投影仪)，考虑使得显示于屏幕等的显示区域的位置变化，以在不同位置显示投影图像。其目的为，例如，像投影型键盘那样通过根据需要改变键盘的投影地点，以使多个操作者共用一个键盘，或通过在饭店的桌上使得菜单图像移动显示，以省略多个纸质菜单。
[0003]作为在这些不同位置显示投影图像的方法，有各种提案，例如，专利文献I中记载有，设置搭载进行图像显示的光扫描单元的旋转光学构件，通过旋转旋转光学构件整体，改变投射图像的位置的构成。又，专利文献2中记载有，在投射用的反射镜上设置旋转控制用的伺服电机，通过该伺服电机改变反射镜的角度从而改变屏幕上的投射图像的位置的构成。
[0004]又，近年来，替代采用电流镜或多棱镜作为光扫描单元的方式，正在开发采用可小型化的MEMS扫描器的光扫描方式(例如参照非专利文献I的217页、图1)。
[0005]专利文献1:JP-2004_252012-A 专利文献 2: JP-H07-199146-A
非专利文献:解说激光显示器(217页、图1参照)友达光电公司，2010年2月8日发
行
【发明内容】
[0006]记载于专利文献I和专利文献2的是，改变显示区域的位置，在不同位置显示投影图像的方式。这样的方式中，设置搭载光扫描单元的旋转光学构件使显示位置变化，或在反射镜上设置旋转控制用的伺服电机使反射镜的角度变化以改变显示位置。因此，作为改变显示位置的构成，需要设置旋转光学构件或旋转控制用的伺服电机这样专用的驱动单元，无法避免扫描型图像投影装置的大型化，使得扫描型图像投影装置的小型化困难。
[0007]又，在希望小型化的MEMS构成的扫描型图像投影装置中，仅采用构成一个显示区域的光扫描单元，改变显示区域的位置在不同位置显示投影图像时，需要组合专利文献I和专利文献2那样专用的旋转机构，这样还是导致期待的扫描型图像投影装置的小型化较困难。
[0008]本发明的目的在于提供能够消除上述的问题的扫描型图像投影装置。
[0009]本发明的目的在于提供，小型且响应速度快，能改变显示区域的位置的扫描型图像投影装置。
[0010]扫描型图像投影装置的特征在于包括:激光源；具有正交的以第I和第2轴为中心振动的反射镜的MEMS扫描器；以及MEMS控制部，MEMS控制部包括:使所述反射镜以第I轴为中心高速共振振动的高速驱动电路、使所述反射镜以第2轴为中心低速地非共振振动的低速驱动电路、和、在进行所述低速振动的非共振振动区域内使所述第2轴上的位置偏移规定量的偏移驱动电路，所述MEMS控制部，根据来自所述高速驱动电路和低速驱动电路的驱动信号在规定的显示区域进行图像显示，并根据来自所述偏移驱动电路的偏移信号，并在所述非共振振动区域内移动显示区域的位置。
[0011]扫描型图像投影装置中，优选MEMS扫描器具有以第I和第2轴为中心进行高速振动和低速振动的I个反射镜。
[0012]扫描型图像投影装置中，优选MEMS扫描器包括:具有以第I轴为中心振动的第I反射镜的第IMEMS扫描器、和具有以第2轴为中心振动的第2反射镜的第2MEMS扫描器。
[0013]扫描型图像投影装置的驱动方法的特征在于，该扫描型图像投影装置包括:激光源；具有正交的以第I和第2轴为中心振动的反射镜的MEMS扫描器；以及包括使所述反射镜以第I轴为中心高速共振振动的高速驱动电路、使所述反射镜以第2轴为中心低速非共振振动的低速驱动电路、和在进行所述低速振动的非共振振动区域内使所述第2轴上的位置偏移规定量的偏移驱动电路的MEMS控制部，在扫描型图像投影装置的驱动方法中，根据来自所述偏移单元的偏移信号，移动所述非共振振动区域内显示区域的位置，移动显示区域后，根据来自所述MEMS控制部的驱动信号在规定的显示区域进行图像显示。
