1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、固定在所述基底上的振膜和背极结构；其特征在于，
在所述背腔内设置有防水膜，所述防水膜用于阻止水和异物落到所述振膜和背极结构上。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
所述防水膜与所述振膜之间的距离不大于100μm。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
所述防水膜为透气透声防水膜。
4.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
所述防水膜与所述振膜平行设置。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
所述背极结构为单背极板结构或者双背极板结构，其中，
当所述背极结构为双背极板结构时，所述振膜与背极板间隔设置。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
在所述背极结构上设置有多个通孔。
7.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，
所述基底为氮化硅基底、单晶硅基底或者多晶硅基底。