技术特征：
技术总结
本发明公开了一种微型过滤器及声学设备，包括具有背腔的基底，以及设置在基底上且悬置在背腔上的金属薄膜；且所述金属薄膜的外侧表面涂覆有不粘层；所述不粘层与颗粒之间的粘性低于金属薄膜与颗粒之间的粘性；所述金属薄膜及不粘层上具有排布的通孔。根据本公开的一个实施例，通过在金属薄膜上设置不粘层，可以避免长时间使用后颗粒粘附在具有通孔的金属薄膜上的问题，从而保证了传感器的灵敏度。
技术研发人员：林育菁
受保护的技术使用者：歌尔股份有限公司
技术研发日：2019.06.28
技术公布日：2019.10.18