[0014]扫描型图像投影装置通过将与图像扫描信号不同的电信号施加到MEMS扫描器，使得图像显示位置能够移动，从而使其小型化，响应速度快，显示区域的位置可变。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是扫描型图像投影装置I的概略构成图。
图2是双轴MEMS的驱动方式的说明图。
图3是显示由双轴MEMS5在屏幕17上投影的一个画面的显示区域Rdl的平面图。
图4(a)是水平方向驱动信号(X驱动信号Sx)的波形图，图4(b)是垂直方向驱动信号(Y驱动信号Sy)的波形图。
图5是显示图4(b)所示的Y驱动信号Sy根据偏移信号So，移动改变动作位置的状态的Y驱动信号Sy的波形图。
图6是模拟显示MEMS扫描器4的立体图。
图7是模拟显示MEMS扫描器40的立体图。
图8是以MEMS扫描器4为光扫描单元的扫描型图像投影装置100的构成图。
【具体实施方式】
[0016]下面，参照附图对扫描型图像投影装置和扫描型图像投影装置的驱动方法进行说明。需要注意的是:下面，以为代表性的MEMS的双轴MEMS的实例进行说明，但不限于此，本发明的技术的范围不限于这些实施方式，而是包括专利权利要求书记载的发明及其均等物。
[0017]下面，利用图6?图8，对MEMS扫描器和采用MEMS扫描器的扫描型图像投影装置的基本构成和动作进行说明。
[0018]图6是模拟显示MEMS扫描器4的立体图。[0019]MEMS扫描器4包括具有I枚反射镜的双轴MEMS5。双轴MEMS5构成为，I枚反射镜5m由安装于X轴支持框架5a的作为第I轴的X轴构件5x支持，进一步的，X轴支持框架5a由安装于Y轴支持框架5b的作为第2轴的Y轴构件5y支持。反射镜5m以X轴构件5x为中心在X轴振动，进一步的，安装于X轴支持框架5a的反射镜5m以Y轴构件5y为中心在Y轴振动，由此反射镜5m在XY轴方向振动在二维的显示区域投射。
[0020]接着，对双轴MEMS5的动作进行说明。使反射镜5m振动的电驱动方式有，电磁驱动方式、静电驱动方式、压电驱动方式等。作为图像作成的驱动方式的一例，在X轴方向进行，以由反射镜5m的质量和X轴构件5x的弹性常数决定的谐振频率下的共振驱动发生的高速振动。又，在Y轴方向进行，强制驱动发生的、在比X轴方向的谐振频率低很多的频率下的非共振振动引起的低速振动。接着，将来自激光源(后述)的入射光LI由双轴MEMS5的反射镜5m反射后的反射光作为出射光L3输出。
[0021]又，作为高速振动的驱动频率，采用IOKHz?20KHz，作为低速振动的驱动频率，采用60Hz左右的频率。作为双轴MEMS5的电驱动方式，对高速振动和低速振动两者采用电磁驱动方式或压电驱动方式，对高速振动采用静电驱动方式且和低速振动一起采用电磁驱动方式。
[0022]图7是模拟显示其他MEMS扫描器40的立体图。
[0023]图7所示的MEMS扫描器40由具有I枚反射镜的2个单轴MEMS6、7构成。相对的，MEMS扫描器40中，第I单轴MEMS6通过X轴构件6x支持第I反射镜6m，该X轴构件6x为安装于X轴支持框架6a的第I轴。第2单轴MEMS7通过Y轴构件7y支持第2反射镜7m，该Y轴构件7y为安装于Y轴支持框架7a的第2轴。第1、第2单轴MEMS6、7配置为图6所示的状态，来自激光源的入射光LI由单轴MEMS6的反射镜6m反射后的反射光L2再由单轴MEMS7的反射镜7m反射作为出射光L3输出。S卩，图6所示的MEMS扫描器4和图7所示的MEMS扫描器40的构成虽然不同，但能够得到相同的效果。
[0024]图8是显示以MEMS扫描器4为光扫描单元的扫描型图像投影装置100的构成图。
