MEMS麦克风的制作方法

技术总结
本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、固定在基底上的振膜和背极结构；其中，在背腔内设置一层的防水膜，防水膜用于阻止水和异物落到振膜和背极结构上。利用本实用新型，能够解决异物或者水进入MEMES芯片的基底背腔的位置并落到振膜上从而影响MEMS麦克风的性能的问题。

技术研发人员：徐达
受保护的技术使用者：歌尔科技有限公司
技术研发日：2018.11.23
技术公布日：2019.08.02