技术总结
本发明涉及一种用于生成和/或检测可听波长谱中的声波的MEMS声换能器以及用其构造的芯片，具有：载体衬底(2)；构造在载体衬底(2)中的空腔(3)，所述空腔(3)具有至少一个开口(4)；以及多层压电隔膜结构(5)，其跨越空腔(3)的开口(4)并且在其边缘区域中与载体衬底(2)连接，使得其能够为了生成和/或检测声能而相对于载体衬底(2)振动；其中隔膜结构(5)至少局部地在横截面中包括第一压电层和与第一压电层间隔开布置的第二压电层(8，9)。根据本发明，在两个压电层(8，9)之间的区域中布置有中间层(19)，所述中间层(19)被构造为使得借助于所述中间层(19)，声能能够向隔膜结构(5)的与空气接界的至少一个交界面(17，18)的方向上反射。
技术研发人员：安德里亚·韦斯高尼·克莱里西;费鲁乔·博托尼
受保护的技术使用者：悠声股份有限公司
文档号码：201480070788
技术研发日：2014.12.17
技术公布日：2017.02.15