[0025]扫描型图像投影装置100以图6所示的双轴MEMS5作为光扫描单元。又，扫描型图像投影装置100包括:通过输入视频信号Sb的控制电路12控制的电流控制单元10的输出进行动作的激光源20 ;和由控制电路12控制的、与进行高速振动的MEMS的谐振频率信号的输出同步地驱动双轴MEMS5的MEMS控制部11。MEMS控制部11包括:向双轴MEMS5提供谐振频率的作为高速驱动信号的X驱动信号Sx的高速驱动电路Ila ;和向双轴MEMS5提供作为低速驱动信号的Y驱动信号Sy的低速驱动电路lib。170为进行图像投影的屏幕。
[0026]接着，对上述扫描型图像投影装置100的动作进行说明。控制电路12，根据从外部输入的视频信号Sb，作成与进行高速驱动的谐振频率信号同步的亮度信号Sk，并将亮度信号Sk提供给电流控制单元10。电流控制单元10控制激光源20的光强度，被控制光强度的入射光LI入射到双轴MEMS5的反射镜5m。又，控制电路12向MEMS控制部11提供包含谐振频率信号的同期信号Sd。MEMS控制部11向双轴MEMS5提供基于谐振频率信号的X驱动信号Sx和与谐振频率信号同步的Y驱动信号Sy。根据X驱动信号Sx和Y驱动信号Sy，双轴MEMS5的反射镜5m通过在X轴方向以20KHz高速振动并在Y轴方向以60Hz低速振动，进行入射光LI的光扫描。
[0027]通过双轴MEMS5的反射镜5m在X轴方向和Y轴方向振动，在屏幕170上，入射光LI的投影点Pt在X方向及Y方向重复光扫描，形成显示区域Rd。屏幕170上的显示区域Rd的宽度为X驱动区域Rx、显示区域Rd的高度为Y驱动区域Ry。纵向的Y驱动区域Ry是低速驱动下非共振驱动区域Rn的一部分。
[0028]图1是扫描型图像投影装置I的概略构成图。
[0029]图1所示的扫描型图像投影装置I中，对与图8所示的扫描型图像投影装置100的相同要素赋予相同标号，省略重复说明。扫描型图像投影装置1，与图8所示的扫描型图像投影装置100同样的，将图6所示的双轴MEMS5作为光扫描单元。又，扫描型图像投影装置I包括:通过输入视频信号Sb的控制电路12所控制的电流控制单元10的输出进行动作的激光源20 ;和由控制电路12控制的、与高速振动的MEMS的谐振频率同步地驱动双轴MEMS5的MEMS控制部11。
[0030]MEMS控制部11包括:向双轴MEMS5提供作为高速驱动信号的X驱动信号Sx的高速驱动电路11a、和向双轴MEMS5提供作为低速驱动信号的Y驱动信号Sy的低速驱动电路lib。又，MEMS控制部11进一步包括:向双轴MEMS5提供偏移信号So的偏移驱动电路He。偏移驱动电路Ilc接收来自控制电路12或外部的偏移指令信号Sos，输出偏移信号So。又，17是进行图像投影的屏幕。
[0031]图2是显示双轴MEMS的驱动方式的说明图。
[0032]此处，作为双轴MEMS5的驱动方式，X轴(高速驱动)、Y轴(低速驱动)都采用电磁驱动方式。具体来说，X轴的驱动如图2所示，通过使得电流在沿反射镜5m的外周配置的X轴线圈Lx流过而进行。又，Y轴的驱动也如图2所示，通过使得电流在沿X轴支持框架5a的外周配置的Y轴线圈Ly流过而进行。产生电磁力所需要的外部磁场采用小型磁石5n、5s，配置磁石使得磁场的朝向在包含X轴和Y轴的平面内且在从X轴向Y轴倾斜45度的方向上。通过设置X轴线圈驱动电路IIx,使得与X驱动信号Sx成比例的电流Ix在X轴线圈流动，来以X轴为中心共振驱动反射镜5m。同样的，通过设置Y轴线圈驱动电路lly，使得与Y轴控制信号Sy和偏移信号So之和成比例的电流Iy在Y轴线圈中流过，来以Y轴为中心强制驱动反射镜5m。
[0033]下面，对扫描型图像投影装置I的动作进行说明。
[0034]控制电路12将从外部输入的视频信号Sb、和与进行高速驱动的谐振频率信号同步的亮度信号Sk提供给电流控制单元10。电流控制单元10控制激光源20的光强度，来自激光源20的激光作为入射光LI入射到双轴MEMS5的反射镜5m。又，控制电路12向MEMS控制部11提供包含谐振频率信号的同期信号Sd。MEMS控制部11向双轴MEMS5提供基于谐振频率信号的X驱动信号Sx和与谐振频率信号同步的Y驱动信号Sy。由此，通过使双轴MEMS5的反射镜5m在X轴方向以20KHz高速振动，在Y轴方向以60Hz低速振动，进行入射光LI的光扫描。
[0035]双轴MEMS5的反射镜5m在X轴方向和Y轴方向被光扫描，屏幕17上，入射光LI的投影点Pt在X方向和Y方向重复扫描，形成显示区域Rdl。屏幕17中显示区域Rdl的面积为宽度(X驱动区域Rx)X高度(Y驱动区域Ry)，纵向的Y驱动区域Ry为低速驱动下的非共振驱动区域Rn。又，显示区域Rdl的画面尺寸可根据必要形成为任意大小。例如，通过改变作为MEMS驱动信号的X驱动信号Sx和Y驱动信号Sy的振幅，使X驱动区域Rx的长度和Y驱动区域Ry的长度变化，显示区域Rdl的画面尺寸可任意改变。到此处为止，扫描型图像投影装置I中动作为显示区域Rdl的投射动作，与扫描型图像投影装置100的动作相同。
[0036]下面，扫描型图像投影装置I中，对与扫描型图像投影装置100不同的构成和动作进行说明。
[0037]扫描型图像投影装置100中，根据来自如图2所示的MEMS控制部11的X驱动信号Sx和Y驱动信号Sy双轴MEMS5动作，向屏幕170投影的图像仅为一个显示区域Rd。S卩，形成显示区域Rd的Y驱动区域Ry与非共振驱动区域Rn为相同长度。相对的，扫描型图像投影装置I中，屏幕17上设有比一个显示区域Rd更大的非共振驱动区域Rn(相比Y驱动区域Ry，非共振驱动区域Rn更大)、较大的非共振驱动区域Rn的内部形成多个显示区域Rdl、Rd2 (图1的例中的2个显示区域Rdl和Rd2)。
[0038]该动作，由MEMS控制部11，通过向双轴MEMS5提供X驱动信号Sx和Y驱动信号Sy之外还提供偏移信号So而生成。双轴MEMS5的反射镜5m根据X驱动信号Sx和Y驱动信号Sy进行XY扫描形成显示区域Rd，通过取得由偏移信号So偏移的角度位置，进行不同角度的出射光L3a、L3b的出射。由此，屏幕17上的非共振驱动区域Rn内，形成位置移动变更了的两个显示区域Rdl、Rd2。此时，由于在提供偏移信号So之前，进行显示区域Rdl或Rd2的图像显示，因此看起来就好像显示移动了一样。
[0039]图3是显示通过双轴MEMS5在屏幕17上投影的一个画面的显示区域Rdl的平面图。
[0040]显示区域Rdl由如图1所说明的，由双轴MEMS5水平驱动的X驱动区域Rx和垂直驱动的Y驱动区域Ry构成的扫描区域所形成。具体来说，由双轴MEMS5中反射镜5m的振动而在屏幕17上投影的激光的投影点Pt在箭头Xs方向扫描形成轨迹Lx。S卩，投影点Pt的轨迹Lx以点Pl为起点沿箭头Xs移动，后述的X驱动信号Sx的正弦波形重复多个周期，在点P2结束屏幕17上的一个画面的描画。之后，沿返回上方的轨迹Ly，返回上方的起点P1。通过重复以上的动作，可显示连续的图像。又，对显示区域Rd2也进行同样的动作。又，为便于说明，图3中，减少了扫描线的根数进行说明，但实际的X方向的扫描根数为500?800根左右。
[0041]实际的扫描型图像投影装置中，由于激光的投影点Pt以正弦波形状扫描，因此正弦波形状折返顶点部分附近为包含零的低速区域。因此，该低速度区域中，投影的图像中产生失真。因此，产生失真的部分中，采用不进行图像的投影的方式，产生失真的部分称为消隐区域。作为消隐区域的制作方法，有设置遮盖框架的方式、施加电遮盖的方式。扫描型图像投影装置I中，通过电处理形成消隐区域，图3的以阴影线(〃 7 f > y )所示框架形状的区域为消隐区域Rb。根据消隐区域Rb的功能，对于消隐区域Rb内虚线所示的扫描轨迹，通过停止来自激光源20的入射光等的处理而不进行图像的投影。
[0042]图1所说明的显示区域Rdl为没有消隐区域Rb的显示区域，进行实际的图像投影的显示区域为从图1中显示区域Rdl减去图3所示的消隐区域Rb后的显示区域Rds。显示区域Rds的面积小于显示区域Rdl的面积，但可得到没有图像失真的投影图像。又，显示的图像的种类，例如，如操作按键那样，不拘于形状的图像(有些轻微失真也不要紧的图像)的情况下，也可以不设置消隐区域Rb，直接将显示区域Rdl作为显示区域。
[0043]图4(a)为水平方向驱动信号(X驱动信号Sx)的波形图，图4(b)为垂直方向驱动信号(Y驱动信号Sy)的波形图。
[0044]图4是图3所示的一个画面的显示区域Rdl的驱动波形图。图4(a)和图4(b)中，纵轴为电压，横轴为时间轴，对应于通过各个X驱动信号Sx和Y驱动信号Sy由双轴MEMS5的反射镜5m扫描的扫描角度的时间的变化。
[0045]图4 (a)中X驱动信号Sx以振幅中心电压Vs为中心以正弦波形状周期性重复变化，其频率高达20KHz。又，以振幅中心电压Vs为中心的振幅电压V1、V2的范围作为显示区域Rds、超出振幅电压V1、V2的范围为消隐区域Rb。即，时间轴上消隐的电压波形为消隐区域Rb的范围内的宽度Rbx的区域。
[0046]图4(b)中Y驱动信号Sy以振幅中心电压Vo为中心以锯齿状周期性地重复变化，该频率低至60Hz。又，Y驱动信号Sy以时间宽度F为I个周期，进行I个画面的扫描形成图像。时间轴上消隐的电压波形为，对应于结束I个画面的扫描，投影点Pt返回上方的起点Pl的返回期间的消隐区域Rby。通过改变图4(a)所示的X驱动信号Sx和图4(b)所示的Y驱动信号Sy的振幅，图1所示的显示区域Rdl的画面尺寸可变的情况如前述。
[0047]图5为显不，图4(b)所不的Y驱动信号Sy通过偏移信号So,移动改变动作位置的状态的Y驱动信号Sy的波形图。
[0048]图5所示的波形图对应于，通过图1所示的MEMS控制部11提供偏移信号So，移动变更屏幕17上的非共振驱动区域Rn内的位置形成两个显示区域Rdl、Rd2的动作。又，通过偏移信号So，振幅中心电压No改变了的情况下的Y轴驱动信号两个并列地进行。
[0049]以振幅中心电压Vol动作的Y驱动信号Syl对应于图1所示的屏幕17上的显示区域Rdl，以振幅中心电压Vo2动作的Y驱动信号Sy2对应于图1所示的屏幕17上的显示区域Rd2。又，MEMS扫描器4的偏向角的偏移，可以通过使得提供给电磁驱动线圈的直流电流成分的大小变化来进行。图1所示的MEMS控制部11中，通过对偏移驱动电路Ilc提供来自控制电路12或外部的偏移指令信号Sos，使从偏移驱动电路Ilc向双轴MEMS5提供的偏移信号So的直流电压值从Vol变化到Vo2。由此，Y驱动信号Sy的动作位置从Syl移动到Sy2，屏幕17上的显示区域从Rdl变到Rd2。
[0050]上述，对显示区域Rdl、Rd2在纵向移动的方式进行说明。但不限于此。例如，图1所示的扫描型图像投影装置I中，通过90度旋转作为光扫描单元的MEMS扫描器4，使X和Y的扫描方向90度旋转,通过纵向以X驱动信号X驱动、横向以Y驱动信号驱动扫描，可使得显示区域Rdl、Rd2在横向移动。这是为了对应，如果对X轴方向的共振驱动提供偏移信号的话会导致无法得到共振状态的问题的一个方法。
[0051]接着，对其他扫描型图像投影装置2进行说明。
[0052]扫描型图像投影装置I中，MEMS扫描器4包含的双轴MEMS5作为光扫描单元。与之相对的，扫描型图像投影装置2中(图未示)，采用包括图7所示的单轴MEMS6和7的MEMS扫描器40。
[0053]图7所示的单轴MEMS中，将来自激光源的入射光LI以单轴MEMS6的反射镜6m反射后的反射光L2，通过单轴MEMS7的反射镜7m进一步反射作为出射光L3输出。相对的，扫描型图像投影装置2中，第2反射镜7m以Y轴构件7y为中心在Y轴方向以60Hz低速振动时，除了 Y驱动信号Sy (图7中非图示)还提供偏移信号So (非图示)，以取得反射镜7m偏移了的角度位置。由此，扫描型图像投影装置2中，可使出射光L3以不同角度出射，能够在屏幕上的非共振驱动境域内，形成位置移动变更了的两个显示区域。
[0054]如上所述，扫描型图像投影装置I和2中，显示区域的扫描通过作为施加到MEMS扫描器的交流电压的X驱动信号和Y驱动信号进行。此时，屏幕上的显示区域的移动变更可通过作为施加到MEMS扫描器的直流电压的偏移信号进行。因此，扫描型图像投影装置I和2中，显示区域的扫描、显示区域的移动变更仅通过施加到MEMS扫描器的交流、直流不同电信号的施加即可进行控制。
[0055]如上所述，扫描型图像投影装置I和2中，只要基于偏移指令信号使加到MEMS扫描器的电压水平进行直流变化即可进行显示区域的移动变更。因此，扫描型图像投影装置I和2中，对显示区域的移动变更不需要采用以往那样的专用的变更机构，能够达成装置的小型化。
[0056]又，为了便于说明，在上述的说明中，记载了显示区域从Rdl改变为Rd2的两处进行变更的构成，当然不限于此。例如也可，偏移信号So可以多个动作电压Vol?VoN以阶梯式切换进行多段切换，形成多个显示区域。又，也可偏移信号So作为连续变化的直流可变电压，显示区域能够连续移动。
【权利要求】
1.一种扫描型图像投影装置，其特征在于，包括:激光源； 具有以正交的第I和第2轴为中心振动的反射镜的MEMS扫描器；以及 MEMS控制部，其包括:使所述反射镜以第I轴为中心高速共振振动的高速驱动电路、使所述反射镜以第2轴为中心低速非共振振动的低速驱动电路、和、使进行所述低速振动的非共振振动区域内的所述第2轴上的位置偏移规定量的偏移驱动电路， 所述MEMS控制部，根据来自所述高速驱动电路和低速驱动电路的驱动信号在规定的显示区域进行图像显示，并根据来自所述偏移驱动电路的偏移信号，移动所述非共振振动区域内的显示区域的位置。
2.如权利要求1所述的扫描型图像投影装置，其特征在于，所述MEMS扫描器包括，以第I和第2轴为中心进行高速振动和低速振动的I个反射镜。
3.如权利要求1所述的扫描型图像投影装置，其特征在于，所述MEMS扫描器包括:具有以第I轴为中心振动的第I反射镜的第IMEMS扫描器、和具有以第2轴为中心振动的第2反射镜的第2MEMS扫描器。
4.一种扫描型图像投影装置的驱动方法，其特征在于，该扫描型图像投影装置包括:激光源； 具有以正交的第I和第2轴为中心振动的反射镜的MEMS扫描器；以及 MEMS控制部，该MEMS控制部包括:使所述反射镜以第I轴为中心高速共振振动的高速驱动电路、使所述反射镜以第2轴为中心低速非共振振动的低速驱动电路、和使进行所述低速振动的非共振振动区域内的所述第2轴上的位置偏移规定量的偏移驱动电路， 在该扫描型图像投影装置的驱动方法中， 根据来自所述偏移单元的偏移信号，移动所述非共振振动区域内的显示区域的位置， 移动显示区域后，根据来自所述MEMS控制部的驱动信号在规定的显示区域进行图像显不O
【文档编号】H04N9/31GK103458205SQ201310097348
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2013年3月25日 优先权日:2012年3月26日
【发明者】野崎孝明 申请人:西铁城控股株式会社